Terms for subject Microelectronics containing oxygen

English	German
interstitial oxygen	Sauerstoff auf Zwischengitterplatz
oxygen incorporation into a sputtered film	Sauerstoffeinbau in eine aufgestäubte Schicht
oxygen-nitrogen ambient	Sauerstoff-Stickstoff Atmosphäre
place the oxygen atom between the silicon lattice	das Sauerstoffatom auf einen Siliziumzwischengitterplatz setzen
precipitation of oxygen in the bulk of the silicon wafer	Anlagerung von Sauerstoff im Material des Siliziumwafers
precipitation of oxygen in the bulk of the silicon wafer	Ablagerung von Sauerstoff im Material des Siliziumwafers