Terms for subject Microelectronics containing staging

English	Russian
continuous stage motion e-beam system	установка электронно-лучевой литографии с последовательным экспонированием
double-ended stage	симметричный каскад
hardware stage	стадия построения
layout stage	этап разработки топологии
photoetching stage	этап фотолитографии
single-ended stage	несимметричный каскад
stage working area	рабочее поле координатного стола