Terms for subject Microelectronics containing step

English	German
add another mask step for buried contacts	einen weiteren Maskierungsschritt für vergrabene Kontakte erfordern
added process steps	weitere Bearbeitungsschritte
added process steps	zusätzliche Prozeßschritte
additional processing step	zusätzlicher Bearbeitungsschritt
aluminium step coverage	Aluminiumstufenbedekkung
automate every step of the bonding operation	jeden Schritt des Bondvorgangs automatisieren
broadening of step edges	Böschungsverbreiterung
broadening of step edges	Verbreiterung der Böschungskante
call up any step in the program	jeden Programmschritt aufrufen
carry out one program step	einen Programmschritt ausführen
die step-and-repeat distance	Einzelbildabstand im Step-und-Repeat-Feld
direct insertion into the step-and-repeat camera	Direkteingabe in den Fotorepeater
direct step-and-repeat system	Fotorepeater für direkte Waferbelichtung
direct step-and-repeat system	Scheibenrepeater
direct-step equipment	Anlage für direkte Waferbelichtung
direct-step equipment	optische Direktbelichtungsanlage
direct step on the wafer	direkte Strukturübertragung auf Wafer (im Step-und-Repeat-Verfahren)
direct-step-on-the-wafer production system	Scheibenrepeater (Wafer-Stepper)
direct-step-on-wafer application	Anwendung der direkten Strukturübertragung auf den Wafer
direct-step-on-wafer exposure	direkte Waferbelichtung im Step-und-Repeat-Verfahren
direct-step-on-wafer machine	Projektions- und Überdeckungsrepeater (für direkte Waferbelichtung)
direct-step-on-wafer machine	Wafer-Stepper
direct-step-on-wafer machine	Scheibenrepeater
direct-step-on-wafer photolithography	Fotolithografie mit direkter Waferbelichtung
10:1 direct-step-on-wafer photoprinter	optische Belichtungsanlage mit zehnfach verkleinerter Projektionsübertragung
direct-step-on-wafer 10:1 projection aligner	optischer Projections- und Überdeckungsrepeater mit Wfacher Bildverkleinerung
direct-step-on-wafer 10:1 projection aligner	Scheibenrepeater mit 10 fach verkleinerter schrittweiser Projektionsübertragung
direct-step-on-wafer projection lithography equipment	Projektionsscheibenrepeater
direct-step-on-wafer system using 10:1 optical projection	Scheibenrepeater mit 10:1-Projektion
direct-step-on-wafer system using 10:1 optical projection	Wafer-Stepper mit zehnfacher optischer Verkleinerung
direct-step-on-wafer technique	Verfahren der Übertragung kleinster Strukturen auf die Halbleiterscheibe
direct-step-on-wafer technique	Verfahren der direkten Strukturübertragung auf Wafer
discrete step increment	Einzelschrittinkrement
etch step	Ätzschritt
etching step	Ätzschritt
expose a wafer in step-repeat fashion	einen Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose in a step-and-repeat fashion	im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion	5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
exposure step	Belichtungsschritt
extra masking step	zusätzliche Maskierungsstufe
extra processing step	zusätzlicher Bearbeitungsschritt
extra wafer processing step	zusätzlicher Waferbearbeitungsschritt
fabrication step	Fertigungsstufe
fabrication step	Fertigungsschritt
facetting of the step edges	Verbreiterung der Böschungskanten
failures screened per test step	je Prüfposition selektierte Fehler
finite step size	endliche Schrittgröße
first generation step-and-repeat exposure system	Fotorepeateranlage der ersten Generation (für Maskenherstellung)
four-step exposure	Vierstufenbelichtung
four-step exposure	Belichtung in vier Schritten
generation of reticles as an intermediate step in producing masks	Herstellung von Retikeln als Zwischenschritt in der Maskenherstellung
gradually tapered step	abgeschrägte Stufe
imaging process of a step-and-repeat aligner	Abbildungsprozeß eines Scheibenrepeaters
implement the prescribed program steps	die vorgeschriebenen Programmschritte ausführen
increment in steps of 4	in Stufen von 4 inkrementieren
insert dummy do-nothing sub-steps into the instruction cycle	leere Nulloperationsteilschritte in den Befehlsablauf einfügen
integrated circuit development steps	Entwicklungsstufen integrierter Schaltungen
ion-optical step-and-repeat system	ionenoptische Step-und-Repeat-Anlage
keep each of the mask steps aligned	die Justierung durch alle Maskierungsschritte hindurch aufrechterhalten
key in a series of programming steps	eine Reihe von Programmschritten eintasten
make the mask in one step from the magnetic tape data	die Maske in einem Bearbeitungsschritt nach den magnetbandgespeicherten Daten herstellen
masking step	Maskierungsschritt
minimization of the number of process steps	Verringerung der Anzahl der Prozeßschritte
multibarrel step-and-repeat system	Mehrfachrepeater
nine-step exposing area	Fläche für neun Belichtungen
nine-step exposure	Belichtung in neun Schritten
one-to-one step and repeat system	Step-und-Repeat-Anlage mit 1:1-Abbildung
optical direct step	optisches Projektionsverfahren für direkte Waferbelichtung (mit 1:1- oder 10:1-Retikel)
optical multiple image step-and-repeat reduction camera	Fotorepeater
optical multiple image step-and-repeat reduction camera	Fotorepeaterkamera
optical projection direct-step-on-wafer technology	Wafer-Stepper-Technik mit optischer Projektion
optical step-and-repeat camera	Fotorepeater
optical step-and-repeat imaging system	Fotorepeateranlage
optical step-repeat machine	Fotorepeater
oxide step	Oxidstufe
partitioning of the wafer image by step-and-repeat projection	Aufteilung des Waferbildes durch schrittweise Projektionsübertragung
partitioning of the wafer image by step-and-repeat projection	Unterteilung des Waferbildes durch schrittweise Projektionsübertragung
patterning step	Strukturierungsschritt
photo step-and-repeat on wafer	Direktbelichtung des Wafers durch Fotorepeater
photolithographic direct-step-on-the-wafer technique	fotolithografische Technik der direkten Strukturübertragung auf den Wafer (im Step-und-Repeat-Verfahren)
photomasking step of the processing sequence	Maskierungsschritt der Bearbeitungsfolge
plasma development step	Plasmaentwicklungsstufe
power by a step motor	durch einen Schrittmotor antreiben
printing step	Kopierschritt
printing step	Belichtungsschritt
process step	Verfahrensschritt
process step	Prozeßschritt
processing step	Bearbeitungsstufe
produce arrays of images by photoreduction with a step-and-repeat camera	regelmäßige Bildfelder durch Verkleinerung mit einem Fotorepeater herstellen
profile step	Profilstufe
project step-and-repeat electron-beam lithography machine	elektronenstrahllithografische Projektions-Step-und-Repeat-Anlage
project step-and-repeat machine	Projektionsscheibenrepeater
project step-and-repeat machine	Scheibenrepeater
project step-and-repeat machine	Justier- und Belichtungsanlage mit Repeateinrichtung
project step-and-repeat machine	Projektions- und Überdeckungsrepeater
reduce the reticle on step-and-repeat equipment	das Retikel auf einem Fotorepeater verkleinern
reduction lens of a step-and-repeat aligner	Verkleinerungsobjektiv eines Projektions- und Überdeckungsrepeaters
reduction step-repeat system	Step-und-Repeat-Anlage mit verkleinerter schrittweiser Projektionsübertragung
registration of the separate masking steps	Oberdekkung fder getrennten Maskierungsschritte
reproducible dimensions at every masking step	reproduzierbare Abmessungen in jedem Maskierungsschritt
resist line width variation over steps	Resistlinienbreiteänderung über Stufen
scan step	Rasterschritt
scan step size	Rasterschrittgröße
second-generation step-and-repeat aligner	Scheibenrepeater der zweiten Generation
sequence of wafer processing steps	Folge von Waferbearbeitungsschritten
sequential steps in a bond cycle	Folgeschritte in einem Bondzyklus
single-step debugging	Einzelschrittfehlersuche
single-step mode	Einzelschrittverfahren
single step operation	Einzelschrittarbeitsweise
single step operation	Schrittbetrieb
single step operation	Einzelschrittoperation
single-head step-and-repeat camera	Einfachrepeater
six-barrel step-and-repeat microreduction printer	Fotorepeater mit sechs Mikroprojektionssystemen
sloped step	Böschungsstufe
steep step	Stufe mit steiler Seitenwand
step and expose the matrix of marks	die Markenmatrix nach dem Step-und-Repeat-Verfahren belichten
step and repeat	schachbrettartig vervielfältigen
step and repeat	im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
step and repeat across the wafer	im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer mehrfach reproduzieren
step and repeat circuit patterns directly on wafers	Strukturen im Step-und-Repeat-Verfahren direkt auf Wafer übertragen
step and repeat circuit patterns directly on wafers	Schaltkreisstrukturen im Additionsverfahren direkt auf Wafer verkleinert abbilden
step and repeat images across on the wafer	Strukturbilder auf die Halbleiterscheibe im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
step and repeat on the wafer	im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer schachbrettartig vervielfältigen
step-and repeat the pattern	verkleinerte Wiederholstrukturen anfertigen
step-and-align optical wafer exposure system	Uberdekkungsrepeater
step-and-align optical wafer exposure system	Scheibenrepeater
step-and-repeat	Verfahren zur Herstellung von Wiederholstrukturen
step-and-repeat	Step-und-Repeat-Verfahren (Additionsverfahren: Verkleinern-Wiederholen)
step-and-repeat aligner	Projektions- und Überdeckungsrepeater (alignment system)
2:1 step-and-repeat aligner	Überdeckungsrepeater mit einer Projektionsverkleinerung von 2:1
step-and-repeat aligner	Scheibenrepeater (alignment system)
step-and-repeat array data	Positionierdaten für den Step-und-Repeat-Vorgang
step-and-repeat array distortion on the mask	Matrixverzerrung auf der vom Repeater hergestellten Maske
10:1 step-and-repeat camera	Repeatkamera mit zehnfacher Verkleinerung
10:1 step-and-repeat camera	Repeater mit zehnfacher Verkleinerung
10:1 step-and-repeat camera	Fotorepeater mit zehnfacher Verkleinerung
step-and-repeat equipment	Step-und-Repeat-Anlage
step-and-repeat equipment	Repeateranlage
step-and-repeat error	Schrittpositionierfehler (eines Repeaters)
step-and-repeat exposure	schrittweise Belichtung
step-and-repeat exposure directly on the wafer	direkte Waferbelichtung nach dem Step-und-Repeat-Verfahren
step-and-repeat exposure system	Belichtungsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
step-and-repeat exposure system	Fotorepeateranlage
step-and-repeat format	Format des schrittweisen Belichtungsverfahrens
step-and-repeat generation of photomasks	Herstellung von Fotoschablonen nach dem Step-und-Repeat-Verfahren (mit schrittweiser Belichtung)
step-and-repeat mask making	Maskenherstellung nach dem Repeatverfahren
step-and-repeat master mask	nach dem Step-und-Repeat-Verfahren hergestellte Originalschablone
step-and-repeat 10:1 microreduction camera system	10:1-Fotorepeater
step-and-repeat microreduction photographic process	Fotorepeatprozeß
step-and-repeat microreduction printer	Fotorepeater mit Projektionsverkleinerung
step and-repeat operation	Fotorepeattechnik
step and-repeat operation	Fotorepeatverfahren
step-and-repeat optical lithography system	fotolithografische Repeateranlage
step-and-repeat optical lithography system	lithografische Fotorepeateranlage
step-and-repeat optical projection machine	optischer Projektionsrepeater
step-and-repeat optical projection unit	optischer Projektionsrepeater
step-and-repeat optical-mechanical distortion	optisch-mechanische Verzeichnung des Step-und-Repeat-Systems
step-and-repeat photomasking equipment	Fotorepeatanlage für Schablonenherstellung
step-and-repeat placement error	Schrittpositionierfehler
step-and-repeat printing of the subsequent matrix array	schrittweise Belichtung der nachfolgenden Matrixanordnung (mit einem Scheibenrepeater)
step and-repeat projection aligner	Scheibenrepeater
step and-repeat projection aligner	Projektionsscheibenrepeater
step and-repeat projection aligner	Projektions- und Überdeckungsrepeater
step-and-repeat projection lithography system	lithografische Projektionsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
step-and-repeat projection printing method	Überdeckungs- und Projektionsrepeatverfahren
step-and-repeat projection with demagnification 10:1	schrittweise Projektionsübertragung mit zehnfacher Bildverkleinerung
step-and-repeat reduction	Verkleinerung mit Step-und-Repeat-Verfahren (zu einer Originalmaske)
step and-repeat reduction projection system	Scheibenrepeater
step and-repeat reduction projection system	Projektions- und Überdekkungsrepeater (für direkte Waferbelichtung)
step and-repeat reduction projection system	Großfeldstepper
step and-repeat reduction projection system	Wafer-Stepper
step-and-repeat reticle	Retikel für Repeatverfahren
10:1 step-and-repeat system	Projektionsrepeater mit zehnfacher Verkleinerung
step-and-repeat system	Fotorepeatanlage
step-and-repeat time	Vervielfältigungszeit (des Fotorepeaters)
step-and-repeat wafer imaging	schrittweise Bildübertragung auf den Wafer
step-and-repeat wafer imaging	Übertragung der Bilder im Step-und-Repeat-Verfahren auf den Wafer (s.a. wafer stepping)
step-and-repeat wafer imaging	Waferstrukturierung firn Step-und-Repeat-Verfahren
step-and-repeat wafer imaging	Waferbelichtung firn Step-und-Repeat-Verfahren
step-and-repeat wafer imaging system	Großfeldstepper
step-and-repeat wafer imaging system	Projektions- und Überdekkungsrepeater (für direkte Waferbelichtung)
step-and-repeat wafer imaging system	Scheibenrepeater
step-and-repeat wafer imaging system	Wafer-Stepper
step-and-repeat X-ray aligner	Röntgenüberdeckungsrepeater
step-and-repeat X-ray machine	Röntgenrepeateranlage
step-and-repeat-print	im Step-und-Repeat-Verfahren belichten (kopieren)
step coverage	Stufenüberdeckung
step defect reticles into randomly selected locations on the mask	Defektretikel im Step-und-Repeat-Verfahren in willkürlich ausgewählte Plätze auf der Maske abbilden
step directly on the wafer	den Wafer direkt schrittweise belichten
step face angle	Böschungswinkel
step face broadening	Verbreiterung der Böschungskante
step face broadening	Böschungsverbreiterung
step face width	Böschungsbreite
step height	Stufenhöhe
step height at the interface	Stufenhöhe an der Grenzschicht
step images on wafers	Bilder im Step-und-Repeat-Verfahren auf Wafer übertragen
step in silicon	Erhebung im Silizium
step in x-direction from one row to the next	in x-Richtung von einer Zeile zur nächsten fortschreiten
step increment	Stufeninkrement
step many fields	viele Felder in schrittweiser Belichtung aneinanderreihen
step mechanically to a new site for another exposure	mechanisch zur nächsten Belichtungsposition fahren (Wafertisch)
step motion direction	Schrittbewegungsrichtung
step recovery diode	Ladungsspeicherdiode (Speicherschaltdiode)
step-repeat exposure of smaller fields	Belichtung kleinerer Felder im Step-und-Repeat-Verfahren
step-repeat imaging of a transparent foil mask at 10:1	schrittweise Bildübertragung einer transparenten Folienmaske mit zehnfacher Verkleinerung
step repeat machine	Repeater
step repeat machine	Repeatanlage
step repeat machine	Step-und-Repeat-Anlage
step response	Sprungverhalten
step size	Schrittweite
step size	Schrittgröße
step-stress test	Belastungstest in Stufen
step test chips into wafers	Testchips mit dem Repeater in Wafer einbelichten
step the beam across the writing field	den Strahl schrittweise über das Schreibfeld führen
step the electron beam by 0.5 μm in the x-direction	den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen
step the pattem onto the substrate	die Struktur schrittweise auf das Substrat übertragen
step the pattern across the wafer	im Step-und-Repeat-Verfahren die Struktur auf dem Wafer vielfach abbilden (reproduzieren)
step the reduced reticle image	das verkleinerte Retikelbild schrittweise im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
step the reticle with 10x reduction camera	das Retikel mit einer Step-und-Repeat-Kamera 10fach verkleinert abbilden (zur Herstellung der Originalschablone)
step the small image field over the wafer	das kleine Bildfeld im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer reproduzieren
step the stage	den Tisch schrittweise verschieben
step the table	den Tisch schrittweise verschieben
step to one	von 0 auf 1 springen (umschalten)
step to the next field	zum nächsten Feld weiterschreiten
step to zero	auf 0 schalten
step up transformer	Aufwärtstransformator
step wafers	Wafer nach dem Step-and-Repeat-Verfahren belichten
successive processing steps	aufeinanderfolgende Bearbeitungsschritte
superposition of the separate masking steps	Überdeckung fder getrennten Maskierungsschritte
tailor the dynamic performance to a given process step	die dynamische Leistung einem bestimmten Prozeßschritt anpassen
tapered step	abgeschrägte Stufe
tapered step	Böschungsstufe
test step	Prüfposition
thermal annealing step	thermische Ausheilstufe
topology step	Topologiestufe
total step time	Gesamtpositionierzeit
total step time	Gesamtschrittzeit
traverse steps	über Stufen führen
traverse steps	Stufen überqueren
use the exposure process in a step and peat mode with individual alignment of each chip area	eine schrittweise Belichtung mit Einzeljustierung jeder Chipfläche durchführen
wafer step-and-repeat exposure system	Projektions- und Überdeckungsrepeateranlage für Waferbelichtung
width of step edge	Böschungsbreite
10x optical step-and-repeat camera	Fotorepeater mit 10facher Bildverkleinerung
X-ray step-and-repeat machine	Röntgenrepeateranlage
X-ray step-and-repeat printer	Röntgenbelichtungsanlage mit Repeateinrichtung
zero-access step height	Stufenhöhe Null