Terms for subject Microelectronics containing Частица

Russian	English
активационный анализ заряжённых частиц	charged particle activation analysis
высоко электрофильная травящая частица	highly electrophilic etchant species
загрязнение частицами	particle contamination (semfromshire)
запыление частицами	particle contamination (semfromshire)
лазерный счётчик аэрозольных частиц	laser aerosol counter
литография пучками заряжённых частиц	charged-particle lithography
незаряженные активированные частицы	chargeless activated species
незаряженные возбуждённые частицы	chargeless activated species
плотность тока заряжённых частиц	irradiation current density
поверхностная частица	surface particle
поток нейтральных частиц	neutral flux density
распределение частиц пыли	dust classification
рассеяние частиц в газе	gas scattering
рассеяние частиц в газе	gas scatter
случайный сбой под воздействием альфа-частиц	alpha-induced soft error
спектр генерирования частиц	production spectrum
спектр излучаемых частиц	exit spectrum
сцинтилляционный счётчик альфа-частиц	alpha-scintillation counter
частица на поверхности	surface particle