Terms for subject Microelectronics containing axis

English	German
align on the X, Y and Ф axis	in x, y und φ justieren
align parallel to the X-axis motion of the stage	parallel zur x-Richtung der Tischverschiebung justieren
approach the theoretical limit on axis	sich der theoretischen Grenze in der optischen Achse nähern
axis orthogonality	Rechtwinkligkeit der Achsen
centred about the optical axis	mit der optischen Achse im Mittelpunkt
common axis of symmetry	gemeinsame Symmetrieachse
deflect along the y axis	in y-Richtung ablenken
deflect the electron beam along the y axis den	Elektronenstrahl in y-Richtung ablenken
deflect the electron beam in a raster mode along one axis	den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken
determine substrate position relative to the beam axis	die Substratlage in bezug auf die Strahlachse bestimmen
joystick for X- and Y-axis alignment	Hebel für X-Y-Justierung
lie along a common axis	auf einer gemeinsamen Achse liegen
measuring axis	Meßachse
off-axis	seitlich der optischen Achse (befindlich)
off-axis	außeraxial (angeordnet)
off-axis alignment	außeraxiale Justierung
offset from the beam axis	Versetzung von der Strahlachse
offset from the optical axis	von der optischen Achse versetzt
offset from the optical axis	außeraxial versetzt
on-axis	auf der optischen Achse (befindlich)
on-axis	axial (angeordnet)
on-axis current	axialer Strom
on-axis in-focus image	Scharfabbildung in der optischen Achse
on-axis spot size	axiale Strahlgröße (Elektronenlithografie)
positioning axis	Positionierachse
reference the wafer to the optical axis	den Wafer zur optischen Achse justieren
rotation around a fixed pivot axis	Drehung um eine feste Achse
symmetrical with respect to the optical axis	symmetrisch zur optischen Achse
three-axis controls	Dreikoordinateneinstellelemente
travel along the Z-axis	Höhenverstellung
two-axis	zweiaxial
two-axis	zweiachsig
Z-axis adjustment	Höhenjustierung
Z-axis adjustment	Höheneinstellung
Z-axis control	Höhensteuerung
Z-axis location of the area being exposed	Höhenbestimmung der gerade belichteten Fläche
Z-axis positioning	Höhenpositionierung
Z-axis translator	Höheneinstellvorrichtung (zur Parallelverschiebung des Wafers in der Höhe zwecks Einhaltung des fokussierten Zustands)