Terms for subject Microelectronics containing Fertigungsanlage

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Fertigungsanlage der Weißzone	white room fabrication facility
Fertigungsanlage für Siliziumchips	foundry
Fertigungsanlage mit nichtvariablem quadratischem Strahlquerschnitt	fixed-shape spot manufacturing system
reale Umwelt einer Fertigungsanläge für integrierte Schaltkreise	real-world environment of an IC production line