Terms for subject Microelectronics containing monitoring

English	German
height monitoring scheme	Höhenkontrollregime
monitoring accuracy down to several hundredths of a micron	Kontrollgenauigkeit bis zu einigen Hundertsteln eines Mikrometers
monitoring from a central console	Überwachung von einem zentralen Schaltpult
process control monitoring	Überwachung der Prozeßsteuerung
production monitoring	Fertigungsüberwachung