Terms for subject Microelectronics containing scan

English	German
area scan generator	Flächenabtastgenerator
beam scan	Strahlabtastung
coarse scan	Grobabtastung
control exposure time by the scan speed	die Belichtungszeit durch die Scanninggeschwindigkeit steuern
direction of the beam scan	Strahlabtastrichtung
expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion	5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
fiducial scan program	Justiermarkenabtastprogramm
file scan feature	Datensucheinrichtung
fine scan	Feinabtastung
Gaussian beam raster scan system	nach dem Rasterscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
Gaussian beam raster scan system	Punktstrahlrasterscan-Anlage
Gaussian beam vector scan system	nach dem Vektorscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
Gaussian beam vector scan system	Punktstrahlvektorscan-Anlage
Gaussian vector scan instrument	nach dem Vektorscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
Gaussian vector scan instrument	Punktstrahlvektorscan-Anlage
horizontal scan	horizontale Abtastung
intensity scan profile	Intensitätsabtastprofil
line-scan time	Zeilenabtastzeit
mechanical stage motion between each scan field exposure	Tischverschiebung zwischen jeder Rasterfeldbelichtung
move the beam across the wafer in a raster scan fashion	den Strahl rasterförmig über den Wafer führen
normal to the scan	senkrecht zur Rasterbewegung
outperform the 10 MHz vect'or scan system	die Leistung der 10-MHz-Vektorscan-Anlage übertreffen
patch several scan fields	mehrere Rasterfelder zusammensetzen
rapid-scan X-Y worktable of a bonder	Koordinatentisch eines Bonders für schnelles Abfahren in x- und y-Richtung
raster-scan a small image field over the wafer in two dimensions	ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen
raster-scan exposure process	Rasterbelichtungsprozeß
raster-scan field	Rasterfeld
raster-scan machine	Rasterscan-Anlage
raster-scan technique	Rasterscan-Verfahren (der Elektronenstrahl wird zeilenweise über die Objektoberfläche ausgelenkt, aber nur an den zu belichtenden Stellen hellgetastet)
raster-scan the beam over a 128-by-128 pixel area	den Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen führen
raster-scan the beam over the resist-coated surface	den Strahl rasterförmig über die resistbeschichtete Oberfläche führen
raster-scan writing scheme	Rasterscan-Schreibsystem
raster-type scan pattern	Rasterstruktur
reverse scan	umgekehrte Abtastung
rotating scan	Rotationsrasterbewegung
round beam vector scan machine	Punktstrahlvektorscan-Gerät
scan a focussed E-beam across an area on the wafer	eine Elektronensonde über eine Fläche auf dem Wafer ablenken
scan a full 5-mm-square field	ein volles 5 mm × 5 mm-Feld abrastern
scan a light spot over a defect	eine Lichtsonde im Abtastverfahren über einen Defekt führen
scan a machine state into the central processor	einen Maschinenzustand in den Zentralprozessor abrufen (über Datenabfrageleitung)
scan a raster in a serpentine manner	mäanderförmig abrastern
scan across the mark	Abtastung der Marke
scan across the mark	über die Marke rastern
scan an arc-shaped image field of 1 mm width across the wafer	ein bogenförmiges Bildfeld von 1 mm Breite rasterartig über den Wafer führen
scan an electron beam	einen Elektronenstrahl rasterartig führen (um eine Maskenstruktur zu schreiben)
scan-and-compare system	Abtast- und Vergleichssystem
scan area	Rasterfläche
scan direction	Abtastrichtung
scan direction magnification error	Abtastrichtungsvergrößerungsfehler
scan distortion at the field edges	Rasterverzerrung an den Feldkanten
scan drive system	Abtastantriebssystem
scan each subfield by the electron beam in a raster	jedes Unterfeld mit dem Elektronenstrahl abrastern (rasterförmig abtasten)
scan every element in the pattern with a finely focussed spot beam	jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
scan field	Rasterfeld
scan field exposure	Rasterfeldbelichtung
scan field exposure	Abtastfeldbelichtung
scan for additional tasks	nach weiteren Aufgaben suchen
scan format	Abtastformat
scan generator	Abtastgenerator
scan latch	Abfragekippstufe
scan length	Abtastweg
scan length	Abtaststrecke
scan line length	Rasterzeilenlänge
scan line spacing	Rasterzeilenabstand
scan motion	Rasterbewegung
scan of memory locations	Abfrage von Speicherplätzen
scan on the specimen surface	Abrasterung auf der Probenoberfläche
scan on the specimen surface	Abtastung auf der Probenoberfläche
scan out	wiedergewinnen (z. B. Speicherinhalt)
scan out	abrufen
scan over	rasterartig führen über
scan over	abrastern
scan over	abtasten
scan over	rastern über
scan over	tasten über
scan over a fiducial mark on the stage	eine Justiermarke auf dem Tisch abtasten
scan over the mask	die Maske abrastern
scan parameter	Rasterparameter
scan parameter	Abtastparameter
scan process	Rasterverfahren
scan process	Rasterprozeß
scan-ring latch pair	Abfragering-Kippstufenpaar
scan setup	Rastereinstellung
scan spacing	Rasterabstand
scan speed	Rastergeschwindigkeit
scan speed	Abtastgeschwindigkeit
scan step	Rasterschritt
scan step size	Rasterschrittgröße
scan table	Abtasttisch
scan the beam across the substrate	den Strahl rasterartig über das Substrat führen
scan the beam at right angles to the stage motion	den Strahl rechtwinklig zur Tischverschiebung auslenken
scan the beam over small distances	den Strahl rasterförmig über kleine Strecken ablenken
scan the beam over the target	die Marke mit dem Strahl abtasten
scan the electron beam over registration marks	das Elektronenstrahlbündel rasterförmig über die Feinjustiermarken führen
scan the electron beam over several wafer alignment marks	mit dem Elektronenstrahl mehrere Waferjustiermarken abtasten
scan the electron beam through the vicinity of the mark	mit dem Elektronenstrahl die Umgebung der Marke abtasten
scan the electron spot across the surface under test	mit dem Elektronenstrahl die zu prüfende Oberfläche abrastern
scan the entire exposure field	das gesamte Belichtungsfeld abrastern
scan the mask and the wafer simultaneously	Maske und Wafer gleichzeitig abtasten
scan the whole chip	das gesamte Chip abrastern
scan through	abfragen
scan through	abtasten
scan through	durchsuchen
scan velocity component	Abtastgeschwindigkeitskomponente
scan window	Abtastfenster
sequence of the raster-scan exposure process	Ablauffolge des Rasterbelichtungsprozesses
single-beam scan technique	Einstrahlrasterverfahren
stepped scan	Abtastung in Inkrementalschritten
turn the beam on at various points in the scan	den Strahl in verschiedenen Stellen im Raster helltasten
two dimensional scan motion	X-Y-Rasterbewegung
vector scan beam deflection principle	Vektorscan-Strahlablenksystem
vector scan electron-beam machine	Vektorscan-Elektronenstrahlanlage
vector scan method	Vektorscan-Verfahren (der Elektronenstrahl wird innerhalb eines Ablenkfeldes so geführt, daß nur die zu belichtenden Strukturgebiete abgerastert und die nicht zu belichtenden Gebiete übersprungen werden)
vector scan pattem generator	Vektorscan-Bildgenerator
vector scan system	Vektorscan-Anlage
vector scan writing method	Vektorscan-Schreibverfahren
vector scan writing scheme	Vektorscan-Schreibregime
X-Y scan	X-Y-Rasterbewegung
X-Y scan table	X-Y-Rastertisch