Russian ⇄ German

метод термовакуумного испарения stresses
el.	Aufdampfungsverfahren n
microel.	Aufdampftechnik f (для получения тонких плёнок); Bedampfungstechnik f (для получения тонких плёнок)

метод термовакуумного испарения: 1 phrase in 1 subject

Microelectronics

1