Terms for subject Microelectronics containing optical

English	German
approach the limits of optical lithography	an die Grenzen der optischen Lithografie herankommen
bend the optical path twofold	den Strahlengang zweimal umlenken
centred about the optical axis	mit der optischen Achse im Mittelpunkt
direct-step-on-wafer system using 10:1 optical projection	Scheibenrepeater mit 10:1-Projektion
direct-step-on-wafer system using 10:1 optical projection	Wafer-Stepper mit zehnfacher optischer Verkleinerung
DSW 10:1 optical projection aligner	Wafer-Stepper mit optischer 10:1 -Projektionsübertragung
electron-optical aberration	elektronenoptischer Abbildungsfehler
electron-optical column	elektronenoptische Säule
electron-optical principle of forming shaped square electron beams	elektronenoptisches Prinzip der Erzeugung von Flächenstrahlen
extend the limits of performance for optical projection lithography	die Leistungsgrenzen für die optische Projektionslithografie ausdehnen
fabrication error in the optical system	Fertigungsfehler im optischen System
go through an optical inspection	eine optische Kontrolle durchlaufen
ion-optical	ionenoptisch
ion-optical imaging	ionenoptische Abbildung
ion-optical step-and-repeat system	ionenoptische Step-und-Repeat-Anlage
light-optical technique	lichtoptische Methode
limitation of optical lithography	Beschränkung der Fotolithografie
line width measuring optical microscope	Lichtmikroskop für Linienbreitemessung
line width measuring optical microscope	optisches Linienbreitemeßmikroskop
offset from the optical axis	von der optischen Achse versetzt
offset from the optical axis	außeraxial versetzt
optical aligner	optische Justier- und Belichtungsanlage
optical column	Projektionssystem
optical column	Verkleinerungseinheit
optical column	Projektionssäule
optical comparison technique	optisches Vergleichsverfahren (Defektkontrollmethode)
optical contact-printing exposure	optische Belichtung im Kontaktverfahren
optical data transfer	optische Datenübertragung
optical direct step	optisches Projektionsverfahren für direkte Waferbelichtung (mit 1:1- oder 10:1-Retikel)
optical direct stepping process	optisches Projektionsverfahren für direkte Waferbelichtung (mit 1:1- oder 10:1-Retikel)
optical DSW performance	optische Wafer-Stepper-Leistung
optical E-beam hybrid approach	kombiniertes Verfahren mit Lichtoptik und Elektronenstrahlen
optical encoder system	optisches Kodiersystem
optical exposure system	optisches Belichtungssystem
optical exposure system	optische Belichtungsanlage
optical exposure tool	optische Belichtungsanlage
optical flash	Belichtungsstempel (eines optischen Bildgenerators)
optical head assembly	Baugruppe des optischen Kopfes
optical image repeater	Fotorepeater
optical link	optische Verbindung
optical lithography	Licht-Fotolithografie
optical lithography	Fotolithografie
optical mark reader	optischer Zeichenleser
optical mask stepper	Fotorepeater (zur Herstellung von Originalmasken)
optical multiple image step-and-repeat reduction camera	Fotorepeater
optical multiple image step-and-repeat reduction camera	Fotorepeaterkamera
optical overlay method	optische Überdeckungsmethode
optical pattern transfer	optische Strukturübertragung
optical plane	Bildebene
optical plane	optische Ebene
optical portion of the system	Optikteil der Anlage
optical printing	optisches Kopieren
optical printing	optische Belichtung
optical projection camera	optische Projektionskamera (für Projektionsbelichtung)
optical projection direct-step-on-wafer technology	Wafer-Stepper-Technik mit optischer Projektion
optical projection lithography	Lichtprojektionslithografie
optical 1:1 projection lithography system	fotolithografische 1:1-Projektionsanlage
optical projection printer	optische Projektionsjustier- und Belichtungsanlage
optical projection printing	optische Projektionsbelichtung
optical projection stepping wafer exposure equipment	optischer Projektions- und Überdeckungsrepeater
optical projection stepping wafer exposure equipment	optische Scheibenrepeatanlage
optical 1:1 projector overlay inaccuracy	Überdeckungsungenauigkeit der optischen 1:1 -Projektionsanlage
optical quality quartz	Quarz optischer Güte
optical reproduction	optische Abbildung
optical step-and-repeat camera	Fotorepeater
optical step-and-repeat imaging system	Fotorepeateranlage
10:1 optical stepper	Scheibenrepeater mit 10facher Projektionsverkleinerung
optical stepper lithography	Fotolithografie mit Step-und-Repeat-Verfahren
optical step-repeat machine	Fotorepeater
optical train	optisches System
optical train	Optik
optical train	Strahlengang
optical transfer of the desired imagery on the photomask to the wafer	optische Übertragung der gewünschten Abbildung von der Fotoschablone auf den Wafer
optical wafer stepping	schrittweise optische Übertragung auf den Wafer
optical wafer stepping	schrittweise Belichtung des Wafers
optical wafer-stepping exposure	Belichtung mit Scheibenrepeater
photo-optical	fotooptisch
photo-optical	lichtoptisch
position sequentially each chip area under the electron-optical system	sequentiell jede Chipfläche unter dem elektronenoptischen System positionieren
print wafer levels with optical printers	Waferebenen mit optischen Belichtungsgeräten belichten
probe-forming electron optical system	elektronenoptische Anlage zur Sondenerzeugung
reference the wafer to the optical axis	den Wafer zur optischen Achse justieren
reflecting optical system	spiegeloptisches System (des Wafer-Scanners)
reflective projection printing optical system	Projektionsjustier- und Belichtungsanlage mit Spiegeloptik (z. B. Wafer-Scanner)
refractive optical system	optisches Linsensystem
scanning reflective-optical principle	spiegeloptisches Scanningprinzip
step-and-align optical wafer exposure system	Uberdekkungsrepeater
step-and-align optical wafer exposure system	Scheibenrepeater
step-and-repeat optical lithography system	fotolithografische Repeateranlage
step-and-repeat optical lithography system	lithografische Fotorepeateranlage
step-and-repeat optical-mechanical distortion	optisch-mechanische Verzeichnung des Step-und-Repeat-Systems
step-and-repeat optical projection machine	optischer Projektionsrepeater
step-and-repeat optical projection unit	optischer Projektionsrepeater
symmetrical with respect to the optical axis	symmetrisch zur optischen Achse
10x optical reduction	zehnfache optische Verkleinerung
10x optical step-and-repeat camera	Fotorepeater mit 10facher Bildverkleinerung