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| chemical milling | chemisches Ätzen (z. B. von Polyimid) |
| chemical processing | chemische Entwicklung |
| chemical vapour deposition | chemische Beschichtung aus der Gasphase (CVD) |
| chemical vapour deposition | chemische Bedampfung (Herstellung epitaxialer Schichten aus der Gasphase) |
| chemical vapour deposition | chemische Aufdampfung (Herstellung epitaxialer Schichten aus der Gasphase) |
| chemical vapour deposition | chemische Abscheidung aus der Gasphase |
| deposition chemical | chemische Schichtsubstanz |
| deposition of thin layers via chemical reactions | Bildung dünner Schichten über chemische Reaktionen |
| growth chemical | chemische Schichtsubstanz (für epi taxiales Aufwachsen) |
| pyrolytic chemical reaction | pyrolytische chemische Reaktion |
| wet chemical etching | naßchemisches Ätzen |
| wet chemical etching process | naßchemisches Ätzverfahren |