Terms for subject Microelectronics containing механическая полировка

Russian	English
механическая полировка	abrasive polishing
пластина, подвергнутая химико-механической полировке	chem-mesh polished wafer
процесс для формирования схем металлических межсоединений на пластинах с использованием химико-механической полировки взамен травления металла	damascene (NNB)
химико – механическая полировка	chemical-mechanical polishing