Terms for subject Microelectronics containing Precision

English	German
affect measurably the positional precision	die Positionsgenauigkeit meßbar beeinflussen
assured precision	zuverlässige Präzision
deposition precision	Abscheidungsgenauigkeit
deposition precision	Auftragungsgenauigkeit
double-precision arithmetic	Rechnen mit doppelter Stellenzähl (Genauigkeit)
double-precision number	Zahl doppelter Wortlänge (Genauigkeit)
double-precision number	doppelt lange Zahl
high-precision workstage	Hochpräzisionstisch
high-precision X,Y motion system	X-Y-Präzisionsbewegungssystem
locate the benchmark with sufficient precision	die Lage der Festpunktmarke mit ausreichender Genauigkeit bestimmen
multi-access precision arithmetic	arithmetische Operation mit mehrfacher Genauigkeit
multi-access precision representation	Mehrfachgenauigkeitsdarstellung
overlay precision	Überdeckungsgenauigkeit (des Abbildungssystems)
overlay precision of two levels on a wafer	Überdeckungsgenauigkeit von zwei Ebenen auf einem Wafer
pattern positional precision	Strukturlagegenauigkeit
pattern positional precision	Strukturpositionsgenauigkeit
patterning precision	Strukturierungsgenauigkeit
positional precision	Lagegenauigkeit
precision electronic product	elektronisches Präzisionserzeugnis
precision mechanical engineering	Feinmechanik
precision mechanical engineering	Präzisionsmechanik
precision metrology instrument	Feinmeßgerät
precision metrology instrument	Präzisionsmeßgerät
precision overlay	Präzisionsüberdeckung
precision registration and overlay capability	Feinjustier- und Überdeckungsmöglichkeit
precision setting of the mask-wafer gap	Feineinstellung des Abstands Maske-Wafer
precision two-to-one reduction	Präzisionsverkleinerung von 2:1
precision X-Y table	Präzisionskoordinatentisch
registration precision	Überdeckungspräzision (des Abbildungssystems)
stepping precision	Positioniergenauigkeit (des Koordinatentisches)
superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm	Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm
tenth-micron alignment precision	Justiergenauigkeit von 0,1 μm
ultra-precision	hochgenau
ultra-precision	äußerst genau