Terms for subject Microelectronics containing particle

English	Ukrainian
alpha particle	-частинка
alpha-particle bombardment	бомбардування альфа-частками
alpha-particle protection	радіаційний захист від альфа-часток
beta particle	β-частинка
charged particle activation analysis	активаційний аналіз заряджених частинок
charged-particle lithography	літографія з використанням пучків заряджених частинок (напр. електронна, іонна)
particle control	контроль запорошеності (виробничих приміщень)
α-particle effect	вплив a-частинок
particle monitor	лічильник частинок
surface particle	поверхнева частинка
surface particle	частинка на поверхні