Terms for subject Microelectronics containing in der

German	English
Abstand in der Struktur	gap in the pattern
Anordnung der Daten in einem Satz	arrangement of data in a record
Anweisung in der Auftragssprache	job-control Statement
Anwendung in der Produktion	production floor application
aus der Entwicklung schnell in die Produktion übergeleitet werden	rush from test bench to production line
aus der Entwicklungsphase in den Produktionsbetrieb überführen	take from laboratory to production line operation
Ausdehnung der isolierenden Sperrschicht in das Substrat	extension of the insulating depletion layer into the substrate
Ausdehnung der VLSI-Technik in den Submikrometerbereich	extension of VLSI technology into submicrometre geometries
Befehle in der halben Zeit ausführen	execute instructions in half the time
das Bild zur Struktur auf der Maske geometrisch in Beziehung setzen	relate the image to pattern on the mask
das Resist in direkten Kontakt mit der Maske bringen	bring the resist into direct contact with the mask
das Resist in einem Abstand von wenigen Mikrometern von der Maske positionieren	position the resist within a few micrometres of the mask
Datenpunkt in der Matrix	data point in the array
Defekt in der Anlage	malfunction in the equipment
Defektretikel im Step-und-Repeat-Verfahren in willkürlich ausgewählte Plätze auf der Maske abbilden	step defect reticles into randomly selected locations on the mask
den Inhalt der Adresse in den Eingangsbus senden	send out the contents of the address onto the input bus
den normalen Betrieb in der Unterbrechungsstelle wiederaufnehmen	resume ordinary operation from the point of the interrupt
den sicheren Sitz der Leiterplatte in der Steckverbindung gewährleisten	keep the board securely seated in the connector
den Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren	position the beam at the centre of a field
den Wert in der kürzestmöglichen Zeit zurückführen	return the value in the shortest possible time
die Entwicklung der Strukturen bis in den 1-μm-Bereich vorantreiben	push geometries down to 1 μm area
die Maske in der endgültigen Größe herstellen	fabricate the mask at final size
die Operation in der Zeit des anliegenden Belegtsignals aussetzen	suspend operation until the busy signal disappears
die Scheibe in die Haltevorrichtung mit der vorderen Oberfläche nach oben einsetzen	load the slice in the fixture with the front surface up
die Scheibe um ihren Mittelpunkt in der Scheibenebene drehen	rotate the slice about its centre in the slice plane
die vollständige Struktur für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten	contain the complete pattern for all dice at the actual size of the final features (1 ×)
Diffusion von der Vorderseite des Wafers in die Schicht	diffusion from front side of wafer into film
Diffusionsvermögen von Elektronen und Defektelektronen in der Basis	diffusivity of electrons and holes in the base
Durchbiegung in der Mitte	centre-point bow
Ebene in der Höhe der Oberseite des Substrats	plane at the level of the topside of the substrate
ein 4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen	create a 4.0-mm wide image of the slit at the mask plane
Einsetzen der Kassetten in die Ladekammer	insertion of cassettes into the load chamber
Elektronenübergang in der Schale	electronic transition in the shell
Elementgröße in der Einzelbildstruktur	feature dimension in the die pattern
Fehler durch Störung in der Anlage	hang error
Fehler in der Anlage	malfunction in the equipment
Fehler in der Tischpositionierung kompensieren	compensate for errors in stage position
Fehler in der Überdeckung zwischen den Strukturen	pattern misregistration
fehlerhafte Justierung zwischen lithografischen Prozessen in der Waferherstellung	misregistration between lithography processes in wafer fabrication
Fehlerort in der Bildebene	aberrated position in the image plane
Fehlersuche in der Anlage durchführen	trouble-shoot the system
Fenster in der Metallmaske	opening in the metal mask
Formtreue in der Strukturübertragung	fidelity in pattern transfer
Geradlinigkeit der Bewegung in der x- und y-Achse	straightness of travel along both x and y axes
gleichmäßige Beleuchtung in der Waferebene	uniform illumination at the wafer plane
Gleichmäßigkeit der Belichtung in dem Feld von 1 cm²	exposure uniformity across the 1 cm² field
gleichzeitiges Eintreffen der Daten in einem Punkt	arrival of data at one point at the same time
Herstellung von Retikeln als Zwischenschritt in der Maskenherstellung	generation of reticles as an intermediate step in producing masks
hoher Wiederholgrad in der Struktur	high degree of repetition in the pattern
in der Basis gespeicherte Ladung	base-stored charge
in der Bibliothek gespeicherte Standardschaltkreiselemente aufrufen	call up standard circuit elements stored in the library
in der hierarchischen Struktur Tests auf immer höheren Ebenen durchführen	work upward through the hierarchy
in der Logik der Zentraleinheit verteilt	scattered throughout the CPU logic
in der Reaktionskammer	reactor pressure
in Dialogverkehr mit der Außenwelt treten	interact with the outside world (stehen)
in däs Hauptprogramm zurückspringen	return to the main routine
Inhalt in der angegebenen Adresse speichern	store contents at the specified address
innere Spannung in der Resistschicht	internal stress in the resist film
jedes Element einzeln zu dem entsprechenden Element in der vorher belichteten Struktur justieren	align each element individually to its corresponding element in the previously printed matrix
Kennlinie der Durchbruchspannung in Sperrichtung	reverse breakdown characteristic
Kontaktloch in der Montageplatte	in-board via
kreisförmiger Spalt in der Objektebene	circular object plane slit
Ladung in der Potentialmulde speichern	store charge in the potential well
Lage der Bondinseln in den Chipecken	location of the bond pads in the corners of a chip
Lawinenwirkung in der Kollektorsperrschicht	avalanche action in the collector junction
Leistungsgrenze in der Projektionslithografie	performance limit in projection lithography
logischer Fehler in der Programmierung	logical error in programming
μm Mikrolinienstrukturen in der Größenordnung von 1 pm	fine line geometries of the order of 1
Manipulieren in der Retikelebene	manipulation at the reticle plane
Maskenbewegung in der Kontaktstellung	mask movement in the contact position
mehrere wesentliche Konstruktionsbesonderheiten in der Anlage berücksichtigen	incorporate several features into the system
Minoritätsträgerspeicherung in der Basiszone	minority carrier storage in the base region
mit der Struktur auf der Vorderseite in Deckung bringen	register to the front side pattern
nach einer neuen Aufgabe in der Aufgabenbibliothek suchen	search for a new task in the task library
Originalvorlagen in zwanzigfacher Vergrößerung der endgültigen Bildgröße schneiden	cut artmasters at twenty times final image size
Plazierung der Bilder in Matrixform	placement of images in an array
Positionierung der Bilder in Matrixform	placement of images in an array
Richtigkeit der Justierung zwischen Retikeln in einem Satz	correctness of alignment between reticles in a set
Röntgenausgangsleistung in der Größenordnung von 100 mW/cm²	X-ray output power on the order of 100 microwatts per square centimetre (Röntgenlithografie)
Scharfabbildung in der optischen Achse	on-axis in-focus image
scharfer Knick in der Kurve	abrupt break in the curve
schnelle Fortschritte in jede Richtung der IC Technik	rapid advances on all fronts of the integrated circuit technology
sich der theoretischen Grenze in der optischen Achse nähern	approach the theoretical limit on axis
Submikrometerauflösung in der Herstellung von höchstintegrierten Schaltkreisen	submicron resolution in the production of VLST circuits
tatsächlicher Koordinatenort jedes Elements in der Matrix	actual X-Y location of each element in the array
Technologie der Herstellung integrierter Schaltkreise in Silizium	silicon integrated circuit process technology
thermische Erzeugung in der Masse.	bulk thermal generation
Unterbrechung in der Energieversorgung	power outage
Unterschied in der Austrittsarbeit	work function difference (z. B. eines Metalls und Halbleiters)
Verstärkungswirkung in der Kollektorsperrschicht	multiplication action in the collector junction
Wölbung in der Mitte	centre-point bow
Änderung in der Zusammensetzung	compositional change
Öffnung in der Maske	aperture in the mask
Öffnung in der Metallmaske	opening in the metal mask
Überdeckungsgenauigkeit in der Größenordnung von 125 nm	overlay accuracy of the order of 125 nm
Überleitung der Plasmachemie in ein Produktionsmittel für hochintegrierte Schaltkreise	transformation of plasma chemistry into a VLSI production tool