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Terms
for subject
Microelectronics
containing
The
|
all forms
|
exact matches only
English
German
abandon
the
strict Harvard architecture of the microcomputer
die strenge Harvard-Architektur des Mikrocomputers aufgeben
aberrated position in
the
image plane
Fehlerort in der Bildebene
aberration in
the
image
Bildfehler
abrade
the
probe tip
die Sondenspitze abschleifen
abrupt break in
the
curve
scharfer Knick in der Kurve
abrupt transition at
the
epi-substrate interface
abrupter Übergang an der Grenzschicht zwischen Epitaxieschicht und Substrat
absorb on to
the
surface
auf der Oberfläche absorbieren
absorb strongly at
the
exposing wavelength
bei der Belichtungswellenlänge stark absorbieren
absorbing mark on
the
mask
Absorptionsmarke auf der Maske
abut
the
written stripes
die geschriebenen Streifen aneinanderreihen
acceleration of
the
stage
Beschleunigung des Tisches
accept wafers from
the
transport system
Wafer vom Transportsystem übernehmen
access portion of
the
cycles
Zugriffsabschnitt der Operationszyklen
access
the
memory
Zugriff zum Speicher haben
access time of
the
store
Zugriffszeit des Speichers
access to all
the
pins via the probing pads
Zugang zu allen Anschlüssen über die Prüfkontakte
accommodate
the
complete A-D function into an 18-pin dual-in-line package
die gesamte A-D-Funktion in einem DIP-Gehäuse mit 18 Anschlüssen unterbringen
accomplish
the
operation off line
die Operation außerhalb des Gerätes ausführen
accumulate at
the
surface
sich an der Oberfläche ansammeln
accumulate
the
output pulses
die Ausgangsimpulse akkumulieren
accurately dimensioned picture of
the
integrated circuit chip
Bild des integrierten Schaltkreises mit genauen Dimensionen
accurately scaled representation of
the
integrated circuit chip
maßstäblich genaue Darstellung der integrierten Schaltung
achieve
the
null in the X-ray detectors
in den Röntgenstrahlendetektoren Nullanzeige erreichen
achieve
the
required fan-out
den erforderlichen Ausgangslastfaktor erreichen
acknowledge
the
interrupt request
die Unterbrechungsanforderung bestätigen
acquisition range of
the
fine-alignment system
Erfassungsbereich des Feinjustiersystems
act selectively on different areas of
the
wafer
selektiv auf verschiedene Flächen des Wafers wirken
activate
the
printer
den Drucker einschalten
activate
the
write circuitry
den Schreibschaltkreis aktivieren
active edge of
the
clock
aktive Taktsignalflanke
actual X-Y location of each element in
the
array
tatsächlicher Koordinatenort jedes Elements in der Matrix
actuate
the
clock
den Takt auslösen
add a digit to
the
next higher digit position
eine Ziffer zur nächsthöheren Stelle addieren
add bumps to
the
chip
das Chip mit Bondhügeln versehen
add more pinouts to
the
package
die Anschlußzahl des Gehäuses erhöhen
add p-dopants to
the
melt
p-Dotierungsstoffe der Schmelze beimengen
add to
the
unit's flexibility
die Flexibilität der Anlage erhöhen
added Operation of bumping
the
wafer
zusätzlicher Arbeitsgang der Bondhügelherstellung auf dem Wafer
addition of copper during
the
aluminium evaporation
Zugabe von Kupfer während der Aluminiumaufdampfung
adhesion of
the
resist
Haftung des Resists
(am Substrat)
adhesion to
the
substrate
Haftung am Substrat
adjacent chips in
the
wafer matrix
benachbarte Chips im Scheibenverband
adjust automatically X, Y, and Ф to targets on
the
wafer for each field
X, Y und Ф in bezug auf Wafermarken für jedes Einzelfeld automatisch einstellen
adjust
the
beam position during the writing of subsequent stripes
die Strahlposition während des Schreibens der folgenden Streifen justieren
adjust
the
entire image field for actual focal plane
das gesamte Bildfeld für die tatsächliche Brennebene einstellen
adjust
the
exposure gap
den Belichtungsabstand einstellen
adjustment of
the
film resistor value
Trimmen des Schichtwiderstandswertes
adjustment of
the
film resistor value
Abstimmung des Schichtwiderstandswertes
adjustment of
the
lens-to-wafer separation
Einstellung des Objektiv-Wafer-Abstands
advance continually in
the
x direction
sich kontinuierlich in x-Richtung bewegen
advancing state-of-
the
-art in semiconductor fabrication processes
fortschreitend höherer Entwicklungsstand der Halbleiterfertigungsverfahren
affect measurably
the
positional precision
die Positionsgenauigkeit meßbar beeinflussen
air lock to
the
unload chamber
Luftschleuse zur Entladekammer
align each element individually to its corresponding element in
the
previously printed matrix
jedes Element einzeln zu dem entsprechenden Element in der vorher belichteten Struktur justieren
align each successive pattem with
the
pattem previously used
jede Folgestruktur mit der vorhergehenden zur Überdekkung bringen
align on
the
X, Y and Ф axis
in x, y und φ justieren
align parallel to
the
X-axis motion of the stage
parallel zur x-Richtung der Tischverschiebung justieren
align
the
beam automatically
den Strahl automatisch justieren
align
the
lead accurately with the bonding pad
die Zwischenträgerbrücke genau zur Bondinsel ausrichten
align
the
leads with the bumps on the die
die Zwischenträgerbrücken zu den Bondhügeln auf dem Chip ausrichten
align
the
mask
with respect
to the wafer
die Maske zum Wafer justieren
align
the
patterns with respect to one another
die Strukturen zueinander justieren
align
the
reticle and wafer separately
Retikel und Wafer getrennt justieren
align
the
reticle directly to
with
the wafer
das Retikel direkt zum Wafer justieren
align
the
reticle mark to the stage mark
die Retikelmarke zur Tischmarke justieren
alignment of
the
tape leads to the chip bumps
Justage der Zwischenträger zu den Bondhügeln der Chips
alignment of
the
tape leads to the chip bumps
Ausrichtung der Zwischenträger zu den Bondhügeln der Chips
allocate
the
time of a central processor to a specific job
die Zeit eines Zentralprozessors einem bestimmten Job zuweisen
allow
the
transfer of data between computers
die Übertragung von Daten zwischen Rechnern ermöglichen
alter
the
contents of the memory
den Speicherinhalt ändern
alter
the
design rules
die Entwurfsregeln ändern
ambient temperature of
the
package environment
Umgebungstemperatur des Gehäuses
amplify
the
difference between two inputs
die Differenz zwischen zwei Eingängen verstärken
amplify
the
output
die Ausgangsimpulse verstärken
AND
the
address with the write signal
die Adresse durch logisches UND mit dem Schreibsignal verbinden
angle of incidence of
the
X-rays
Einfallswinkel der Röntgenstrahlen
angle of
the
slope
Böschungswinkel
anneal out
the
traps
die Haftstellen ausheilen
(durch hohe Temperaturen)
anneal
the
lattice disorder
die Gitterstörung ausheilen
anti-features on
the
same mask
einander gegenüberliegende Strukturelemente auf einer Maske
anti-features on
the
same mask
benachbarte Strukturelemente auf einer Maske
aperture in
the
mask
Öffnung in der Maske
appear as defects in
the
printed image
in dem übertragenen Bild als Defekte erscheinen
application on
the
production floor
Anwendung auf Produktionsebene
apply a layer of photoresist uniformly to
the
oxidized silicon
eine Fotoresistschicht gleichmäßig auf das oxydierte Silizium aufbringen
apply a thick layer of a resist to
the
wafer
eine dicke Resistschicht auf dem Wafer aufbringen
apply just one drop of solution to
the
surface
nur einen Lösungstropfen auf die Oberfläche bringen
(Schleuderbeschichtung)
apply stimuli to
the
input pins
Anregungsimpulse auf die Eingangsstifte geben
apply stimuli to
the
input pins
die Eingangsstifte ansteuern
apply
the
resist evenly by spinning the wafer at high speed
das Resist gleichmäßig auf den Wafer mit hoher Geschwindigkeit aufschleudern
approach asymptotically
the
steady-state value
sich asymptotisch dem stationären Wert nähern
approach
the
limits of optical lithography
an die Grenzen der optischen Lithografie herankommen
approach
the
practical performance limit
bis
an die praktische Leistungsgrenze herankommen
approach
the
resolution limits of light optics
die Auflösungsgrenzen der Lichtoptik annähernd erreichen
approach
the
stopping location
die Halteposition anfahren
approach
the
theoretical limit on axis
sich der theoretischen Grenze in der optischen Achse nähern
approximate by
the
expression
näherungsweise durch den Ausdruck darstellen
approximate location of
the
fiducial mark
annähernde Lage der Justiermarke
area scanned by
the
beam
vom Strahl abgerasterte Fläche
arrange
the
pins around all four sides of the package
die Anschlußstifte auf allen vier Seiten des Gehäuses anordnen
array
the
patterns
die Strukturen matrixartig anordnen
arrival of data at one point at
the
same time
gleichzeitiges Eintreffen der Daten in einem Punkt
assemble
the
two bytes into a 16-bit word
die zwei Bytes zu einem 16-Bit-Wort zusammensetzen
assigned part of
the
frequency spectrum
zugewiesener Teil des Frequenzbereichs
astigmatism of
the
probe
Astigmatismus der Sonde
asynchronous communications using
the
serial input-output features of the microprocessor
asynchrone Datenübertragung mit seriell arbeitenden Eingabe-Ausgabe-Systemen des Mikroprozessors
attach
the
chip carrier to the ceramic board by means of solder reflow
den Chipträger auf dem Keramiksubstrat durch Aufschmelzlöten befestigen
attach
the
tape-mounted chip directly to a substrate
das foliengebondete Chip direkt auf einem Substrat befestigen
attenuate reflections from
the
wafer surface
Reflexionen von der Waferoberfläche abschwächen
attenuate
the
input signal
das Eingangssignal dämpfen
audit of
the
logical and electrical integrity of the layout
Prüfung der logischen und elektrischen Integrität des Layouts
automate every step of
the
bonding operation
jeden Schritt des Bondvorgangs automatisieren
automatic alignment through
the
lens
automatische Justierung durch das Objektiv
automation of portions of
the
mask making process
Automatisierung von Teilen des Schablonenfertigungsprozesses
autoroute 80 % of
the
p.c. board/to 80 %
der Leiterplattenverbindungen automatisch herstellen
availability of
the
stored information at the output of the memory
Verfügbarkeit der gespeicherten Daten am Speicherausgang
available at
the
output
am Ausgang anliegend
available at
the
pin/to be
am Anschluß anliegen
avalanche action in
the
collector junction
Lawinenwirkung in der Kollektorsperrschicht
average
the
information from the four sensors
die Informationen von den vier Abfühlelementen mitteln
average
the
signal between samples
das Signal zwischen den Abtastwerten mitteln
average width of
the
feature
mittlere Strukturbreite
backscattering from
the
substrate
Rückstreuung vom Substrat
backside-bonded of
the
wafer
Rückseite des Wafers
balance in
the
input circuit
Abgleich im Eingangskreis
bare
the
surface beneath for further processing
die darunterliegende Fläche zur weiteren Bearbeitung freilegen
barrier in
the
surface potential
Barriere im Oberflächenpotential
barrier voltage of
the
emitter junction
Sperrschichtspannung des Emitterübergangs
basic design of
the
circuit
prinzipieller Schaltungsaufbau
beam current at
the
crossover
Strahlstrom im Crossover
beginning of
the
instruction
Befehlsanfang
beginning of
the
recording area
Anfang der Speicherfläche
bend
the
optical path twofold
den Strahlengang zweimal umlenken
bend toward
the
Fermi level
sich zum Fermi-Niveau hin krümmen
bending of
the
conduction and valence bands
Krümmung des Leitungs- und Valenzbandes
binding energy of
the
electron
Bindungsenergie des Elektrons
bit position 0 of
the
data bus
Bitposition 0 des Datenbusses
bits of silicon from
the
wafer
Siliziumteilchen vom Wafer
blank
off
the
beam
den Strahl austasten
blemish on
the
magnetic surface
Fehlstelle auf der Magnetoberfläche
block inputs to
the
slave flip-flop
Eingänge zum Slave-Flipflop sperren
block out all
the
X-rays
alle Röntgenstrahlen sperren
(absorbieren)
block
the
beam
den Strahl sperren
(blockieren)
blur due to
the
finite source size
Unschärfe durch die endliche Größe der Strahlungsquelle
blurring of
the
image
Verschleierung des Bildes
blurring of
the
image
Unschärfe des Bildes
bombard
the
wafer at normal incidence
den Wafer senkrecht beschießen
bond all leads to
the
bumped chip simultaneously
alle Anschlüsse gleichzeitig auf die Bondhügel des Chips bonden
bond between
the
resist and the silicon wafer
Haftung zwischen Resist und Siliziumscheibe
bond between
the
resist and the silicon wafer
Bindung zwischen Resist und Siliziumscheibe
bond bumped chips to
the
inner leads of the interconnects
die inneren Enden des Zwischenträgers auf die mit Bondhügeln versehenen Chips bonden
bond energy in
the
resist molecule
Bindungsenergie im Resistmolekül
bond
the
chip to the header
das Chip auf den Montagesockel bonden
bond
the
inner leads of the tape pattern to the bumped terminal pads of an IC chip
die inneren Enden der Folienstruktur auf die Bondhügel eines Chips bonden
bond
the
outer leads to a lead frame
die äußeren Enden des Zwischenträgers auf den Anschlußkamm bonden
bond
the
separated chips to the film carrier
die vereinzelten Chips auf den Filmträger bonden
bond to
the
outer leads
an die äußeren Enden des Zwischenträgers bonden
boost
the
driving capability of a microprocessor
die Treiberleistung eines Mikroprozessors verstärken
boost
the
input signal
das Eingangssignal verstärken
border of
the
depletion region
Grenze der Verarmungszone
bore of
the
projection lens
Bohrung des Projektionsobjektivs
bottom-brazed edge of
the
die pattem
untere Kante der Einzelbildstruktur
boule grown by
the
Czochralski process
nach dem Czochralski-Verfahren gezogener Einkristallkörper
bow up to 15 μm in
the
free state
sich im freien Zustand bis zu 15 μm durchbiegen
breadboard
the
circuit
die Schaltung im Versuchsaufbau herstellen
break bonds between
the
polymer molecules
Bindungen zwischen den Polymermole külen auflösen
break down
the
processor into smaller elements
den Prozessor in kleinere Bauelemente aufteilen
break
the
connection
die Verbindung unterbrechen
break
the
submicrometre barrier
die Submikrometerschwelle überwinden
bring alignment targets into coincidence with targets on
the
wafer
Justiermarken mit den Marken auf dem Wafer zur Deckung bringen
bring
the
hermetic chip carrier from the development stage to production
den hermetisch abgedichteten Chipträger aus dem Entwicklungsstadium in die Produktion überführen
bring
the
resist into direct contact with the mask
das Resist in direkten Kontakt mit der Maske bringen
broaden
the
effective size of a focussed beam
den effektiven Durchmesser eines fokussierten Strahls vergrößern
buffer to
the
outside world
über eine Pufferstufe nach außen führen
buffered latch at
the
output
gepufferter Speicher am Ausgang
build up
the
bumps
die Bondhügel aufbauen
(erhöhen)
build up
the
desired word size
die gewünschte Wortlänge aufbauen
(durch Zusammenschaltung von zentralen Prozessorelementen)
build up
the
entire chip out of progressively larger blocks
das gesamte Chip aus zunehmend größeren Funktionsblöcken aufbauen
build up
the
total image of a circuit from rectangles
die Gesamtstruktur eines Schaltkreises aus Rechtecken zusammensetzen
build up to
the
desired thickness
sich zur gewünschten Dicke aufbauen
(Schicht)
bulge within
the
wafer
Ausbauchung im Wafer
bulk of
the
pattern data
Masse der Strukturdaten
bulk of
the
wafer
Volumen des Wafers
(im Gegensatz zur Oberflächenschicht)
bump every die on
the
wafer
jedes Chip auf dem Wafer mit Bondhügeln versehen
bump
the
wafer
den Wafer mit Bondhügeln versehen
bump
the
wafer
Bondhügel auf dem Wafer aufbringen
bumping of
the
pad
Bondhügelherstellung
bumping of
the
pad
Erhöhen der Bondinsel
bury
the
implanted layer beneath the surface
die Implantationsschicht unter der Oberfläche vergraben
(verdecken)
bypass a low-yielding part of
the
mask making process
einen Teil des Maskenherstellungsprozesses mit geringer Ausbeute umgehen
bypass many of
the
mask operations
viele Maskenoperationen umgehen
byte size of
the
machine
Bytegröße des Rechners
calibrate
the
probe
die Sonde eichen
call up any step in
the
program
jeden Programmschritt aufrufen
call up standard circuit elements stored in
the
library
in der Bibliothek gespeicherte Standardschaltkreiselemente aufrufen
call up
the
appropriate microprogram
das entsprechende Mikroprogramm aufrufen
capacitance of
the
p-n junction
Sperrschichtkapazität
capacitive coupling through
the
substrate
kapazitive Kopplung durch das Substrat
capture
the
state of the logic
den Zustand der Logik erfassen
carry on
the
microinstruction bus to the data chip
über den Mikrobefehlsbus zum Datenchip leiten
carry out
the
required logic
die erforderliche Logik ausführen
carry over an error to
the
current operation
einen Fehler in die laufende Operation übertragen
carry
the
output information
die Ausgangsinformation leiten
(übertragen)
carry
the
same file name
denselben Dateinamen tragen
carry-out of
the
same digit position
Übertrag aus derselben Ziffernstelle
cast shadows onto
the
wafer below
Schatten auf den darunterliegenden Wafer werfen
cause
the
requests to be executed by peripherals
die Bearbeitung der Anforderungen durch die Peripherie veranlassen
centre
the
mask over the wafer
die Schablone über dem Wafer zentrieren
centred about
the
optical axis
mit der optischen Achse im Mittelpunkt
centred with respect to
the
reticle marks
in bezug auf die Retikelmarken zentriert
change
the
program from the keyboard
das Programm über die Tastatur verändern
change to
the
other stable state
in den anderen stabilen Zustand übergehen
charge propagation at
the
Si-SiO₂ interface
Ladungstransport an der Si-SiO₂-Grenzfläche
charging time constant of
the
circuit
Ladungszeitkonstante der Schaltung
check periodically against a fiducial mark on
the
stage
periodisch an einer Justiermarke auf dem Tisch überprüfen
check periodically against a fiducial mark on
the
stage
in periodischen Zeitabständen gegen eine Meßmarke auf dem Tisch prüfen
check
the
data for completeness and correctness
die Daten auf Vollständigkeit und Richtigkeit prüfen
chip bonded to
the
substrate
auf das Substrat gebondetes Chip
chip testing on
the
tape
Testen von Chips auf dem Filmband
circuit trace side of
the
board
Leiterbahnseite
(einer Leiterplatte)
circulate in
the
store without alteration
im Speicher ohne Änderung umlaufen
clear
the
chip edge sufficiently to prevent shorting
zur Vermeidung von Kurzschlüssen genügend Abstand zur Chipkante halten
clear
the
register
das Register löschen
clock from
the
same source
von derselben Quelle aus takten
clock
the
information into the output port
die Informationen in den Ausgangskanal takten
close
the
MOSFET switch
den MOSFET-Schalter schließen
close
the
switch for logic one
den Schalter für logische Eins schließen
coarse alignment of
the
wafer
Grobjustierung des Wafers
coating of uniform thickness across
the
entire wafer surface
Schicht von gleichmäßiger Dicke auf der gesamten Waferoberfläche
coincide with
the
bonding pads on each die
mit den Bondinseln auf jedem Chip übereinstimmen
combine MOS circuitry and MNOS transistors on
the
same chip
MOS-Schaltkreise und MNOS-Transistoren auf demselben Chip vereinigen
come off
the
production line
aus der Serienfertigung kommen
command
the
microcontroller to select the appropriate substrate
den Befehl an das Mikrosteuergerät zur Auswahl des entsprechenden Substrats geben
common-mode rejection ratio of
the
op amp
Gleichtaktunterdrückung fdes Operationsverstärkers
communication with
the
outside world via electrical signals
Kommunikation mit der Außenwelt über elektrische Signale
compensating capability of
the
system
Kompensationsmöglichkeit der Anlage
compensating deflection of
the
beam
Kompensationsablenkung des Strahls
complete
the
service of the interrupt
die Behandlung der Unterbrechung abschließen
completion of
the
current instruction
Abarbeitung des laufenden Befehls
completion of
the
current instruction
Ausführung des laufenden Befehls
compress more functions into
the
individual circuit
mehr Funktionen in den einzelnen Schaltkreis packen
compress
the
entire CPU into a single chip
die gesamte Zentraleinheit in ein Einzelchip packen
computation of
the
covariance function
Berechnung der Kovarianzfunktion
concavity of
the
etched feature
konkave Form des geätzten Strukturelements
condition
the
signal
das Signal formen
conduction cooling at
the
chip level
Kühlung auf Chipebene durch Wärmeableitung
conductive channel under
the
gate oxide layer
leitender Kanal unter der Gateoxidschicht
cone angle of
the
rays
Winkel des Strahlenbündels
confine
the
electrons in the discharge region
die Elektronen auf den Entladungsbereich begrenzen
connect
the
drain and source
Drain und Source verbinden
connect
the
outputs in parallel
die Ausgänge parallelschalten
connect
the
processor through an adapter to the telephone network
den Prozessor über einen Anschlußadapter an das Fernsprechnetz anschließen
connect with
the
socket contact
den Anschluß mit dem Sockelkontakt herstellen
connections on
the
perimeter of the chip
Anschlüsse mpl am Chipumfang
connections on
the
perimeter of the chip
Verbindungen am Chipumfang
consistency of
the
imagery
Gleichmäßigkeit der Abbildung
consistent quality of
the
photoresists
gleichbleibende Qualität der Fotoresists
constant intensity across most of
the
beam diameter
konstante Intensität über den größten Teil des Strahldurchmessers
constraints placed on
the
design process
dem Entwurfsprozeß auferlegte Zwangsbedingüngen
construct
the
entire chip pattern with the stage stationary
die gesamte Chipstruktur bei stationärem Tisch erzeugen
consume a large part of
the
die area
einen großen Teil der Chipfläche einnehmen
(beanspruchen)
consume twice
the
power
die zweifache Leistungsaufnahme haben
contact duplication of
the
mask onto the wafer
Kontaktkopierung der Maske auf den Wafer
contact pads on all four sides of
the
chip carrier
Kontaktstellen auf allen vier Seiten des Chipträgers
contact printing of
the
pattern onto the device substrate
Kontaktkopieren der Struktur auf das Bauelementsubstrat
contain
the
complete pattern for all dice at the actual size of the final features
die vollständige Struktur für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten
(1 ×)
contents of
the
counter
Inhalt des Zählers
continuous motion of
the
X-Y table
kontinuierliche Verschiebung des Koordinatentisches
contrast between
the
mark and its surroundings
Kontrast zwischen der Marke und ihrem Umfeld
control exposure time by
the
scan speed
die Belichtungszeit durch die Scanninggeschwindigkeit steuern
control line sizes uniformly across
the
projection field
gleiche Größe der Linienbreiten über das gesamte Bildfeld einhalten
control of
the
lens-to-wafer separation
Kontrolle des Abstands zwischen Objektiv und Wafer
control of
the
lens-to-wafer spacing
Kontrolle des Abstands zwischen Objektiv und Wafer
control
the
conduction between source and drain
die Leitung zwischen Source und Drain steuern
control
the
movement of the machine table
die Verschiebung des Gerätetisches steuern
control
the
radiation source directly by stored data
die Strahlungsquelle durch gespeicherte Daten direkt steuern
control tolerance of 10 % of
the
minimum line width
Einhaltungstoleranz von 10 % der kleinsten Linienbreite
convert
the
designer's topography into a primary pattern
die Entwurfstopografie in eine Primärstruktur umsetzen
convert
the
weak light into electrical signals
das schwache Licht in elektrische Signale umwandeln
copper foil of
the
desired thickness
Kupferfolie der gewünschten Dicke
copy from main memory into
the
register
aus dem Hauptspeicher in das Register übertragen
(kopieren)
copy from
the
mask structure
von der Maskenstruktur kopieren
copy number of
the
file
Kopiennummer der Datei
copy of
the
original mask
Kopie der Originalschablone
copy of
the
original mask
Duplikat der Originalschablone
copy
the
contents of a memory area to a backing store
den Inhalt eines Speicherbereichs auf einen Hilfsspeicher übertragen
copy
the
pattern data from a magnetic tape
die Strukturdaten von einem Magnetband kopieren
cover
the
entire exposure field
das gesamte Belichtungsfeld überstreichen
(erfassen)
create a 4.0-mm wide image of
the
slit at the mask plane
ein 4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen
create a new copy of
the
file
eine neue Kopie der Datei erzeugen
creeping of
the
etching solution under the resist coating
Kriechen der Ätzlösung unter die Resistschicht
crisp image over
the
entire wafer surface
gestochen scharfes Bild über die gesamte Waferfläche
cross
the
barrier of 1 μm
die 1-μm-Barriere durchbrechen
cross through
the
ion beam
den Ionenstrahl durchqueren
crossing of
the
junction by individual carriers
Durchqueren des pn-Übergangs durch einzelne Ladungsträger
crystallographic orientation of
the
silicon substrate
Kristallorientierung des Siliziumsubstrats
current state of
the
device
aktueller Zustand des Geräts
current version of
the
file
aktuelle Version der Datei
current-carrying path of
the
resistor
Stromleitpfad des Widerstands
curvature at
the
corners
Rundung an den Ecken
cushion
the
chip
das Chip weich einbet ten
cut off
the
least significant digits of a number
die niedrigstwertigen Ziffern einer Zahl abschneiden
cut
the
die unit from the tape
den Chipbaustein aus dem Zwischenträgerfilm ausschneiden
cut
the
line's delay by 6 ns
die Leitungsverzögerung um 6 ns verkürzen
cut
the
mask generation time down by a factor of two to three
die Maskenherstellungszeit um das Zwei- bis Dreifache verringern
(reduzieren)
cutoff of
the
transistor
Sperrung des Transistors
cutoff region of
the
transistor
Sperrbereich des Transistors
cutout in
the
polyimide film
Durchbruch im Polyimidfilm
cutout in
the
polyimide film
Ausschnitt im Polyimidfilm
cycle through
the
waiting points
die Wartepunkte durchlaufen
dark-field window on
the
reticle
Dunkelfeldfenster auf dem Retikel
data management capability of
the
processor
Datenverwaltungsmöglichkeit des Prozessors
data pertaining to
the
failure
fehlerrelevante Daten
data point in
the
array
Datenpunkt in der Matrix
data retrieval from
the
memory
Wiederauffindung der Daten im Speicher
data retrieval from
the
memory
Datenauslesen aus dem Speicher
data retrieval from
the
pattern memory
Informationswiedergewinnung aus dem Patternspeicher
data transfer under program control via
the
I/O ports
programmgesteuerte Datenübertragung über die Eingabe-Ausgabe-Kanäle
data transformation from
the
external representation
Datenumwandlung von der äußeren Darstellung
data transmission through
the
port
Datenübertragung über den Kanal
deactivate
the
terminal
das Endgerät abschalten
decap
the
device
das Bauelement entkappen
decay of
the
output voltage
Abfall der Ausgangsspannung
decode
the
instructions
die Befehle dekodieren
decollimation of
the
illumination
Dekollimation der Beleuchtung
decompose
the
design into successively smaller blocks
den Entwurf in fortschreitend kleinere Funktionsblöcke unterteilen
decompose
the
pattern into a number of elements
das Belichtungsmuster in eine Reihe von Elementarfiguren zerlegen
defect reticle of
the
pattern
Defektretikel der Struktur
deficiencies of
the
mask aligners
Nachteile der Justier- und Belichtungsanlagen
define
the
edges of broad areas
die Kanten großer Flächen scharf markieren
deflect along
the
y axis
in y-Richtung ablenken
deflect
the
beam electromagnetically
den Strahl elektromagnetisch ablenken
deflect
the
direction of an atom
ein Atom aus seiner Richtung ablenken
deflect
the
electron beam along the y axis den
Elektronenstrahl in y-Richtung ablenken
deflect
the
electron beam in a raster mode along one axis
den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken
deflect
the
electron beam in a raster over a 64μm square field
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken
deflect
the
focussed ion beam across the resist-coated wafer
den fokussierten Ionenstrahl über den lackbeschichteten Wafer ablenken
degradation from
the
environment
Verschlechterung durch die atmosphärische Umgebung
degradation of
the
resist profile
Verschlechterung des Resistprofils
degrade
the
current gain
die Stromverstärkung verringern
delid
the
package
das Gehäuse öffnen
delineate a pattem in
the
photoresist film on a wafer
eine Struktur im Fotoresist auf dem Wafer schreiben
belichten
(Elektronenstrahllithografie)
delineation of
the
desired pattern in the resist
Schreiben der gewünschten Struktur im Resist
deliver wafers to
the
prealignment station
Wafer der Vorjustierstation übergeben
demagnified image of
the
source
verkleinerte Abbildung der Quelle
demagnify
the
electron beam to a usable size for microfabrication
den Elektronenstrahl auf eine nutzbare Größe für die Mikrostrukturherstellung verkleinern
depict
the
logic operation of the chip clearly and concisely
die funktionelle Operation des Chips eindeutig und kurz darstellen
depletion layer height at
the
source end
sourceseitige Sperrschichthöhe
depletion width of
the
Schottky barrier
Sperrschichtbreite der Schottkyschen Randschicht
depopulate
the
traps
die Haftstellen entleeren
deposit essentially line-of-sight on
the
vacuum chamber walls
sich im wesentlichen geradlinig auf den Vakuumkammerwänden niederschlagen
(Ionenstrahlätzen)
deposit
the
ejected sputtered material on the substrate
das zerstäubte Material auf dem Substrat abscheiden
deposit
the
slice on the wafer stage
die Scheibe auf den Wafertisch ablegen
deposit two or more layers on
the
surface of each wafer
zwei oder mehr Schichten auf jeden Wafer aufdampfen
derive each word from
the
preceding word
jedes Wort aus dem vorhergehenden ableiten
(Kettenkode)
describe
the
layout to the computer in terms of its geometry
das Layout für den Computer in Form seiner Strukturanordnung beschreiben
describe
the
relationship between blocks
die Beziehung zwischen den Blöcken.beschreiben
design
the
circuit by calculation
die Schaltung berechnen
design
the
circuit by calculation
die Schaltung auf mathematischer Grundlage entwerfen
design
the
Circuit by trial and error
die Schaltung rein empirisch entwerfen
designed specifically to fit
the
requirements
entsprechend den Anforderungen speziell entwickelt
destroy
the
contents of the memory
den Speicherinhalt zerstören
(löschen)
destroy
the
data
die Daten zerstören
detect a null in
the
X-ray detectors
in den Röntgenstrahlendetektoren eine Null anzeigen
detection of
the
transmitted X-rays
Nachweis der durchgelassenen Röntgenstrahlen
deterioration of
the
mask quality
Verschlechterung der Schablonenqualität
determine substrate position relative to
the
beam axis
die Substratlage in bezug auf die Strahlachse bestimmen
determine
the
position of the mark to an accuracy at least equal to the beam diameter
die Markenposition mit einer mindestens dem Strahldurchmesser entsprechenden Genauigkeit bestimmen
develop out windows to
the
SiO₂
Fenster zum SiO₂ herausentwickeln
develop
the
top layer ten times slower than the bottom layer
die obere Schicht zehnmal langsamer entwickeln als die untere
development non-uniformity at
the
wafer centre
Entwicklungsungleichmäßigkeit in Wafermitte
deviation of
the
photoresist thickness from the mean value
Abweichung der Fotoresistdicke vom Mittelwert
device geometries in
the
1 μm feature region
Bauelementstrukturen im 1-μm-Bereich
diagnose malfunctions in
the
equipment
Fehler im Gerät feststellen
(erkennen)
diagnose
the
computer from a remote site over telephone lines
den Rechner vom Fernbedienungsplatz aus über Telefonleitungen diagnostizieren
(prüfen)
dice layout on
the
wafer
Chiplayout auf dem Wafer
die attach to
the
package
Chipverbindung mit dem Gehäuse
difference between
the
stepping errors
Lagefehlerdifferenz
differential of
the
input signal
Differential des Eingangssignals
diffraction of light at
the
edges of features in the patterns
Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente
diffuse across
the
boundary layer
durch die Grenzschicht diffundieren
diffuse across
the
junction
durch den pn-Übergang diffundieren
diffuse at
the
same rate
mit derselben Geschwindigkeit diffundieren
diffuse atoms into
the
matrix
Atome in die Matrix eindiffundieren
diffuse away from
the
surface
von der Oberfläche wegdiffundieren
diffuse impurities into precisely defined regions of
the
semiconductor wafer
Fremdatome in genau definierte Zonen des Halbleiterwafers eindiffundieren
diffuse into
the
silicon lattice substitutionally
in das Siliziumgitter auf Substitutionsplätze eindiffundieren
diffuse
the
base region
die Basiszone diffundieren
diffuse
the
impurity from the film
die Störatome aus der Schicht eindiffundieren
diffusion rate of
the
reactant
Diffusionsgeschwindigkeit des Reaktanten
diffusion through
the
epitaxial layer
Diffusion durch die Epitaxialschicht
diffusivity of electrons and holes in
the
base
Diffusionsvermögen von Elektronen und Defektelektronen in der Basis
digital description of
the
pattern
digitale Beschreibung der Struktur
dimensional accuracy of
the
developed resist pattern
Genauigkeit der Abmessungen der entwickelten Resiststruktur
direct 1×E-beam writing on
the
wafer
Elektronenstrahldirektschreiben auf Wafer
direct 1×E-beam writing on
the
wafer
Direktschreiben der Struktur auf Wafer mit Elektronenstrahl
direct exposure of wafers by
the
electronbeam system
Direktbelichtung von Wafern durch die Elektronenstrahlanlage
direct insertion into
the
step-and-repeat camera
Direkteingabe in den Fotorepeater
direct step on
the
wafer
direkte Strukturübertragung auf Wafer
(im Step-und-Repeat-Verfahren)
direct
the
beam sequentially to the elements of the chip pattern to be exposed
den Strahl sequentiell zu den zu belichtenden Elementen der Chipstruktur führen
direct through-
the
-lens viewing
direkte Beobachtung durch das Objektiv
direct writing of
the
device pattern with a scanning electron beam
Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
direct writing on
the
wafer
direkte Strukturierung des Wafers
(durch Elektronenstrahlbelichtung)
direct writing on
the
wafer
Direktbelichtung des Wafers
direction of
the
beam scan
Strahlabtastrichtung
directional link to
the
bus
Verbindung mit dem Bus in einer Richtung
directionality of
the
etching ions
Richtungsfähigkeit der Ätzionen
direct-step-on-
the
-wafer
production
system
Scheibenrepeater
(Wafer-Stepper)
direct-write-on-
the
-wafer application
Anwendung des Direktschreibverfahrens
discharge
the
capacitor
den Kondensator entladen
discharging time constant of
the
circuit
Entladungszeitkonstante der Schaltung
displace digits to
the
right
nach rechts stellenversetzen
displace
the
bits one digit position left or right
die Bits um eine Stelle nach links oder rechts verschieben
displace
the
focussed image across the second aperture
das fokussierte Bild über die zweite Blende verschieben
displacement of one digit position to
the
left
Verschiebung um eine Stelle nach links
displacement of
the
leads
Verbiegen der Zwischenträgerbrücken
displacement range of
the
object table
Verschiebungsbereich des Objekttisches
display on
the
console
auf der Konsole anzeigen
display
the
new address at the operator's terminal
die neue Adresse am Bedienerterminal anzeigen
display
the
program on the CRT terminal
das Programm auf dem Sichtgerät anzeigen
dissolution of
the
exposed area
Auflösung der belichteten Fläche
(in Positivresists)
dissolution of
the
unexposed area
Auflösung der unbelichteten Fläche
(in Negativresists)
dissolve away
the
resist layer
die Resistschicht weglösen
dissolve
the
exposed portions of the substrate
die belichteten Teile des Substrats lösen
dissolve
the
layer in water
die Schicht in Wasser lösen
distance of
the
wafer from the plane of best focus
Abstand des Wafers von der besten Fokusebene
distort
the
existing data in the field
die vorhandenen Daten im Datenfeld verfälschen
dither across
the
line
über die Linie hin und her schwingen
divide
the
chip pattern into subfields
die Chipstruktur in Unterfelder teilen
divide
the
computer logic into error domains
die Rechnerlogik in Fehlerbereiche einteilen
divide
the
design task into several smaller subtasks
die Entwurfsaufgabe in mehrere kleinere Unteraufgaben unterteilen
divide
the
pattern into basic elements
die Struktur in Elementarfiguren zerlegen
dopant concentration of
the
p-channel
Dotierungskonzentration des p-Kanals
doping across
the
wafer
Dotierung auf dem Wafer
downward bending of
the
conduction band
Krümmung des Leitungsbandes nach unten
drain current at
the
point of pinch-off
Drainstrom im Abschnürpunkt
(MOSFET)
drain current in
the
external terminal
Drainstrom im äußeren Anschluß
draught
the
final artwork on a plotting table
die endgültige Vorlage auf einem Zeichentisch zeichnen
draw
the
circuit pattern at 500 times the true size
die Schaltkreisstruktur 500 fach vergrößert zeichnen
draw
the
pattern at ten times size
die Struktur mit zehnfacher Vergrößerung zeichnen
drift velocity of
the
particles
Wanderungsgeschwindigkeit der Teilchen
drift velocity of
the
particles
Driftgeschwindigkeit der Teilchen
drive pattern for
the
output port
Steuermuster für den Ausgangskanal
drive
the
microcomputer interrupt system
das Mikrocomputerunterbrechungssystem steuern
drive
the
motors
die Motoren ansteuern
(die den Koordinatentisch verschieben)
drive
the
wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion
den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben
(ansteuern)
drive
the
X-Y stage
den Koordinatentisch ansteuern
drive
the
X-Y stage
den Koordinatentisch steuern
drop
the
leading bit
das führende Bit auslassen
drop to 50 % of
the
initial value
auf 50 % des Anfangswerts fallen
dump into paper tape via
the
teletype auf
Lochstreifen über den Fernschreiber Zwischenspeichern
dump
the
contents as a printout
den Speicherinhalt als Ausdruck ausgeben
dump
the
contents to a backing store
den Inhalt im Hilfsspeicher Zwischenspeichern
dumping of
the
data from block buffers to the shifter system
Umspeicherung der Daten von Blockpuffern zum Schiebesystem
dust-free from
the
ambient environment
Staub aus der umgebenden Atmosphäre
ease
the
programming task
die Programmierungsaufgabe erleichtern
edge of
the
clock pulse
Taktimpulsflanke
edge of
the
resist profile
Kante des Resistprofils
edge of
the
shadow
Schattenkante
edge profile of
the
beam
Flankenprofil des Strahls
edge profile of
the
developed resist
Kantenprofil des entwickelten Resists
edge slope of
the
beam profile
Flanke des Strahlprofils
edit
the
data
die Daten aufbereiten
effect simultaneous bonds of all outer leads to
the
substrate
gleichzeitig alle äußeren Enden des Zwischenträgers auf das Substrat bonden
effect
the
swap
den Austausch bewirken
eigenfunction of
the
state
Eigenfunktion des Zustands
eigenvalue of
the
electronic state
Eigenwert des Elektronenzustands
electroless application of
the
tin coating on the lead frames
stromlose Verzinnung der Anschlußkammstreifen
electron scattering within
the
film-substrate target
Elektronenstreuung im Schichtsubstrattarget
electron tunneling through
the
MIS rectifying barrier
Elektronendurchtunnelung durch die gleichrichtende Sperrschicht der MIS-Struktur
electron tunnelling through
the
MIS rectifying barrier
Elektronendurchtunnelung durch die gleichrichtende Sperrschicht der MIS-Struktur
electron-beam direct-write-on-
the
-wafer
ES-Direkt schreiben auf Wafer
electron-beam direct-write-on-
the
-wafer
Elektronenstrahldirektschreiben auf Wafer
electron-beam direct-writing on
the
wafer
ES-Direktschreiben den Wafer
electron-beam direct-writing on
the
wafer
ES-Direktschreiben auf Wafer
electronic transition in
the
shell
Elektronenübergang in der Schale
electrooptical sensing of
the
wafer edges for prealignment
elektrooptisches Abtasten der Waferkanten zur Vorjustierung
elemental area of
the
aperture
Flächenelement der Öffnung
eliminate
the
operator in the wafer handling process to the greatest extent possible
den Operateur im Waferhandhabungsprozeß in größtmöglichem Maße ausschalten
emanate from
the
drain junction
vom Drainübergang ausgehen
emulsion side of
the
master mask
Schichtseite der Originalschablone
encode into
the
appropriate binary word
in das entsprechende Binärwort kodieren
encroachment into
the
channel width
Vordringen in die Kanalbreite
encroachment into
the
channel width
Eindringen in die Kanalbreite
energize
the
relay
das Relais zum Anziehen bringen
energy barrier at
the
silicon-oxide interface
Energieschwelle an der Silizium-Oxid-Grenzschicht
engrave marks in
the
wafer stage
Marken im Wafertisch eingravieren
enhancement of
the
field ion current
Verstärkung des Feldionenstroms
enhancement of
the
junction leakage current
Verstärkung des Übergangskriechstroms
enter a desired address from
the
control panel
eine gewünschte Adresse über das Bedienungsfeld eingeben
enter at
the
console a formatted listing auf
der Konsole eine formatierte Auflistung eingeben
enter control characters at
the
keyboard
Steuerzeichen über die Tastatur eingeben
enter control information through
the
operator keyboard
Steuerinformationen über die Handtastatur eingeben
enter
the
silicon lattice
in das Siliziumgitter eindringen
enter
the
value into a particular location in the data memory
den Wert in einen bestimmten Datenspeicherplatz eingeben
enter via
the
paper tape reader über den
Lochbandleser eingeben
entry to
the
subroutine
Einsprung in das Unterprogramm
epitaxial growth at
the
substrate-silicide interface
epitaxiales Aufwachsen an der Substrat-Silizid-Grenzschicht
erase
the
contents of the memory
den Speicherinhalt löschen
erasure of
the
contents of a file
Löschung des Dateiinhalts
Showing first 500 phrases
Get short URL