Terms for subject Microelectronics containing m

German	English
auflösbare Linienbreite von 1 μm	resolvable feature size of 1 μm
Bauelementstrukturen im 1-μm-Bereich	device geometries in the 1 μm feature region
Bereich unter 0,1 μm	sub-tenth micron range
Blasendurchmesser bis zu 1 μm	bubble diameter down to 1 μm
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken	deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field
den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen	step the electron beam by 0.5 μm in the x-direction
den Koordinatentisch mit einer Genauigkeit von 0,01 μm positionieren	position the X-Y stage with an accuracy of 0.01 μm (einstellen)
den rechteckigen Querschnitt des Elekronenstrahls zwischen 0,1 und 12 μm Kantenlänge variieren	vary the rectangular cross section between 0.1 and 12 μm on a side
die Entwicklung der Strukturen bis in den 1-μm-Bereich vorantreiben	push geometries down to 1 μm area
die Gatelängen von 1 μm auf einige zehntel Mikrometer reduzieren	shrink gate lengths from 1 μm to a few tenths of a micrometre
die 1-μm-Barriere durchbrechen	cross the barrier of 1 μm
die Meßmarke mit einer Genauigkeit von 1/32 μm auffinden	find the fiducial mark with an accuracy of 1/32 micron
Einhaltung der Elementbreite bis auf ± 0,1 μm	feature contral to ± 0.1 μm
Elektronenstrahl mit 0,5 μm Durchmesser	half-micrometre-diameter electron beam
erreichbare Linienbreiten auf 0,5 μm reduzieren	advance attainable line widths to 0.5 micron
etwa 5 μm unterschreiten	go below about 5 micrometres
Gitterkonstante unter 0,1 μm	sub-0.1 μm periodicity
Goldschicht von einer Dicke unter 1 μm	layer of gold less than a micrometre thick
in Abständen von 11,25 μm anordnen	accommodate on an 11.25-pm pitch
integrierte Schaltkreise mit Strukturbreiten von 2 μm herstellen	produce integrated circuits with 2 μm design rules
Justiergenauigkeit von 0,1 μm	tenth-micron alignment precision
kleinste Strukturen von 0,5 μm schreiben	define minimum geometries of 0.5 μm (mit Elektronenstrahl)
kontaktlose Herstellung von Bauelementen mit Linienbreiten von 3 μm	non-contact production of three micron design rule devices
Linien und Abstände von 1 μm auflösen	resolve 1 μm lines and spaces
Linien von weitaus weniger als 1 μm Breite schreiben	draw lines much smaller than 1 μm (Elektronenstrahllithografie)
Linienrasterstruktur mit einem Rastermaß von 1 μm	1-μm-wide line and space pattern
Lithografie für Strukturbreiten von 2,5 μm	2.5-p.m lithography
Lösungsweg m	approach
μm die Wafer bis auf ± 5 μm plan halten	keep the wafers flat to within ± 5
μm Größenmarkierung für 1 μm	scale marker for 1
μm Mikrolinienstrukturen in der Größenordnung von 1 pm	fine line geometries of the order of 1
μm mikrolithografische Versetzungen in Inkrementen von 0,1 μm	microlithographic displacements in increments of 0.1
μm regelmäßiger Abstand der Linien von 5 μm	line and space dimension pitch of 5
μm Skalierungsbereich von 2 bis 12 μm	scaling range of 2 to 12
μm Strukturbreiten in einem großen Variationsbereich von 1,5 μm bis 3,0 μm	features ranging from as small as 1.5 μm to as large as 3.0
1-μm-Strukturen	one-micrometre geometries
μm Strukturgröße über 2,5 pm	feature greater than 2.5
mit einem 1 μm dicken Resistfilm beschichten	coat with a one-micron film of photoresist
mit einer Geschwindigkeit von 0,1 μm in jedem Bildfeld justieren	align to 0.1μm at each exposure field
nutzbare Elementgröße firn 1- bis 2-μm-Bereich	usable feature size in the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Linienbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich	usable feature size in the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Strukturbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich	usable feature size in the 1.0-2.0 micrometre range
quadratische Mesa mit 40 μm Kantenlänge	square mesa measuring 40 μm on a side
Rechtecke unterschiedlicher Größe bis zu 5 μm Kantenlänge	rectangles of varying size up to 5 μm square
Registerbereich 'm	register array
richtig belichtet an der der 1-μm-Linie benachbarten Kante	properly exposed at the edge adjacent to the 1 μ line
Schaltkreis mit kleinsten Abmessungen von 1 μm	circuit with least dimensions of 1 μm
Schaltkreis mit 0,5-μm-Strukturbreiten	half-micron circuit
Schaltkreiselement von 0,2 μm Breite	circuit line of 0.2 μm width
Schichten von 0,5 μm Dicke aufschleudern	spin films of 0.5 μm thickness
sich als 4 μm breite Linien auf dem Wafer abbilden	reproduce as 4 micron wide lines on the wafer (darstellen)
sich im freien Zustand bis zu 15 μm durchbiegen	bow up to 15 μm in the free state
Steg von 1 μm Breite	1 μm-stripe
Struktur mit Linienbreiten von 1 μm	1-μm pattern
Strukturbreite unter 4 μm	feature smaller than 4.0 μm
Strukturelement unter 1 μm	submicrometre pattern detail
Strukturelement unter 1 μm	submicrometre feature
Strukturen im Bereich von 0,5 bis 1 μm	geometry in the 0.5-to-1 μm range
Strukturen mit Elementbreiten bis zu 0,2 μm scharf abbilden	define patterns with geometries as small as 0.2 micrometre
Strukturen von 1,0 μm oder mehr erfordern	require geometries of 1.0 μm or greater
Sub-μm-MOSFET	short channel metal-oxide semiconductor FET
Unsicherheit von höchstens 0,05 μm	uncertainty of no more than 0.05 μm
Vektorgröße kleiner als 0,1 μm	vector magnitude less than 0.1 micron
Verkleinerung der Kanallängen bis zu 2 μm	scaling of channel lengths down to 2 μm
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm	superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm
Überdeckungstoleranz von 0,1 μm zwischen den Ebenen	level to-level registration tolerance of 0.1 μm