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Abbildungsprozeß
| eines
| Scheibenrepeaters
| Abbildungsprozeß | |
| IT dat.proc. | imaging process |
| eine | |
| gen. | an; one; a |
| einen | |
| gen. | one; unify |
| eines | |
| gen. | of a; of one; ones; one thing |
| Scheibenrepeater | |
| microel. | direct step-and-repeat system |
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| imaging process | |||
| Abbildungsprozeß: 1 phrase in 1 subject |
| Microelectronics | 1 |