Terms for subject Microelectronics containing кислород

Russian	German
в монокристалле кремния имплантацией ионов кислорода или азота с последующим термическим отжигом	Si3N4
диффузионное легирование кислородом	Sauerstoffeindiffusion
диффундирование кислорода	Sauerstoffeindiffusion (напр., в структуру кристалла ИС)
донорная примесь кислорода	Sauerstoffdonator
ионная имплантация кислорода	Sauerstoffionenimplantation
комплекс вакансия-кислород	A-Zentrum
комплекс вакансия кислород	A-Zentrum
метод формирования диэлектрического слоя SiO2 или Si3N4 в монокристалле кремния имплантацией ионов кислорода или азота с последующим термическим отжигом	Separation by Implanted Oxygen
окисление в атмосфере влажного кислорода	Feuchtoxydation
окисление в атмосфере сухого кислорода	Trockenoxydation
окисление в сухом кислороде	Trockenoxydation
окисление в сухом кислороде	Oxydation mit trockenem Sauerstoff
окисление во влажном кислороде	Oxydation mit angefeuchtetem Sauerstoff
окисление во влажном кислороде	Feuchtoxydation