| gen. |
высокопроизводительный метод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Основные операции планарной технологии: создание тонкой диэлектрической плёнки на поверхности кристаллического полупроводника Si, Ge, GaAs Большой Энциклопедический словарь ; удаление способом фотолитографии или электронолитографии определенных участков этой плёнки Большой Энциклопедический словарь ; введение в кристалл через незащищенные плёнкой участки донорных или акцепторных примесей легирование. В результате этих операций в кристалле образуются области с электронно-дырочными переходами. Большой Энциклопедический словарь |
