Waferstrukturierung	Nominativ, Singular	nominative case, singular
	Waferstrukturierung	Genitiv, Singular	genitive case, singular
	Waferstrukturierung	Dativ, Singular	dative case, singular
	Waferstrukturierung	Akkusativ, Singular	accusative case, singular
	Waferstrukturierungen	Nominativ, Plural	nominative case, plural
	Waferstrukturierungen	Genitiv, Plural	genitive case, plural
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	Waferstrukturierungen	Akkusativ, Plural	accusative case, plural