Terms for subject Microelectronics containing alignment

English	Ukrainian
alignment accuracy	точність суміщення
alignment error	помилка суміщення
alignment hole	котирувальний отвір
alignment hole	отвір для суміщення
alignment key	знак фігура суміщення
alignment machine	устаткування літографії
alignment machine	устаткування суміщення і експонування
alignment mark	знак фігура суміщення
alignment mechanism	устаткування літографії
alignment mechanism	устаткування суміщення (і експонування)
alignment pin	налаштовувальний орієнтуючий стержень
alignment requirement	вимога до точності суміщення
alignment technology	метод суміщення (напр. фотошаблону з напівпровідниковою пластиною)
alignment tolerance	допуск на суміщення
alignment wavelength optimization	оптимізація довжини хвилі при суміщенні (фотошаблону з пластиною)
coarse alignment	груба орієнтація
coarse alignment	грубе виставлення
coarse alignment	грубе суміщення
die-by-die alignment	послідовне суміщення від кристала до кристала
diffraction grating alignment	суміщення з використанням дифракційних граток
double-diffraction alignment	суміщення з використанням подвійної дифракції
epitaxial alignment	епітаксіальна орієнтація
fine alignment	точна орієнтація
fine alignment	точне суміщення
Fresnel-zone alignment	суміщення з використанням зон Френеля
full-wafer alignment	суміщення по всьому полю напівпровідникової пластини
global wafer alignment	суміщення по всьому полю напівпровідникової пластини
laser interferometric alignment	суміщення за допомогою лазерного інтерферометра
laser scanning alignment	лазерне суміщення
level-to-level alignment	суміщення шарів
level-to-level alignment	пошарове суміщення
mask alignment and exposure system	устаткування фотолітографії
mask alignment and exposure system	устаткування суміщення і експонування
mask-to-wafer alignment	суміщення фотошаблону з напівпровідниковою пластиною
multiple-mask alignment	суміщення між фотошаблонами
off-axis alignment	суміщення по периферійних осях
optical alignment technique	оптичний метод суміщення
3 points alignment mode	метод суміщення по трьох точках
projection mask alignment	суміщення фотошаблону при проекційній фотолітографії
projection alignment equipment	проекційне устаткування для поєднання і експонування
proximity mask alignment	суміщення фотошаблону при фотолітографії з мікрощілиною
proximity mask alignment	суміщення фотошаблону при фотолітографії з щілиною
reticle alignment	суміщення фотооригіналу
reticle alignment	суміщення проміжного фотошаблону
self-alignment	самосуміщення
site-by-site alignment	послідовне суміщення від ділянки до ділянки (в установці літографії з послідовним кроковим експонуванням)
spaced alignment	суміщення в літографії з мікрощілиною
spaced alignment	суміщення в літографії з щілиною
split-field alignment system	система оптичного поєднання з розщепленим полем
target alignment	суміщення за допомогою перехрестя мікроскопа
theta alignment	кутове суміщення