Terms for subject Microelectronics containing measurement

English	German
adherence to measurement procedures	Einhaltung der Meßbedingungen
airborne measurement system	Bordmeßsystem
average of ten measurements	Mittelwert von zehn Messungen
coarse beam position measurement	Grobmessung der Strahlposition
comparative measurement method	Vergleichsmeßverfahren
computer application to measurement and control	Rechneranwendung auf die Meß- und Verfahrenstechnik
computer-aided measurement and control	computerunterstützte Meß- und Steuertechnik
contact measurement technique	Kontaktmeßverfahren
defect measurement method	Defektmeßverfahren
defect measurement repeatability	Reproduzierbarkeit der Defektmessung
defect measurement test pattern	Teststruktur zur Messung der Defektdichte
detect by measurement techniques	durch Meßverfahren nachweisen
dimensional measurement	Größenmessung
electron probe measurement	Elektronensondenmessung
ellipsometric thickness measurement	ellipsometrische Dickenmessung (von Schichten)
feature size measurement	Linienbreitemessung
fine beam position measurement	Feinmessung der Strahlposition
flatness measurement technique	Ebenheitsmeßverfahren
follow up measurement about 30 days later	Folgemessung nach etwa 30 Tagen
four-probe measurement	Viersondenmessung
in-process measurement	Messung im laufenden Verfahren
interfacing with real-world data for measurement and control	Verbindung mit Daten der Außenwelt für Messen und Steuern
ion back-stream measurement	Ionenrückstrommessung
laser-annealed-interferometric position measurement	laserinterferometrische Wegmessung
line spacing measurement	Linienabstandsmessung
line width measurement	Strukturbreitemessung
line width measurement	Linienbreitemessung
line width measurement program	Linienbreitemeßprogramm
measurement analysis information	Meßanalysedaten
measurement area	Meßfläche
measurement of opaque lines and clear spaces in transmitted illumination	Messung opaker Linien und transparenter Zwischenräume in Durchlicht (z. B. auf Fotomasken mit integrierten Schaltkreisen)
measurement probe	Meßsonde
measurement program	Meßprogramm
measurement reproducibility	Reproduzierbarkeit der Messungen
measurement standard of sufficient accuracy	Meßnormal ausreichender Genauigkeit
measurement technique	Meßmethode
measurement technology for the semiconductor industry	Meßtechnik für die Halbleiterindustrie
non contact measurement technique	berührungsfreies Meßverfahren
pitch measurement	Rasterabstandsmessung (s.a. line spacing measurement)
probe size measurement	Sondengrößenmessung
pulse-width measurement	Impulsbreitenmessung
pulse-width measurement	Pulsbreitenmessung
repeatability among successive measurements	Reproduzierbarkeit von wiederholten Messungen (z. B. an demselben Bauelement)
semiconductor measurement technology	Halbleitermeßtechnik
switching-time measurement	Schaltzeitmessung
test circuit for performance measurement	Testschaltkreis für Leistungsmessung
voltage measurement setup	Spannungsmeßanordnung
wafer measurement system	Wafermeßsystem