Terms for subject Microelectronics containing furnace

English	Russian
computer-controlled diffusion furnace	диффузионная печь под управлением ЭВМ
controlled-atmosphere conveyor furnace	конвейерная печь с регулируемой атмосферой
crystal pulling furnace	печь для выращивания кристаллов вытягиванием
eight-tube diffusion furnace	восьмитрубная диффузионная печь
furnace carrier	кассета для обработки полупроводниковых пластин в печи
furnace controller	регулятор работы печи
furnace module	модуль печи
graphite furnace atomic absorption system	установка атомной абсорбции с графитовой печью
light-radiant furnace	печь с радиационным нагревом
multiatmosphere furnace	печь с различными рабочими средами
pilot-production diffusion furnace	диффузионная печь для опытного производства
quartz tube furnace	диффузионная печь с кварцевой трубой
thick-film furnace	печь для вжигания толстых плёнок