Terms for subject Microelectronics containing cleaning

English	German
Class 100 clean air conditions	Umgebungsbedingungen der Staubklasse 100
clean room footprint	benötigte Clean-room-Fläche
clean room manufacture	staubfreie Fertigung
clean-up procedure	Reinigungsverfahren
cleaning technology	Reinigungstechnik
cleaning thoroughness	Gründlichkeit der Reinigung (z. B. von Masken)
post-clean	nachreinigen
post-polish cleaning method	Methode der Reinigung nach dem Polieren
pre-spin cleaning process	Reinigungsverfahren vor dem Aufschleudern
well-controlled clean conditions	engtolerierte Sauberkeitsbedingungen