Terms for subject Microelectronics containing drawing

English	German
composite drawing	Zusammenstellungszeichnung (einer integrierten Schaltung)
drawing field	Schreibfeld
electron beam mask drawing	elektronenlithografische Maskenstrukturierung
electron beam mask drawing	Elektronenstrahl-schreiben der Maskenstruktur
electron-beam drawing area	Elektronenstrahlschreibfläche
generalized drawing primitive	verallgemeinertes Darstellungselement
positional accuracy within the drawing field	Positionsgenauigkeit innerhalb des Schreibfeldes
scaled drawing	maßstäbliche Zeichnung