Terms for subject Microelectronics containing Ätzen

German	English
auf die erforderliche Dicke ätzen	etch down to the necessary thickness
chemisches Ätzen	chemical milling (z. B. von Polyimid)
das darunterliegende Material unter Beachtung der Abmessungen ätzen	etch the underlying material with dimensional control
den V-förmigen Graben in das Silizium ätzen	etch the V notch out of the silicon
einen Graben in einen Wafer ätzen	etch a wafer with a groove
fünfmal schneller ätzen als	etch 5 times faster than
gerichtetes Ätzen	directional etching
Härtung vor dem Ätzen	pre-etch bake
in das Siliziumsubstrat anisotrop ätzen	etch anisotropically into the silicon substrate
isotropes Atzen	isotropic etch
Kante durch anisotropes Ätzen	anisotropic edge
Material aus dem Substrat ätzen	mill material from the substrate (Ionenstrahlätzen)
naßchemisches Ätzen	wet chemical etching
nichtselektives Ätzen	indiscriminant etching
Poly-Si über Si ätzen	etch polysilicon over silicon
selektiv und anisotrop ätzen	etch selectively and anisotropically
selektives Ätzen	selective etching
sequentielles Ätzen	sequential etching
subtraktiv ätzen	etch subtractively
Ätzen einer Einzelschicht	single-layer etching
Ätzen von Mehrschichtstrukturen	multilayer etching
Ätzen von V-Gräben	V-groove etch