Terms for subject Microelectronics containing mask

English	German
absorbing mark on the mask	Absorptionsmarke auf der Maske
add another mask step for buried contacts	einen weiteren Maskierungsschritt für vergrabene Kontakte erfordern
adjustment of mask pattem position	Einstellung der Maskenstrukturlage
align the mask with respect to the wafer	die Maske zum Wafer justieren
alignment between all corresponding images in each mask	Überdeckung aller entsprechenden Bilder in jeder Maske
alligator mask assembly	Alligatormaskenanordnung (für doppelseitige Fotolithografie)
anti-features on the same mask	einander gegenüberliegende Strukturelemente auf einer Maske
anti-features on the same mask	benachbarte Strukturelemente auf einer Maske
aperture in the mask	Öffnung in der Maske
aperture mask	Blendenmaske
automatic inspection of mask defects	automatische Defektkontrolle
automation of portions of the mask making process	Automatisierung von Teilen des Schablonenfertigungsprozesses
average out to one mask required per wafer	sich im Durchschnitt auf eine Maske je Wafer belaufen
basic types of mask aligners	Grundtypen von Maskenjustier- und Belichtungsanlagen
bipolar mask bus	Maskenbus
borosilicate glass mask	Borsilikatglasmaske
bring the resist into direct contact with the mask	das Resist in direkten Kontakt mit der Maske bringen
bump mask	Maske für die Bondhügel
bypass a low-yielding part of the mask making process	einen Teil des Maskenherstellungsprozesses mit geringer Ausbeute umgehen
bypass many of the mask operations	viele Maskenoperationen umgehen
centre the mask over the wafer	die Schablone über dem Wafer zentrieren
chrome checkerboard mask	matrixartige Chromdefekttestmaske
chrome mask	Chromschablone
chrome-on-glass mask	Chrommaske auf Glassubstrat
chromium mask	Chromschablone
clear-field test mask	Klarfeldtestschablone
computerized mask artwork generation	rechnergestützte Maskenvorlagenherstellung
contact duplication of the mask onto the wafer	Kontaktkopierung der Maske auf den Wafer
contact mask alignment system	Kontaktjustier- und Belichtungsanlage
contact printing from a mask to a wafer	Kontaktbelichtung von einer Maske auf einen Wafer
contact window mask	Kontaktfenstermaske
contacting of both mask and wafer before exposure	Kontaktierung von Maske und Wafer vor der Belichtung
contact-print masks onto wafers	Maskenstrukturen durch Kontaktbelichtung auf Wafer übertragen
copy from the mask structure	von der Maskenstruktur kopieren
copy mask	Duplikatmaske (Arbeitsmaske)
copy of a chrome mask	Kopie einer Chrommaske
copy of the original mask	Kopie der Originalschablone
copy of the original mask	Duplikat der Originalschablone
create a mask	eine Maske herstellen (deren Struktur auf Bauelementsubstrate übertragen wird)
create a 4.0-mm wide image of the slit at the mask plane	ein 4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen
custom-built mask	kundenspezifische Maske
custom-built mask	individuelle Maske
cut the mask generation time down by a factor of two to three	die Maskenherstellungszeit um das Zwei- bis Dreifache verringern (reduzieren)
dark-field chrome mask	Dunkelfeldchromschablone
deficiencies of the mask aligners	Nachteile der Justier- und Belichtungsanlagen
demagnified mask pattern	verkleinerte Maskenstruktur
design information for mask manufacture	Entwurfsdaten für Maskenfertigung
deterioration of the mask quality	Verschlechterung der Schablonenqualität
direct generation of master masks	Direktherstellung von Originalschablonen
direct production of mask masters	Direktherstellung von Originalschablonen (z. B. mit Elektronenstrahlen)
displacement between mask and wafer image	Lageabweichung zwischen Masken- und Waferbild (z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
displacement between mask and wafer image	Belichtungsversatz zwischen Masken- und Waferbild (z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
displacement between mask and wafer image	Versatz zwischen Masken- und Waferbild (z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
drive the wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion	den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben (ansteuern)
dry etch mask	Trockenätzmaske
electron beam mask drawing	elektronenlithografische Maskenstrukturierung
electron beam mask drawing	Elektronenstrahl-schreiben der Maskenstruktur
electron beam mask writing system	Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron beam system for mask making	Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron beam system for mask making	Elektronenstrahlanlage für Maskenschreiben
electron projector mask	Maske für Elektronenbildprojektor
electron-beam mask generator	Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron-beam mask making capacity	Maskenherstellungskapazität der Elektronenstrahlanlage
electron-beam mask making machine	Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron-beam mask making system	Elektronenstrahlmaskenschreiber
emulsion side of the master mask	Schichtseite der Originalschablone
enabling mask	Freigabemaske
etch mask	Ätzmaske
expose a pattern in a contact printer through a chrome mask	eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichten
extend to a distance less than a wavelength of light away from the mask	sich auf weniger als eine Lichtwellenlänge von der Maske erstrecken
fabricate intentionally defects into masks	Defekte absichtlich in Masken erzeugen (für Defektkontrollzwecke)
fabricate the mask at final size	die Maske in der endgültigen Größe herstellen
fast-acceleration turn-around mask manufacturing facility	Maskenherstellungsanlage mit kurzen Fertigungszeiten
final mask	Endmaske
final mask	endgültige Maske
fine-geometry mask	Mikrostrukturmaske
five-mask sequence	Fünfmaskenprozeßfolge
focus the mask image onto the substrate	das Maskenbild auf das Substrat fokussieren
form a mask pattern by scanning a raster in a serpentine manner	eine Maskenstruktur durch serpentinenförmiges Abrastern erzeugen
formation of oxide mask	Bildung der Oxidmaske
fragile foil mask	zerbrechliche Folienmaske
full-wafer mask	Ganzscheibenmaske
gap between mask and photoresist surface	Abstand zwischen Maske und Lackoberfläche
gate metallization mask	Gatemetallisierungsmaske
generate a mask pattern	eine Maskenstruktur herstellen
generation of reticles as an intermediate step in producing masks	Herstellung von Retikeln als Zwischenschritt in der Maskenherstellung
glass mask substrate	Glasmaskensubstrat
gold mask	Goldmaske
grid mask	Gittermaske
hang contact between mask and wafer	fester Kontakt zwischen Maske und Wafer
hang-copy mask	Hartkopiemaske
hang-surface mask	Hartmaske
high-volume mask manufacturing facility	Maskenfertigungsanlage für Massenproduktion
image the mask onto the wafer	das Maskenbild auf den Wafer abbilden
image the mask with unity magnification	die Maske mit einfacher Vergrößerung abbilden
implant mask	Maske für Implantation
incorporate alignment targets in each mask or reticle	Justiermarken in jeder Maske oder Belichtungsschablone einfügen
in-house mask making department	eigene Abteilung für Maskenherstellung
inspect an X-ray mask for defects	eine Röntgenmaske auf Fehler kontrollieren
inter-mask check	Kontrolle von Maske zu Maske (der Schaltkreisstrukturen)
interconnection mask layer	Verbindungsmaskenschicht
interpose a filter between condenser and mask	ein Filter zwischen Kondensor und Maske einsetzen
interrupt mask bit	Unterbrechungsmaskenbit
interrupt mask register	Unterbrechungsmaskenregister
interrupt mask word	Unterbrechungsmaskenwort
intimate contact between mask and wafer	inniger Kontakt zwischen Schablone und Wafer
ion implant mask	Ionenimplantationsmaske
irradiate a mask onto the resist-coated wafer	das Maskenbild auf den resistbeschichteten Wafer projizieren
keep each of the mask steps aligned	die Justierung durch alle Maskierungsschritte hindurch aufrechterhalten
level-to-level registration of masks	Überdekkung der Masken von Ebene zu Ebene
light field chrome mask	Hellfeldchromschablone
lithographic equipment for mask making	lithografische Anlage für Maskenherstellung
load a new mask into the system	eine neue Maske in das System einschleusen
loading of the mask cassette	Laden der Maskenkassette
low-defect mask	Maske mit geringer Defektdichte
low-defect mask	defektarme Maske
low-reflectivity mask	Maske mit geringem Reflexionsgrad
make the mask in one step from the magnetic tape data	die Maske in einem Bearbeitungsschritt nach den magnetbandgespeicherten Daten herstellen
make the master mask directly from the magnetic tape input	die Originalschablone direkt von den Magnetbandeingangsdaten herstellen
mask aligner	Justier- und Belichtungsanlage (aligning machine)
mask aligner	Maskenjustier- und Belichtungsanlage (aligning machine)
mask alignment and exposure system	Justier- und Belichtungsanlage
mask alignment and exposure system	Maskenjustier- und Belichtungsanlage
mask alignment equipment	Justier- und Belichtungsanlage (aligning machine)
mask alignment equipment	Maskenjustier- und Belichtungsanlage (aligning machine)
mask aperture	Maskenöffnung
mask artwork	Maskenvorlage
mask bowing	Maskendurchbiegung
mask breakage	Maskenbruch
mask byte	Maskenbyte
mask carrier	Maskenträger
mask carrying replicated patterns	Maske mit vervielfältigten Strukturen
mask cassette	Schablonenkassette
mask change logistics	Maskenwechsellogistik
mask comparator	Schablonenvergleichsgerät
mask contamination	Maskenverunreinigung
mask copy	Maskenkopie
mask damage after 100 exposures	Maskenbeschädigung nach 100 Belichtungen
mask defect	Maskendefekt
mask degradation	Maskenverschlechterung
mask department	Maskenkammer
mask design information	Maskenentwurfsdaten
mask distortion	Maskenverzerrung
mask exposure stage	Maskenbelichtungsstufe
mask fabrication process	Maskenfertigungsverfahren
mask fabrication technique	Maskenfertigungsverfahren
mask fabrication technology	Maskenherstellungstechnik
mask feature	Strukturelement der Maske
mask feature placement error	Strukturlagefehler auf der Maske
mask generation technique	Maskenherstellungsverfahren
mask generator	Maskenschreiber
mask grating	Maskengitter
mask holder	Schablonenhalter
mask identification number	Maskenkennzeichnungsnummer
mask inspecting device	Defektkontrollgerät
mask inspecting device	Maskenkontrollgerät
mask inspection	Defektkontrolle der Maske
mask inspection equipment	Defektkontrollgerät
mask inspection equipment	Maskenprüfgerät
mask inspection station	Defektkontrollstation
mask inspection system	Defektkontrollgerät
mask inspection system	Maskenprüfgerät
mask inspection technique	Maskenkontrollverfahren
mask integrity	Unversehrtheit der Maske
mask-layer overlay registration	Überdekkungsjustierung der Maskenebenen
mask level	Maskenebene
mask life	Maskenlebensdauer
mask lifetime	Maskenlebensdauer
mask loading time	Maskeneinschleuszeit
mask maker	Maskenhersteller
mask making	Maskenschreiben
mask making equipment	Maskenherstellungsanlage
mask making operation	Maskenfertigungsprozeß
mask making process	Maskenfertigungsprozeß
mask making speed	Maskenherstellungsgeschwindigkeit
mask making system	Maskenschreiberanlage
mask making system	Maskenfertigungsanlage
mask making system	Maskenherstellungsanlage
mask making time	Maskenherstellungszeit
mask metrology	Maskenmeßtechnik
mask modification cycle	Maskenänderungszyklus
mask movement in the contact position	Maskenbewegung in der Kontaktstellung
mask off the interrupt	die Unterbrechung ignorieren
mask opening	Maskenöffnung
mask out	ausblenden
mask out interrupts of lower priority	Unterbrechungen niedrigerer Priorität ausblenden
mask overlay accuracy	Maskenüberdeckungsgenauigkeit
mask part of the wafer selectively	einen Teil des Wafers selektiv abdecken
mask pattern	Schablonenstruktur
mask pattern	Maskenstruktur
mask pellicle	Maskenfolie
mask processing time	Maskenbearbeitungszeit
mask producer	Maskenhersteller
mask programmable	maskenprogrammierbar
mask-programmed ROM	Masken-ROM
mask-programmed ROM	maskenprogrammierter Festwertspeicher
mask reduction	Maskenverkleinerung
mask register	Maskierungsregister
mask registration	Maskenüberdeckung
mask replication technique	Schablonenkopierverfahren
mask replication technique	Maskenvervielfältigungsverfahren
mask replicator	Schablonenvervielfältigungsanlage
mask replicator	Maskenvervielfältigungsanlage
mask runout	Lagefehler auf der Maske
mask-sample gap	Abstand von Maske zu Substrat
mask set	Schablonensatz
mask shop	Maskenproduktionsstätte
mask shrinkage	Maskenverkleinerung
mask-slice separation	Abstand Maske-Wafer
mask stacking error	Maskenüberdeckungsfehler
mask stage	Maskentisch
mask superposition error	Maskenüberdeckungsfehler
mask taper	Keiligkeit der Schablone
mask technology	Maskentechnik
mask the wafer for etching	den Wafer für den Ätzprozeß maskieren
mask-to-film separation	Abstand Maske-Schicht
mask-to-mask registration	Überdeckungsgenauigkeit von Maske zu Maske
mask-to-resist separation	Abstand Maske-Resist
mask-to-slice separation	Abstand Maske-Wafer
mask-to-wafer abrasion	Abrieb zwischen Maske und Wafer
mask-to-wafer contact	Kontakt zwischen Maske und Wafer
mask-to-wafer contact	Maske-Wafer-Kontakt
mask-to-wafer distance	Abstand Schablone-Wafer
mask-to-wafer gap	Abstand Schablone-Wafer
mask-to-wafer positioning system with six degrees of freedom	Maske-Wafer-Positioniersystem mit sechs Freiheitsgraden
mask-to-wafer registration	Justierung von Maske zu Wafer
mask-to-wafer registration	Maske-Wafer-Überdeckung
mask-to-wafer separation	Abstand Maske-Wafer
mask-to-wafer spacing	Abstand Maske-Wafer
mask-wafer gap	Abstand Maske-Wafer
mask-wafer registration	Maske-Wafer-Überdeckung
mask-wafer Separation	Abstand Maske-Wafer
mask wear	Maskenabnutzung
mask writing error	Maskenschreibfehler
mask-writing exposure system	Maskenschreiber
1×master mask	Muttermaske
master mask	Muttermaske
master mask at final size	Muttermaske in endgültiger Größe
master mask at final size	Originalschablone in endgültiger Größe
master mask blank	unbelichtete Originalmaskenplatte
match the first level mask	der ersten Maske eines Satzes genau entsprechen
matrix of the mask	Maskenverband
membrane mask	Folienmaske
membrane mask	Membranmaske
merits of the mask aligners	Vorteile der Justier- und Belichtungsanlagen
metal mask	Metallschablone
metal mask	Metallmaske
metallization mask	Metallisierungsmaske
microelectronic mask fabrication	mikroelektronische Maskenherstellung
misalignment error of the mask	Rasterfehler der Schablone
molybdenum mask	Molybdänmaske
multilayer mask set	Maskensatz für mehrere Schichtebenen
multiple-mask alignment scheme	Justieranordnung für mehrere Masken
mylar mask	Mylarschablone
new-mask quality limit	Qualitätsgrenze für neue Masken
non-parallel spacing between mask and wafer	unparalleler Abstand zwischen Maske und Wafer
one-to-one mask projection technique	1:1-Maskenprojektionsverfahren
opaque region on the mask	opaker Bereich auf der Maske
opening in the metal mask	Fenster in der Metallmaske
opening in the metal mask	Öffnung in der Metallmaske
optical mask stepper	Fotorepeater (zur Herstellung von Originalmasken)
original mask	Originalmaske
original mask	Originalschablone
out-of-contact mask alignment system	Abstandsjustier- und Belichtungsgerät
out-of-flat mask	unebene Maske
out-of-flatness of the mask and wafer	Unebenheit der Maske und des Wafers
overlaid mask layers	übereinander gezeichnete Maskenschichten
oxide diffusion mask	Oxiddiffusionsmaske
oxide window mask configuration	Oxidfenstermaskenkonfiguration
parallel transfer of a mask pattern to a substrate	Parallelübertragung einer Maskenstruktur auf ein Substrat
parallelism of the mask-to-wafer spacing	Parallelität des Maske-Wafer-Abstands
pattern detail on the mask	Strukturdetail auf der Maske
pattern detail on the mask	Strukturelement auf der Maske
pellicled mask	mit einer Membrane geschützte Maske
pellicled mask	mit einer Membran geschützte Maske
pen plot of a mask layer	Zeichnung einer Maskenschicht
photoresist mask	Fotolackmaske
photoresist mask	Fotoresistmaske
place two masks back-to-back on a carrier	zwei Masken mit ihren Rückseiten zueinander auf einen Träger einsetzen
plasma etch mask	Plasmaätzmaske
plot the mask layers individually or overlaid	die Maskenschichten einzeln oder übereinander zeichnen
position the resist within a few micrometres of the mask	das Resist in einem Abstand von wenigen Mikrometern von der Maske positionieren
positioning of a mask with respect to a sample	Positionierung einer Maske in bezug auf eine Probe
precision setting of the mask-wafer gap	Feineinstellung des Abstands Maske-Wafer
predesignate for a particular mask level/ to	für eine bestimmte Maskenebene vorbestimmen
primary chrome mask	Originalchromschablone
print the mask into the resist	die Schablone in das Resist kopieren
produce working copies from the master mask	Arbeitskopien von der Originalschablone herstellen
production mask	Arbeitsmaske
project a pattern onto the mask	eine Struktur auf die Maske projizieren
project duplication of the mask onto the wafer	Projektionskopierung der Maske auf den Wafer
project mask aligner	Maskenjustier- und Belichtungsanlage mit optischer Projektion (alignment system)
project mask aligner	Projektionsjustier- und Belichtungsanlage (alignment system)
project mask alignment through a lens	Maskenjustierung durch ein Objektiv im Projektionsverfahren
project mirror system between mask and wafer	Projektionsspiegelsystem zwischen Maske und Wafer
project the image from a mask onto a photosensitive resist	das Bild von der Maske auf den Fotolack projizieren
project the image of the mask at one to one magnification on to the wafer	das Bild der Schablone im Verhältnis 1:1 auf den Wafer projizieren
project the mask image down onto the wafer surface	das Maskenbild auf die Waferoberfläche projizieren
proving distance between mask and wafer	Abstand zwischen Schablone und Wafer
proving mask aligner	Abstandsjustier- und Belichtungsgerät
proving mask alignment system	Abstandsjustier- und Belichtungsanlage
put the mask in near proximity to the wafer	die Maske in einen kleinen Abstand zum Wafer bringen
quartz mask	Quarzschablone
quartz-chrome mask	Quarzchrommaske
rectilinear array of a mask	Schablonenfeld
reference plane on the mask	Bezugsebene auf der Maske
refractive projection mask aligner	Projektionsjustier- und Belichtungsanlage mit Linsenoptik
registration error between masks	Überdeckungsfehler zwischen Masken
registration of the mask images from level to level	Überdeckung fder Maskenbilder zwischen den Ebenen
registration requirement of the mask design	Überdeckungsanforderung des Maskenentwurfs
relate the image to pattern on the mask	das Bild zur Struktur auf der Maske geometrisch in Beziehung setzen
repeat the pattern on a second level mask accurately	die Struktur auf der zweiten Maske eines Satzes genau wiederholen
replicate the mask into polymethyl methacrylate	die Maske in PMMA abbilden
replicate the pattern from the mask on the wafer	die Struktur von der Maske auf den Wafer abbilden
replication mask	Vervielfältigungsmaske
reregistrations per mask level	Neuüberdeckungen je Maskenebene
resist mask	Lackhaftmaske
resistor implant mask	Widerstandsimplantationsmaske
reticle mask	Retikelmaske
rugged X-ray mask	stabile Röntgenmaske
same-size mask	1:1 Maske
sample the quality of masks	die Qualität von Masken stichprobenartig prüfen
save a mask	eine Maske einsparen
scan over the mask	die Maske abrastern
scan the mask and the wafer simultaneously	Maske und Wafer gleichzeitig abtasten
scanning mask aligner	Waferscanner
sealed mask carrier	hermetisch abgeschlossener Maskenträger
see-through mask	Fenstermaske
Separation between mask and wafer	Abstand zwischen Maske und Wafer
set interrupt mask	"Setzen Unterbrechungsmaske"
shadow mask fabrication	Schattenmaskenherstellung
shadow mask of an ion implantation system	Schattenmaske einer Ionenimplantationsanlage
shadow mask technique	Schattenmaskentechnik
sharp line edge mask	Maske mit scharfen Linienkanten
shrink the pattern on the mask	die Struktur auf der Maske verkleinern
Si₃N₄ membrane mask	Siliziumnitridmembranmaske
single mask technology	Einmaskentechnik
six-inch mask	6"-Maske
six-inch mask	Sechszollmaske
slow speed in writing an entire mask	geringe Geschwindigkeit des Maskenschreibens
source-mask separation	Abstand Quelle-Maske
spacing between mask and wafer	Abstand zwischen Maske und Wafer
square mask feature	quadratisches Maskenstrukturelement
stable X-ray mask	stabile Röntgenmaske
stacking of two masks	Überdeckung von zwei Masken
stencil mask	Schablonenmaske
step defect reticles into randomly selected locations on the mask	Defektretikel im Step-und-Repeat-Verfahren in willkürlich ausgewählte Plätze auf der Maske abbilden
step-and-repeat array distortion on the mask	Matrixverzerrung auf der vom Repeater hergestellten Maske
step-and-repeat mask making	Maskenherstellung nach dem Repeatverfahren
step-and-repeat master mask	nach dem Step-und-Repeat-Verfahren hergestellte Originalschablone
stepping mask aligner	Scheibenrepeater
stepping-projection mask aligner	Scheibenrepeater
step-repeat imaging of a transparent foil mask at 10:1	schrittweise Bildübertragung einer transparenten Folienmaske mit zehnfacher Verkleinerung
stop-and-go wafer and mask displacement	Verschiebung von Wafer und Maske im Stop-and-go-Betrieb
substrate-to-mask alignment	Justierung von Substrat zu Maske
superimpose the image of one mask on the other	das Bild der einen Maske mit dem anderen überdecken
superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm	Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm
surrogate mask	Ersatzmaske
technology of E-beam mask making	Technik des Elektronenstrahlmaskenschreibens
throw-away mask	Wegwerfmaske
tight registration tolerance over a large mask area	enge Überdeckungstoleranz in einer großen Maskenfläche
titanium X-ray mask	Titanröntgenschablone
top mask	obere Maske
transfer of mask image to photoresist	Übertragung des Schablonenbildes auf das Fotoresist
transfer the image from the mask to the slice	das Bild von der Maske auf die Scheibe übertragen
translate mask and wafer	Maske und Wafer parallel verschieben
traverse the mask	sich über die Maske hinwegbewegen
tri mask process	Dreimaskenprozeß
tri mask process	Dreimaskentechnik
turn around a mask in less than one hour	eine Maske in weniger als einer Stunde fertigstellen
turn-around for a mask set from an engineering design to a working device	Gesamtherstellungszeit für einen Maskensatz vom technischen Entwurf bis zum arbeitsfähigen Bauelement
turn-around for a mask set from an engineering design to a working device	Durchlaufzeit für einen Maskensatz vom technischen Entwurf bis zum arbeitsfähigen Bauelement
turn-around time from the receipt of pattern data to the delivery of masks	Verfahrenszeit vom Erhalt der Strukturdaten bis zur Maskenauslieferung
ultrafragile X-ray mask	äußerst zerbrechliche Röntgenmaske
unflatness of masks	Unebenheit der Schablonen
unlimited mask life	unbegrenzte Maskenlebensdauer
unlimited mask lifetime	unbegrenzte Maskenlebensdauer
use the gate as a mask	das Gate als Maske verwenden (selbstjustierende Technik)
used-mask quality limit	Qualitätsgrenze für gebrauchte Masken
vary inversely as the number of wafer-to-mask contacts	sich im umgekehrten Verhältnis ändern wie die Anzahl der Wafer-Masken-Kontakte
via mask	Fenstermaske
wafer-mask alignment system	Wafer-Masken-Justieranlage
wafer rotation with respect to the mask's axes	Waferdrehung in bezug auf die Maskenachsen
wafer-size 1:1 mask	1:1-Maske in Wafergröße
wafer-to-mask gap	Wafer-Maske-Abstand
working mask	Arbeitsschablone
working mask	Arbeitsmaske
working mask copy	Arbeitsmaskenkopie
1:1 working production mask	Arbeitsmaske für 1:1-Übertragung
write a mask	eine Maske schreiben
writing of a master mask	Schreiben einer Originalschablone
10x reduction projection mask aligner	Belichtungsanlage mit 10fach verkleinerter Projektionsübertragung
X-ray lithography mask	Schattenmaske
X-ray lithography mask	Röntgenmaske
X-ray mask	Schattenmaske
X-ray mask	Röntgenmaske
X-ray mask alignment	Röntgenmaskenjustierung
X-ray mask substrate	Röntgenmaskensubstrat
zero-access-defect mask	defektfreie Maske