Terms for subject Microelectronics containing lateral

English	Russian
lateral array	горизонтальная структура
lateral control	контроль горизонтальных размеров
lateral doping profile	профиль распределения примеси в горизонтальном направлении
lateral encroaching	травление в горизонтальном направлении
lateral epitaxy	эпитаксия на боковые поверхности
lateral etch component	горизонтальная составляющая травления
lateral etching	травление в горизонтальном направлении
lateral FET	горизонтальный полевой транзистор
lateral isolation	боковая изолирующая область
lateral oxidation	оксидирование кремния под маской
lateral oxidation	оксидирование в горизонтальном направлении
lateral packing density	горизонтальная плотность упаковки
lateral p-n-p construction	структура горизонтального p-n-р-транзистора
lateral pulling	выращивание монокристаллов методом вытягивания по горизонтали
lateral registration	совмещение в горизонтальном направлении
lateral resistivity	продольное удельное сопротивление
lateral superlattice	латеральная поверхностная сверхрешётка
lateral transistor structure	структура горизонтального транзистора