off-gas | |
gen. | Abgas |
microel. | flüchtige Verunreinigungen entwickeln |
clean-up system | |
chem. | Primaerreinigungsanlage; Reinigungssystem |
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Abgas n | |||
flüchtige Verunreinigungen entwickeln abgeben (nach der hermetischen Abdichtung, wodurch eine verunreinigte Atmosphäre für den mikroelektronischen Baustein erzeugt wird) | |||
Kaminabgas n; Schomsteinabgas n; Fortgas n |
off-gas clean: 2 phrases in 2 subjects |
Earth sciences | 1 |
General | 1 |