Terms for subject Microelectronics containing dimensions

English	German
circuit with least dimensions of 1 μm	Schaltkreis mit kleinsten Abmessungen von 1 μm
control of critical dimensions	Beherrschung kritischer Abmessungen
control of critical dimensions	Toleranzeinhaltung kritischer Größen
critical dimension control	Einhaltung kritischer Abmessungen
critical dimension control	Kontrolle kritischer Abmessungen
definition of resist patterns down to submicron dimensions	Auflösung von Resiststrukturen bis in den Submikrometerbereich
design dimension	nominelle Abmessung
design dimension	Entwurfsgröße
device geometries with submicrometre dimensions	Bauelementstrukturen im Submikrometerbereich
die pattem feature dimension	Strukturelementgröße auf einem Chip
dimension below a few tenths of nanometres	Abmessung unter einigen zehntel Nanometer
diminishing device dimensions	kleiner werdende Bauelementabmessungen
down scaling of structural dimensions	Verkleinerung der Strukturabmessungen
extend the present limits of IC device dimensions	die heutigen Grenzen der IC-Bauelementabmessungen erweitern
feature dimension in the die pattern	Elementgröße in der Einzelbildstruktur
gate dimension	Gateabmessung
lateral dimension	Breitenabmessung
least dimensions in the 1 to 2 μm range	kleinste Abmessungen im 1 bis 2-Mikrometerbereich
line and space dimension pitch of 5	μm regelmäßiger Abstand der Linien von 5 μm
minimum dimension down to 700 A	kleinste Abmessung bis zu 700 Ä
overall dimension tolerance	Gesamtabmessungstoleranz
pattern dimension	Strukturabmessung
print lines with minimum dimensions	Linien mit kleinsten Abmessungen kopieren
programmable-dimension rectangular beam	programmierbarer Formstrahl mit rechteckigem Querschnitt
raster-scan a small image field over the wafer in two dimensions	ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen
rectangular beam of variable dimensions	rechteckförmiger Strahl mit veränderbaren Abmessungen
reproducible dimensions at every masking step	reproduzierbare Abmessungen in jedem Maskierungsschritt
resist image dimension	Resistbildabmessung
scale down the dimensions	die Abmessungen maßstäblich verkleinern
scaled down dimension	maßstäblich verkleinerte Abmessung
structural dimension	Strukturabmessung
submicron dimension	Abmessung im Submikrometerbereich
vary under computer control the dimensions of a shaped beam	die Abmessungen eines Flächenstrahls computergesteuert verändern
vertical dimension	Höhenabmessung