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Terms
containing
Halbleiterscheibe
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Subject
German
English
microel.
Direktstrukturierung der
Halbleiterscheibe
direct slice writing
microel.
Durchbiegung von
Halbleiterscheiben
deformation of wafers
comp.
Elektronenstrahllithografie mit direkter Layoutübertragung auf eine
Halbleiterscheibe
electron beam direct-stepping-on-wafer lithography
microel.
Halbleiterscheibe
im gesägten Zustand
as-sawn slice
gen.
Halbleiterscheiben
-Diffusionsanlage
wafer diffusion installation
microel.
resistbeschichtete
Halbleiterscheiben
direkt belichten
write directly on resist-coated wafers
microel.
Strukturbilder auf die
Halbleiterscheibe
im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
step and repeat images across
on
the wafer
comp.
Technik der direkten Übertragung eines Layout auf eine
Halbleiterscheibe
direct-stepping-on-wafer processing
microel.
Verfahren der Übertragung kleinster Strukturen auf die
Halbleiterscheibe
direct-step-on-wafer technique
microel.
zersägte
Halbleiterscheibe
sawed semiconductor wafer
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