vertical anisotropic etch | |
el. | планарная технология с вертикальным травлением |
technique | |
gen. | техническое оснащение или оборудование; способ выполнения; техническое оснащение; владение специальными приёмами |
med. | оборудование; аппаратура; процедура |
| |||
планарная технология с вертикальным травлением |