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| English | German |
| ambient gas | Umgebungsgas |
| build up faster with SiH₄ than with other gases | sich bei Silan schneller bilden als bei anderen Gasen |
| conductive gas | leitendes Gas |
| etching gas | Ätzgas |
| etching gas mixture | Ätzgasmischung |
| etching gas supply | Ätzgaszuführung |
| gas boundary layer | Gasgrenzschicht |
| gas-discharge display | Gasentladungsanzeige |
| gas inlet | Gaszufuhr (Plasmaätzeinrichtung) |
| gas plasma generation by radio-frequency discharge | Gasplasmaerzeugung durch Hochfrequenzentladung |
| impurity gas | Dotierungsgas |
| n-type impurity in carrier gas | n-Dotierungsstoffe im Trägergas |
| off-gas | flüchtige Verunreinigungen entwickeln abgeben (nach der hermetischen Abdichtung, wodurch eine verunreinigte Atmosphäre für den mikroelektronischen Baustein erzeugt wird) |
| place wafers perpendicular to the gas flow | die Wafer senkrecht zum Gasstrom anordnen |
| Stripping gas | Ablösegas |