 |
| |||
физическое осаждение из газовой фазы (англ. physical vapour deposition – технология нанесения покрытий (тонких пленок) в вакууме из паровой (газовой) фазы, при которой покрытие получается путем прямой конденсации пара наносимого материала  rusnano.com Iryna_mudra) | |||