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beam scan
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Subject
English
German
microel.
beam scan
Strahlabtastung
microel.
direction of the
beam scan
Strahlabtastrichtung
met.
electron-
beam scanning
system
Elektronenstrahl-Abtastsystem
microel.
Gaussian beam raster scan system
nach dem Rasterscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
microel.
Gaussian beam raster scan system
Punktstrahlrasterscan-Anlage
microel.
Gaussian beam vector scan system
nach dem Vektorscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
microel.
Gaussian beam vector scan system
Punktstrahlvektorscan-Anlage
microel.
move the beam across the wafer in a raster scan fashion
den Strahl rasterförmig über den Wafer führen
el.
pencil-
beam scanning
aerial
Antenne mit äußerst schmalem Sichtwinkel
el.
pencil-
beam scanning
antenna
Antenne mit äußerst schmalem Sichtwinkel
microel.
raster-scan the beam over a 128-by-128 pixel area
den Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen führen
microel.
raster-scan the beam over the resist-coated surface
den Strahl rasterförmig über die resistbeschichtete Oberfläche führen
microel.
round beam vector scan machine
Punktstrahlvektorscan-Gerät
microel.
scan a focussed E-beam across an area on the wafer
eine Elektronensonde über eine Fläche auf dem Wafer ablenken
microel.
scan an electron beam
einen Elektronenstrahl rasterartig führen
(um eine Maskenstruktur zu schreiben)
opt.
scan angle of the beam
Abtastwinkel des Strahls
microel.
scan each subfield by the electron beam in a raster
jedes Unterfeld mit dem Elektronenstrahl abrastern
(rasterförmig abtasten)
microel.
scan every element in the pattern with a finely focussed spot beam
jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
gen.
scan receive beam
Abstatung des Empfangsstrahls
microel.
scan the beam across the substrate
den Strahl rasterartig über das Substrat führen
microel.
scan the beam at right angles to the stage motion
den Strahl rechtwinklig zur Tischverschiebung auslenken
microel.
scan the beam over small distances
den Strahl rasterförmig über kleine Strecken ablenken
microel.
scan the beam over the target
die Marke mit dem Strahl abtasten
microel.
scan the electron beam over registration marks
das Elektronenstrahlbündel rasterförmig über die Feinjustiermarken führen
microel.
scan the electron beam over several wafer alignment marks
mit dem Elektronenstrahl mehrere Waferjustiermarken abtasten
microel.
scan the electron beam through the vicinity of the mark
mit dem Elektronenstrahl die Umgebung der Marke abtasten
earth.sc., el.
scanning electron beam gun
rasternde Elektronenstrahlkanone
microel.
single-
beam scan
technique
Einstrahlrasterverfahren
microel.
turn the beam on at various points in the scan
den Strahl in verschiedenen Stellen im Raster helltasten
microel.
vector scan beam deflection principle
Vektorscan-Strahlablenksystem
microel.
vector scan electron-beam machine
Vektorscan-Elektronenstrahlanlage
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