Terms for subject Microelectronics containing plane

English	German
aberrated position in the image plane	Fehlerort in der Bildebene
adjust the entire image field for actual focal plane	das gesamte Bildfeld für die tatsächliche Brennebene einstellen
atomic plane	Gitterebene
back plane	Chassis (für Leiterplatten)
back plane	Leiterplatte für Rückverdrahtung
circular object plane slit	kreisförmiger Spalt in der Objektebene
create a 4.0-mm wide image of the slit at the mask plane	ein 4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen
crystal plane of silicon	Kristallebene fdes Siliziums
digit plane	Stellenebene
distance of the wafer from the plane of best focus	Abstand des Wafers von der besten Fokusebene
emulsion plane	Emulsionsebene
exposure plane	Belichtungsebene
extra plane of atoms	zusätzliche Gitterebene
focal plane	Bildebene
focal plane	Schärfenebene
focal plane	Fokusebene
focal plane deviation	Fokusebeneabweichung
image an aperture in the plane of a second aperture	eine Blende in die Ebene einer zweiten Blende abbilden
image plane control	Bildebenensteuerung
in-plane	planar
in-plane component of distortion	planare Komponente der Verzerrung
in-plane distortion	planare Verzerrung (Deformation)
intermediate image plane	Zwischenbildebene
keep any dust out of the plane of focus	jeden Staub von der Fokusebene fernhalten
manipulation at the reticle plane	Manipulieren in der Retikelebene
mirror plane of crystal symmetry	Spiegelebene der Kristallsymmetrie
missing plane of atoms	fehlende Gitterebene (eines Kristalls)
optical plane	Bildebene
optical plane	optische Ebene
orientation plane of the substrate	Orientierungsebene des Substrats
out-of-plane	nichtplanar (Verzerrung)
out-of-plane error	Ebenheitsfehler
plane at the level of the topside of the substrate	Ebene in der Höhe der Oberseite des Substrats
plane of focus	Fokusebene
pupil plane	Pupillenebene
reference plane on the mask	Bezugsebene auf der Maske
reference plane position	Bezugsebenenposition
r.m.s. best fitting of seven points on the wafer to the ideal focal plane	bester Ausgleich von sieben Punkten auf dem Wafer in bezug auf die ideale Fokusebene
root-mean-square best fitting plane	beste Ausgleichsebene
rotate the slice about its centre in the slice plane	die Scheibe um ihren Mittelpunkt in der Scheibenebene drehen
rotate the wafer back to a horizontal plane	den Wafer wieder in eine Horizontalebene drehen
screen plane	Schirmebene
specimen plane	Probenebene
storage plane	Speicherebene
target plane	Targetebene
uniform illumination at the wafer plane	gleichmäßige Beleuchtung in der Waferebene
wafer image plane	Waferbildebene
wafer plane positioning	Positionierung der Waferebene
writing plane	Schreibebene