Terms for subject Microelectronics containing at least

English	German
determine the position of the mark to an accuracy at least equal to the beam diameter	die Markenposition mit einer mindestens dem Strahldurchmesser entsprechenden Genauigkeit bestimmen
reduce parasitic capacitance by at least a factor of 10	die parasitäre Kapazität mindestens um den Faktor 10 reduzieren (herabsetzen)
sink at least 3 ma	einen Strom von mindestens 3 mA entnehmen (ziehen)