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Terms
for subject
Microelectronics
containing
die
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all forms
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exact matches only
German
English
Aktivierungsimpuls für
die
Adressenspalte
column address strobe
Aktivierungsimpuls für
die
Adressenzeile
row address strobe
alle Anschlüsse gleichzeitig auf
die
Bondhügel des Chips bonden
bond all leads to the bumped chip simultaneously
als erste Anwärter für
die
Auslagerung in den Großspeicher kennzeichnen
flag as prime candidates for swapping back to mass storage
an
die
Grenzen der optischen Lithografie herankommen
approach the limits of optical lithography
bis
an
die
praktische Leistungsgrenze herankommen
approach the practical performance limit
an
die
äußeren Enden des Zwischenträgers bonden
bond to the outer leads
Anforderung an
die
Ebenheit
flatness requirement
Anforderungen für
die
Herstellung komplexerer integrierter Schaltkreise
requirements for the fabrication of more complex integrated circuits
Anpassung
der
Feldgröße an die Chipgröße
match of field size to chip size
Anregungsimpulse auf
die
Eingangsstifte geben
apply stimuli to the input pins
Atome in
die
Matrix eindiffundieren
diffuse atoms into the matrix
auf
die
Batteriespannung umschalten
switch over to the battery voltage
auf
die
erforderliche Dicke dünnätzen
etch down to the necessary thickness
auf
die
erforderliche Dicke ätzen
etch down to the necessary thickness
auf
die
Wafermarke senkrecht einfallen
impinge on the wafer target at normal incidence
Aufwand für
die
Maskenherstellung
masking charge
aus
der
Entwicklung schnell in die Produktion übergeleitet werden
rush from test bench to production line
Begrenzungsfaktor für
die
Linienbreitekontrolle
limiting factor in linewidth control
bester Ausgleich von sieben Punkten auf
dem
Wafer in bezug auf die ideale Fokusebene
r.m.s. best fitting of seven points on the wafer to the ideal focal plane
Bezugsfläche für
die
Rückseite des Wafers
reference surface for the back of the wafer
Bor tief in
die
aktive Basiszone implantieren
implant boron deep into the active base region
das
Elektronenstrahlbündel rasterförmig über die Feinjustiermarken führen
scan the electron beam over registration marks
das
fokussierte Bild über die zweite Blende verschieben
displace the focussed image across the second aperture
das
Gehäuse umgekehrt auf die Leiterplatte montieren
mount the package upside down on the p.c. board
das
gesamte Bildfeld für die tatsächliche Brennebene einstellen
adjust the entire image field for actual focal plane
das
Maskenbild auf die Waferoberfläche projizieren
project the mask image down onto the wafer surface
das
Originalretikel in die richtige Winkellage drehen
rotate the master reticle to the proper angle
das
Programm über die Tastatur verändern
change the program from the keyboard
Daten für
die
elektronische Ansteuerung
electronic driver data
Daten für
die
Speicherung verdichten
pack data for storage
Daten über
die
Chipauswahlleitung auslesen
read out data via the chip-select line
Daten über einen Eingangskanal in
die
Anlage eingeben
take information into the system via an input port
Defektgrenze für
die
Bauelementherstellung
defect limit for device manufacture
den
Elektronenstrahl auf eine nutzbare Größe für die Mikrostrukturherstellung verkleinern
demagnify the electron beam to a usable size for microfabrication
den
hermetisch abgedichteten Chipträger aus dem Entwicklungsstadium in die Produktion überführen
bring the hermetic chip carrier from the development stage to production
den
Strahl rasterförmig über die resistbeschichtete Oberfläche führen
raster-scan the beam over the resist-coated surface
die
Abarbeitung um das Fünffache verlangsamen
slow execution by a factor of five
die
Ablaufsteuerung an das Hauptprogramm zurückgeben
return control to the main routine
(an der Stelle, an der es in das Unterprogramm sprang)
die
Abmessungen maßstäblich verkleinern
scale down the dimensions
die
Absorberstruktur duplizieren
reproduce the absorber pattern
(wiedergeben, reproduzieren)
die
Adresse durch logisches UND mit dem Schreibsignal verbinden
AND the address with the write signal
die
Adresse eines falschen Wortes in einem Latch erfassen
latch the address of an incorrect word
(auffangen, speichern)
die
A-D-Umsetzung mit einem Befehl beginnen
start the A-D conversion with one instruction
die
Anlage am Standort schnell reparieren
repair the machine quickly in-house
(instandsetzen)
die
Anlage erweitern
expand system hardware
die
Anlage extremen Belastungen unterwerfen
put worst-case physical stresses on the system
die
Anlage gegen Erschütterungen isolieren
isolate the system from vibrations
die
Anlage so schnell wie möglich wieder betriebsfähig machen
get the machine up and running as quickly as possible
die
Anlage vollkommen vom Steuerpult aus bedienen
operate the machine totally from the operator terminal
die
Anschlußstifte auf allen vier Seiten des Gehäuses anordnen
arrange the pins around all four sides of the package
die
Anschlußzahl des Gehäuses erhöhen
add more pinouts to the package
die
Antworten in einem Ergebnisspeicher registrieren
record the responses in a result memory
die
Anzahl beweglicher Löcher übertreffen
outnumber mobile holes
die
Anzahl der Funktionen je Chip erhöhen
increase the number of functions per chip
die
Anzahl der Schritte verringern
decrease stepping
die
Architektur eines Kleinrechners auf ein einziges Siliziumchip bringen
put the architecture of a minicomputer on a single silicon chip
die
Auflösungsgrenzen der Lichtoptik annähernd erreichen
approach the resolution limits of light optics
die
Ausbeute beeinträchtigen
affect yield
die
Ausbeuten steigern
boost yields
die
Ausfallzeit minimal klein halten
keep downtime to a minimum
die
Ausgangsbits für Datenübertragung sperren
lock the output bits for data transfer
die
Ausgangsimpulse akkumulieren
accumulate the output pulses
die
Ausgangsimpulse verstärken
amplify the output
die
Ausgangsinformation leiten
carry the output information
(übertragen)
die
Ausgangsinformationen speichern
latch the output information
(in Speicherflipflops)
die
Ausgänge parallelschalten
connect the outputs in parallel
die
Basis überschreiten
exceed the radix
die
Basiszone diffundieren
diffuse the base region
die
Bauelemente auf die Bedürfnisse der Benutzer zuschneiden
tailor devices to users' needs
die
Bauelemente aus dem Versuchsstadium in neue Anwendungsgebiete überleiten
push the devices out of the lab door and into new areas
die
Bearbeitung der Anforderungen durch die Peripherie veranlassen
cause the requests to be executed by peripherals
die
Bearbeitungsverfahren bis an die technologischen Grenzen treiben
push the processing operations to the frontier of fabrication technology
die
Befehle dekodieren
decode the instructions
die
Befehlsausführung aussetzen
suspend instruction execution
die
begrenzte Speicherkapazität überschreiten
overflow the limited storage capacity
die
Behandlung der Unterbrechung abschließen
complete the service of the interrupt
die
belichteten Schaltkreisstrukturen durch den Entwickler entfernen
remove the exposed circuit features by the developer
die
belichteten Teile des Substrats lösen
dissolve the exposed portions of the substrate
die
Belichtung durch ein Lichtintegrationssystem steuern
control exposure by a light integration system
die
Belichtung in einer genauen räumlichen Beziehung zur Marke gewährleisten
insure exposure in a precise spatial relationship to the mark
die
Belichtungswellenlängen während der Justierung sperren
block exposing wavelengths during alignment
die
Belichtungszeit durch die Scanninggeschwindigkeit steuern
control exposure time by the scan speed
die
Beziehung zwischen den Blöcken.beschreiben
describe the relationship between blocks
die
Bits um eine Stelle nach links oder rechts verschieben
displace the bits one digit position left or right
die
Bondanlage abschalten
shut the bonder down
die
Bondhügel aufbauen
build up the bumps
(erhöhen)
die
Chipfläche verkleinern
shrink die area
die
Chipkante stoßen
foul the edge of the chip/to an
die
Chips durch Zersägen des Wafers vereinzeln
separate the individual chips by sawing the wafer
die
Chips in Massenproduktion herstellen
mass-produce the chips
die
Chips nach Testergebnissen sortieren
sort the chips by test results
die
Chips sortieren
sort the dice
die
Chipstruktur in Unterfelder teilen
divide the chip pattern into subfields
die
Chipverlustleistung von 0,5 W nur um 3 % erhöhen
increase the chip's 0.5 W power dissipation by only 3 %
die
darunterliegende Fläche zur weiteren Bearbeitung freilegen
bare the surface beneath for further processing
die
Daten am Eingang und Ausgang seriell und dazwischen parallel verschieben
move data in serial form at input and output and in parallel in between
die
Daten auf Vollständigkeit und Richtigkeit prüfen
check the data for completeness and correctness
die
Daten aufbereiten
edit the data
die
Daten aus dem Bus nehmen
remove the data from the bus
die
Daten aus dem Zwischenspeicher wiedergewinnen
retrieve the data from the latch
die
Daten im Multiplexbetrieb in den Bus speisen
multiplex the information onto the bus
(eingeben)
die
Daten in dem entsprechenden Speicherplatz abspeichern
store the data in the appropriate location
die
Daten in den Bus bringen
place the data on the bus
die
Daten in den Speicher einlesen
load the information into the memory
die
Daten in einen Bus eingeben
supply information to a bus
die
Daten in Seiten einteilen zur Erleichterung des Zugriffs
partition the data into pages for ease of access
die
Daten verschieben
shift the data
die
Daten wieder in den Speicher einschreiben
rewrite the data into memory
die
Daten zerstören
destroy the data
die
Daten zu einer brauchbaren Form reduzieren
reduce data to a useful form
(verdichten)
die
Datenweiche zurückschalten
switch the data selector back
die
Datenübertragung ein leiten
initiate data transfer
(auslösen)
die
Datenübertragung mit dem Busbetrieb synchronisieren
synchronize the data transfer with the operation of the bus
die
Datenübertragung vom Speicher zum Kanal organisieren
organize the data transmission from the memory to the channel
die
den der aktuellen Aufgabe am besten entsprechenden Speicherplatz wählt
best-fit method
(Gegensatz: first-fit method)
die
differentielle Ausgangsspannung in zwei Punkten abtasten
sample the differential output voltage at two points
die
Differenz zwischen zwei Eingängen verstärken
amplify the difference between two inputs
die
Diffusion auf die gewünschten Zonen begrenzen
restrict the diffusion to the desired regions
die
Diffusionen zu den VMOS- und n-MOS-Bauelementen selbstjustieren
self-align the diffusions to the V-groove and MOS devices
die
Drehung des Koordinatentischs überwachen
monitor the rotation of the X-Y stage
die
Durchführung der Datenübertragung einem getrennten Gerät übertragen
delegate communications management to a separate device
die
dynamische Leistung einem bestimmten Prozeßschritt anpassen
tailor the dynamic performance to a given process step
die
Eingabe eines Programms in einen Computer einleiten
initiate the loading of a program into a computer
die
Eingangssignale allen Komparatoren zuführen
feed the input signals to all comparators
die
Eingangsstifte ansteuern
apply stimuli to the input pins
die
einzelnen Chips schrittartig in die Bondstellung weiterschalten
index the individual chips into bonding position
die
einzelnen Chips verkappen
package the individual chips
die
einzelnen Geräte zyklisch abfragen
poll the individual devices
die
Elektrodenzahl nahezu halbieren
cut electrode count almost in half
die
Elektronen auf den Entladungsbereich begrenzen
confine the electrons in the discharge region
die
Elemente entsprechend dem definierten Bitmuster verbinden
interconnect the components according to the specified bit pattern
die
endgültige Vorlage auf einem Zeichentisch zeichnen
draught the final artwork on a plotting table
die
Entwicklung der Strukturen bis in den 1-μm-Bereich vorantreiben
push geometries down to 1 μm area
die
Entwurfsaufgabe in mehrere kleinere Unteraufgaben unterteilen
divide the design task into several smaller subtasks
die
Entwurfsregeln für Chipentwurfsmethoden festlegen
set the design rules for chip layout methods
die
Entwurfsregeln ändern
alter the design rules
die
Entwurfstopografie in eine Primärstruktur umsetzen
convert the designer's topography into a primary pattern
die
Erarbeitung von Problemlösungen unterstützen
assist in developing solutions to problems
die
erforderliche Logik ausführen
carry out the required logic
die
Ergebnisse abspeichern
place the results in store
die
Etappe von der Entwicklung bis zum ersten Baumuster verkürzen
shorten the cycle from design to prototype
die
Fehlerdaten auf einem Magnetband einschreiben
load the error data on a magnetic tape
die
Fehlerinformationen in den Hilfsprozessor eingeben
load the error information into the support processor
die
fertigen geladenen Magazine entnehmen
remove the finished loaded cassettes
die
Flexibilität der Anlage erhöhen
add to the unit's flexibility
die
Forderungen der Halbleiterindustrie erfüllen
meet the semiconductor industry requirements
die
Formen ausfüllen
fill the shapes
die
Frontplatteneinstellungen ständig abfragen
poll the panel continuously
die
frühere Version wieder herstellen
de-update
die
funktionelle Operation des Chips eindeutig und kurz darstellen
depict the logic operation of the chip clearly and concisely
die
Funktionselemente der Schaltung verbinden
tie the Circuit components together
die
für eine aktuelle Aufgabe den ersten verfügbaren Speicherplatz ausreichender Größe wählt
first-fit method
(Gegensatz: best-fit method)
die
für Fehlerbeseitigung aufgewandte Zeit verringern
minimize the time spent in debugging
die
ganze Chipstruktur auf einmal belichten
expose the full chip pattern at once
die
Gateelektrode von dem leitenden Kanal isolieren
isolate the gate electrode from the conducting channel
die
Gatelängen von 1 μm auf einige zehntel Mikrometer reduzieren
shrink gate lengths from 1 μm to a few tenths of a micrometre
die
Gate-Oxiddikken auf 400 Ä reduzieren
thin gate oxides to 400 Ä
die
genaue Tischposition mit einer Toleranz von 1/8 bis 1/48 Wellenlänge eines Helium-Neon-Lasers bestimmen
determine exact stage position to tolerances ranging from 1/8 to 1/48 wavelength of a HeNe laser
die
geringe Leistung ausgleichen
offset the low performance
die
gesamte A-D-Funktion in einem DIP-Gehäuse mit 18 Anschlüssen unterbringen
accommodate the complete A-D function into an 18-pin dual-in-line package
die
gesamte Automatisierung der Waferfertigung erzwingen
force the complete automation of wafer fabrication
die
gesamte Automatisierung der Waferfertigung erzwingen
force the complete automation of wafer fab
die
gesamte Bearbeitung einer Scheibe auf ein einziges Gerät beschränken
restrict all processing of a slice to a single machine
die
gesamte Chipstruktur bei stationärem Tisch erzeugen
construct the entire chip pattern with the stage stationary
die
gesamte Zentraleinheit in ein Einzelchip packen
compress the entire CPU into a single chip
die
Gesamtstruktur eines Schaltkreises aus Rechtecken zusammensetzen
build up the total image of a circuit from rectangles
die
geschriebenen Streifen aneinanderreihen
abut the written stripes
die
gespeicherten Daten sequentiell auslesen
read out the stored data sequentially
die
gespeicherten Informationen bewahren
retain the stored information
die
gewünschte Struktur maß- und formtreu kopieren
replicate accurately the desired pattern
die
gewünschte Wortlänge aufbauen
build up the desired word size
(durch Zusammenschaltung von zentralen Prozessorelementen)
die
Gitterstörung ausheilen
anneal the lattice disorder
die
Gleichung berechnen
evaluate the equation
die
Gleichung vereinfachen zu
simplify the equation to
die
Grenzen festlegen
establish the bounds
die
Größe von Defekten beurteilen
judge the size of imperfections
die
Gültigkeit der Testchipdaten nachweisen
establish the validity of test chip data
die
Haftstellen ausheilen
anneal out the traps
(durch hohe Temperaturen)
die
Haftstellen entleeren
depopulate the traps
die
Halteposition anfahren
approach the stopping location
die
heutigen Grenzen der IC-Bauelementabmessungen erweitern
extend the present limits of IC device dimensions
die
hohe Bauelementdichte opfern
sacrifice high component density
die
Implantationsschicht unter der Oberfläche vergraben
bury the implanted layer beneath the surface
(verdecken)
die
Impulse einem Zähler zuführen
feed the pulses into a counter
die
Impulse in einen Zähler eingeben
feed the pulses into a counter
die
Informationen in den Ausgangskanal takten
clock the information into the output port
die
Informationen in Speicherflipflops bringen
place the information in latches
die
Informationen sehr schnell auslesen
read off the information very rapidly
die
Informationen von den vier Abfühlelementen mitteln
average the information from the four sensors
die
Informationen über Datenkanäle eingeben
load the information via data channels
die
inneren Enden der Folienstruktur auf die Bondhügel eines Chips bonden
bond the inner leads of the tape pattern to the bumped terminal pads of an IC chip
die
inneren Enden der Zwischenträger auf die mit Bondhügeln versehenen Chips massenbonden
mass-bond bumped chips to the inner leads of the interconnects
(simultanbonden)
die
inneren Enden des Zwischenträgers auf die mit Bondhügeln versehenen Chips bonden
bond bumped chips to the inner leads of the interconnects
die
integrierten Schaltkreise durch Testchips in ausgewählten Plätzen auf den Wafern ersetzen
substitute the test chips at selected sites for integrated circuits on wafers
die
Intensitätsprofile glätten
smooth out the intensity profiles
die
Justierung der Marken neu kontrollieren
recheck the alignment of the marks
die
Justierung durch alle Maskierungsschritte hindurch aufrechterhalten
keep each of the mask steps aligned
die
Justierung mechanisch aufrechterhalten
maintain alignment mechanically
die
Justierung nach Symmetrie durchführen
perform alignment by symmetry
die
Kanten großer Flächen scharf markieren
define the edges of broad areas
die
Komplexität des Chips fast um das Fünffache erhöhen
increase the complexity of the chip almost fivefold
die
Kontrolle an die Eingabe-Ausgabe-Geräte abgeben
relinquish control to the input-output devices
die
Koordinatentischposition verfolgen
keep track of the X-Y stage position
die
Kosten der integrierten Schaltungen durch Vergrößerung der Funktionsmöglichkeiten verringern
reduce IC costs by increasing the functional capabilities
die
Ladekammer für die nächste Kassette frei machen
free the load chamber for the next cassette
die
Ladungspakete durch das Register schieben
shift the charge packets down the register
die
Lage der Festpunktmarke mit ausreichender Genauigkeit bestimmen
locate the benchmark with sufficient precision
die
Lage der Strukturkanten bestimmen
locate the edges of features
die
Lagefehler erfassen
sense the errors in position
die
Leistung auf den Ruhezustand reduzieren
power down
die
Leistung der Anlage überwachen
monitor the performance of the system
die
Leistung der 10-MHz-Vektorscan-Anlage übertreffen
outperform the 10 MHz vect'or scan system
die
Leistung eines herkömmlichen Kleinrechners erbringen
deliver performance equal to a conventional minicomputer
die
Leistung negativ beeinflussen
impact the performance negatively
die
Leistung um eine weitere Größenordnung verbessern
improve performance by another order of magnitude
die
Leistung um einen Faktor von nicht weniger als 10 steigern
boost performance by a factor of as much as 10
die
Leistung unter allen möglichen Betriebsbedingungen gewährleisten
assure performance under all allowed operating environments
die
Leistung von Produktionsgeräten beurteilen
assess fabrication equipment performance
die
Leistungsgrenzen für die optische Projektionslithografie ausdehnen
extend the limits of performance for optical projection lithography
die
Leiterbahnen einbrennen
fire the conductors
die
Leiterplatten in das Chassis stecken
plug the boards in the backplane
die
Leitung sperren
halt conduction
die
Leitung zwischen Source und Drain steuern
control the conduction between source and drain
die
Leitungsverzögerung um 6 ns verkürzen
cut the line's delay by 6 ns
die
Leseoperation verzögern
delay read operation
die
Logik in Funktionseinheiten unterteilen
partition logic into functional units
die
logischen Operationen in Beziehung setzen
relate the logical operations
die
logischen Verknüpfungen von Hand auf einem Layoutblatt zeichnen
lay out the logic configurations in pencil on a layout sheet
die
Lötverbindungen zwischen Chipträger und Leiterplatte zerstören
fracture the solder joints between chip carrier and p.c. board
die
Marke auffinden
locate the target
die
Marke mit dem Strahl abtasten
scan the beam over the target
die
Marken beleuchten ohne Belichtung des Resists
illuminate the marks without exposing the resist
die
Markenmatrix nach dem Step-und-Repeat-Verfahren belichten
step and expose the matrix of marks
die
Markenposition mit einer mindestens dem Strahldurchmesser entsprechenden Genauigkeit bestimmen
determine the position of the mark to an accuracy at least equal to the beam diameter
die
Maske abrastern
scan over the mask
die
Maske in der endgültigen Größe herstellen
fabricate the mask at final size
die
Maske in einem Bearbeitungsschritt nach den magnetbandgespeicherten Daten herstellen
make the mask in one step from the magnetic tape data
die
Maske in einen kleinen Abstand zum Wafer bringen
put the mask in near proximity to the wafer
die
Maske in PMMA abbilden
replicate the mask into polymethyl methacrylate
die
Maske mit einfacher Vergrößerung abbilden
image the mask with unity magnification
die
Maske zum Wafer justieren
align the mask
with respect
to the wafer
die
Maskenherstellungszeit um das Zwei- bis Dreifache verringern
cut the mask generation time down by a factor of two to three
(reduzieren)
die
Maskenschichten einzeln oder übereinander zeichnen
plot the mask layers individually or overlaid
die
1-μm-Barriere durchbrechen
cross the barrier of 1 μm
die
Meßmarke mit einer Genauigkeit von 1/32 μm auffinden
find the fiducial mark with an accuracy of 1/32 micron
die
Mittelwerte nehmen
take the averages
die
Motoren ansteuern
drive the motors
(die den Koordinatentisch verschieben)
die
neue Adresse am Bedienerterminal anzeigen
display the new address at the operator's terminal
die
niedrigstwertigen Ziffern einer Zahl abschneiden
cut off the least significant digits of a number
die
normale Ablauffolge nach der Unterbrechung wiederaufnehmen
resume the normal sequence after the interruption
die
Nulloperationsbefehle auslassen
fortlassen
miss out the do-nothing commands
(um keine Zeit für deren Ausführung zu verschwenden)
die
nächste Mikrobefehlsadresse definieren
specify the next microinstruction address
die
nächste Mikrobefehlsadresse erzeugen
generate the next microinstruction address
die
nächsten Befehle überspringen
skip the next instructions
(ohne sie auszuführen)
die
obere Schicht zehnmal langsamer entwickeln als die untere
develop the top layer ten times slower than the bottom layer
die
Oberfläche des Halbleiterwafers strukturieren
pattern the surface of the semiconductor wafer
die
Oberflächenatome durch Impulsübertragung wegsputtern
sputter away the surface atoms via momentum transfer
die
Oberflächenkonzentration nach Wunsch steuern
tailor the surface concentration
die
Operation außerhalb des Gerätes ausführen
accomplish the operation off line
die
Operation in der Zeit des anliegenden Belegtsignals aussetzen
suspend operation until the busy signal disappears
die
Originalschablone direkt von den Magnetbandeingangsdaten herstellen
make the master mask directly from the magnetic tape input
die
Oxidation verlangsamen
slow down oxidation
die
parasitäre Kapazität mindestens um den Faktor 10 reduzieren
reduce parasitic capacitance by at least a factor of 10
(herabsetzen)
die
Platine der Reparaturstelle zuleiten
route the board to the repair station
die
Platten mit Leitbahnen auslegen
route the boards
die
Positionsgenauigkeit meßbar beeinflussen
affect measurably the positional precision
die
Priorität durch Software bestimmen
determine priority by software
(festlegen)
die
Prioritätsreihenfolge festlegen
prioritize the order
die
Programmabarbeitung verlangsamen
slow down program execution
die
Programmausführung stoppen
halt the program execution
die
Programmbausteine miteinander verknüpfen
link the modules together
die
Programmierungsaufgabe erleichtern
ease the programming task
die
Projektionsoptik von alien Schwingungsquellen trennen
isolate the projection optics from all sources of vibration
die
Prozessorzeit in Anspruch nehmen
tax the processor's time
die
Pufferkapazität überschreiten
overflow the buffer
die
p-Zonen vom Substratmaterial durch eine Verarmungsrandschicht trennen
isolate the p-regions from the substrate material by a depletion layer
die
quadratische Blende auf das Objekt scharf abbilden
focus the square shape of the aperture on the target
die
Qualität von Masken stichprobenartig prüfen
sample the quality of masks
die
Qualität von Zulieferbauelementen überwachen
monitor the quality of vendor-supplied components
die
Rechenleistung auf eine Reihe kleinerer Platten aufteilen
split up the computing power among a number of smaller boards
die
Rechnerlogik in Fehlerbereiche einteilen
divide the computer logic into error domains
die
Resistschicht weglösen
dissolve away the resist layer
die
Retikel mit Folien schützen
protect the reticles with pellicles
die
Retikelmarke zur Tischmarke justieren
align the reticle mark to the stage mark
die
richtige Strukturbreite einhalten
maintain the correct width of the feature
die
Schablone in das Resist kopieren
print the mask into the resist
die
Schablone über dem Wafer zentrieren
centre the mask over the wafer
die
Schaltkreisfunktion über mehrere Leiterplatten verteilen
partition the circuit function over a set of boards
die
Schaltkreisstruktur direkt auf den resistbeschichteten Wafer belichten
expose the circuit pattern directly on the resist-covered wafer
die
Schaltkreisstruktur 500 fach vergrößert zeichnen
draw the circuit pattern at 500 times the true size
die
Schaltung auf mathematischer Grundlage entwerfen
design the circuit by calculation
die
Schaltung berechnen
design the circuit by calculation
die
Schaltung im Versuchsaufbau herstellen
breadboard the circuit
die
Schaltung rein empirisch entwerfen
design the Circuit by trial and error
die
Scheibe auf den Wafertisch ablegen
deposit the slice on the wafer stage
die
Scheibe horizontieren
level the slice
die
Scheibe in die Haltevorrichtung mit der vorderen Oberfläche nach oben einsetzen
load the slice in the fixture with the front surface up
die
Scheibe nach rechts um 90° drehen
rotate the slice clockwise 90 degrees
die
Scheibe nach rechts um 90° drehen
rotate the slice clockwise 90 deg
die
Scheibe um ihren Mittelpunkt in der Scheibenebene drehen
rotate the slice about its centre in the slice plane
die
Scheibe vom Wafertisch wieder abnehmen
retrieve the slice from the wafer stage
die
Schicht im belichteten Bereich unlöslich machen
insolubilize the coating in the exposed region
die
Schicht in Wasser lösen
dissolve the layer in water
die
Signale steuern
govern the signals
die
Signale trennen
separate the signals
(z. B. durch selektive Kanalwahl)
die
Siliziumnutzfläche topografisch in kleinen Rechtecken darstellen
map the silicon real estate into small rectangular areas
die
Sonde eichen
calibrate the probe
die
Sondenspitze abschleifen
abrade the probe tip
die
Spannung umpolen
reverse the voltage polarity
die
Spannungspolarität umkehren
reverse the voltage polarity
die
Speicheradressen aufteilen
split the memory addresses
(z. B. 4bitweise)
die
Standardschaltkreise speziellen Forderungen entsprechend modifizieren
individualize the gate arrays
die
Steuerung des Speichers übernehmen
take over control of the memory
die
Steuerung übertragen
pass control to
die
Strahlaustastplatten ansteuern
send signals to the beam blanking plates
die
Strahlposition während des Schreibens der folgenden Streifen justieren
adjust the beam position during the writing of subsequent stripes
die
Strahlungsquelle durch gespeicherte Daten direkt steuern
control the radiation source directly by stored data
die
strenge Harvard-Architektur des Mikrocomputers aufgeben
abandon the strict Harvard architecture of the microcomputer
die
Stromrichtung umkehren
reverse the direction of current
die
Stromverstärkung verringern
degrade the current gain
die
Struktur auf der Maske verkleinern
shrink the pattern on the mask
die
Struktur auf der zweiten Maske eines Satzes genau wiederholen
repeat the pattern on a second level mask accurately
die
Struktur aus einer Reihe von Retikelbildern zusammensetzen
photocompose the pattern from a number of reticle images
(montieren)
die
Struktur durch Belichtung einer Resistschicht erzeugen
generate the pattern by exposing a resist coating
die
Struktur in Elementarfiguren zerlegen
divide the pattern into basic elements
die
Struktur mit zehnfacher Vergrößerung zeichnen
draw the pattern at ten times size
die
Struktur schrittweise auf das Substrat übertragen
step the pattem onto the substrate
die
Struktur von der Maske auf den Wafer abbilden
replicate the pattern from the mask on the wafer
die
Strukturdaten von einem Magnetband kopieren
copy the pattern data from a magnetic tape
die
Strukturen auf dem Wafer überdecken
overlay the patterns on the wafer
die
Strukturen auf den Wafer aufbelichten
imprint the patterns on the wafer
die
Strukturen bis zu einer Genauigkeit von etwa 0,2 Mikrometer positionieren
place geometries to an accuracy in the order of 0.2 micrometres
die
Strukturen matrixartig anordnen
array the patterns
die
Strukturen zueinander justieren
align the patterns with respect to one another
die
Strukturgröße entsprechend dimensionieren
tailor pattern size
die
Strukturgröße gezielt verändern
tailor pattern size
die
Störatome aus der Schicht eindiffundieren
diffuse the impurity from the film
die
Störatome bei Diffusionstemperaturen injizieren
inject the impurities at diffusion temperatures
die
Störstellen aus der Waferoberfläche abziehen
extract the defects from the top of the wafer
die
Störung schnell feststellen
locate the trouble rapidly
die
Submikrometerschwelle überwinden
break the submicrometre barrier
die
Substrate im Gehäuse installieren
mount the substrates in the package
die
Substrate übereinander stapeln
stack the decks on top of one another
die
Substratlage in bezug auf die Strahlachse bestimmen
determine substrate position relative to the beam axis
die
Substratoberfläche ebnen
planarize the substrate topology
die
supergroßes Chip
giant-sized
die
Takte zeitlich versetzen
skew the clocks
die
Testmöglichkeit der Anlage erweitern
expand the system's testing capability
die
Testpuffer mit neuen Mustern laden
load new patterns into test buffers
die
theoretischen Leistungskriterien erfüllen
meet design performance criteria
die
Tischposition laserinterferometrisch überwachen
monitor stage position by a laser interferometer
(kontrollieren)
die
Treiberleistung eines Mikroprozessors verstärken
boost the driving capability of a microprocessor
die
Umrisse des Strukturelements mit kleinem Punktstrahl schreiben und mit großen Blöcken ausfüllen
outline the feature with a small spot and fill it with large blocks
die
ungenaue Justierung nahezu eliminieren
reduce misalignment to near-zero
die
unter der Kontrolle einer übergeordneten steht
slave
(s.a. slave processor)
die
Unterbrechung ignorieren
mask off the interrupt
die
Unterbrechungsanforderung auf eine Warteliste setzen
queue the interrupt request
die
Unterbrechungsanforderung bearbeiten
service the interrupt request
die
Unterbrechungsanforderung bestätigen
acknowledge the interrupt request
die
untere Resistschicht durch die obere Schicht belichten
expose the bottom resist layer through the top layer
die
Verarbeitung fließbandartig in drei Stufen durchführen
pipeline the execution in three stages
die
Verbindung aufschmelzen
fuse the link open
die
Verbindung mit der Außenschaltung herstellen
provide communication to the external circuitry
die
Verbindung unterbrechen
break the connection
die
Verbindungsstelle minimal beanspruchen
impart minimum stress on the joint
(belasten)
die
verbleibende Chipfläche mit Kreuz- und Querverbindungen vergeuden
squander the remaining chip area in a jumble of interconnections
die
vereinzelten Chips auf den Filmträger bonden
bond the separated chips to the film carrier
die
Verfügbarkeit des Speichers einschränken
reduce the availability of the memory
die
Verlustleistung auf dem Chip niedrig halten
keep on-chip power dissipation low
die
Verlustleistung niedrig halten
hold down the power dissipation
die
Verschiebung des Gerätetisches steuern
control the movement of the machine table
die
Verstärkung bis auf das Zehnfache erhöhen
boost gain up to 10 times
(steigern)
die
vollständige Struktur für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten
contain the complete pattern for all dice at the actual size of the final features
(1 ×)
die
vorgeschriebenen Programmschritte ausführen
implement the prescribed program steps
die
vorhandenen Daten im Datenfeld verfälschen
distort the existing data in the field
die
Wafer auf betriebseigenen Anlagen mit Bondhügeln versehen
bump wafers in-house
die
Wafer der Anlage zuführen
load the wafers into the system
die
Wafer direkt struktu rieren
pattern wafers directly
die
Wafer einem Hochtemperaturprozeß unterwerfen
subject the wafers to a high-temperature operation
die
Wafer senkrecht zum Gasstrom anordnen
place wafers perpendicular to the gas flow
die
Waferdurchbiegung kompensieren
compensate for wafer bow
die
Waferjustiermarke auf einem Bildschirm darstellen
present the wafer alignment mark on a video screen
die
Waferposition abfühlen
sense wafer position
die
Wahrscheinlichkeit eines Fehlernachweises maximieren
maximize the probability of detecting a failure
die
Wartepunkte durchlaufen
cycle through the waiting points
die
Widerstände auf dielektrische Schichten drukken
print the resistors on to dielectrics
die
Zahl der Speicherzellen erweitern
extend the number of memory cells
die
zehnfache Rechenleistung erlangen
gain tenfold in computing power
die
Zeichenformatvorschriften beachten
follow the character format rules
die
Zeit eines Zentralprozessors einem bestimmten Job zuweisen
allocate the time of a central processor to a specific job
die
Zentraleinheit von vielen Funktionen entlasten
offload the central processing unit from many functions
die
Ziffern am anderen Ende wieder einführen
re-enter the digits at the other end
die
Ziffern an einem Ende hinausschieben
move the digits out of one end
die
zu schreibende Struktur zu vorausgehenden justieren
orient the pattern to be written with previous ones
die
Zuordnung für einen Speicherblock aufheben
deallocate a block of memory
die
Zuverlässigkeit der Anlage gefährden
jeopardize system reliability
(aufs Spiel setzen)
die
zwei Bytes zu einem 16-Bit-Wort zusammensetzen
assemble the two bytes into a 16-bit word
die
zweifache Leistungsaufnahme haben
consume twice the power
die
Zwischenträgerbrücke genau zur Bondinsel ausrichten
align the lead accurately with the bonding pad
die
Zwischenträgerbrücken zu den Bondhügeln auf dem Chip ausrichten
align the leads with the bumps on the die
die
Zykluszeit des Speichers verlängern
lengthen the cycle time of the memory
die
Änderungen an beiden Enden zuläßt
deque
die
äußeren Enden des Zwischenträgers auf den Anschlußkamm bonden
bond the outer leads to a lead frame
die
äußeren Enden des Zwischenträgers mit den Substratleitern verbinden
join the outer leads to the substrate conductors
die
Übertragung von Daten zwischen Rechnern ermöglichen
allow the transfer of data between computers
Diffusion durch
die
Epitaxialschicht
diffusion through the epitaxial layer
Diffusion von
der
Vorderseite des Wafers in die Schicht
diffusion from front side of wafer into film
Direktbelichtung von Wafern durch
die
Elektronenstrahlanlage
direct exposure of wafers by the electronbeam system
durch
die
Grenzschicht diffundieren
diffuse across the boundary layer
durch
die
Lichtwellenlänge bedingte Begrenzung der Auflösung
limitation of resolution imposed by the wavelength of light
durch
die
Peripherie begrenzt
peripheral-limited
(z. B. hinsichtlich der Verarbeitungszeit)
durch Steuerimpulse
die
Spaltenadreßbits in den RAM übernehmen
strobe the column address bits into the RAM
ebensoviel Chipfläche einnehmen wie
die
aktiven Elemente
take up as much chip space as the active elements
ein Retikel auf
die
Fotoresistschicht abbilden
image a reticle on the photoresist layer
ein zuverlässigeres Signal für
die
Justierung liefern
provide a more reliable signal for registration
Eindringen
der
Feuchtigkeit durch die Al-Bondinsel
moisture penetration through the aluminium pad
Eindringen in
die
Kanalbreite
encroachment into the channel width
eine Blende in
die
Ebene einer zweiten Blende abbilden
image an aperture in the plane of a second aperture
eine Spaltenadresse durch Strobe-Signal in
die
Speicherauswahllogik übergeben
strobe a column address into the memory selection logic
eine Struktur auf
die
Maske projizieren
project a pattern onto the mask
einen Fehler in
die
laufende Operation übertragen
carry over an error to the current operation
Einfluß auf
die
Programmierbarkeit
impact on programmability
Einrichtung für
die
selektive Ignorierung der Eingabe-Ausgabe-Geräte
facility for selectively masking-off the I-O devices
Einsetzen
der
Kassetten in die Ladekammer
insertion of cassettes into the load chamber
Elektronendurchtunnelung durch
die
gleichrichtende Sperrschicht der MIS-Struktur
electron tunnelling through the MIS rectifying barrier
Elektronendurchtunnelung durch
die
gleichrichtende Sperrschicht der MIS-Struktur
electron tunneling through the MIS rectifying barrier
Elektronenstrahlanlage für
die
Herstellung von Mikrostrukturen
electron-beam microfabrication equipment
Feinjustierzeit für
die
Innenanschlüsse
inner lead fine-align time
für
die
g-Linie optimiert
g-line-optimized
für
die
spätere Analyse protokollieren
log for later analysis
gegen
die
Ionisierungsstrahlung schützen
shield from the ionizing radiation
gegen
die
vergrabene n-Zone abschnüren
pinch off against the buried n-type region
genau
die
vorausgehende Struktur überdecken
overlie precisely the preceding pattern
Gerät für
die
automatische Bestückung mit Bauelementen
automatic component-insertion equipment
gesteuerte Einflußnahme auf
die
Charakteristik des fertigen Bauelements
controlled impact on final device characteristics
gestochen scharfes Bild über
die
gesamte Waferfläche
crisp image over the entire wafer surface
im Step-und-Repeat-Verfahren
die
Struktur auf dem Wafer vielfach abbilden
step the pattern across the wafer
(reproduzieren)
Impulsübertragung auf
die
Substratoberflächenatome
momentum transfer to the substrate surface atoms
in bezug auf
die
Retikelmarken zentriert
centred with respect to the reticle marks
in
die
angegebene Adresse zurückbringen
place back into the specified address
in
die
Anlage einsetzen
insert into the system
in
die
ursprüngliche Analogform zurückverwandeln
reconvert back to the original analogue form
in
die
ursprüngliche Analogform zurückverwandeln
reconvert back to the original analog form
in hohem Maße für
die
verschiedensten Verwendungszwecke benutzen
employ extensively in a wide variety of applications
Informationen über einen Eingangskanal in
die
Anlage eingeben
take information into the system via an input port
Intensitätsverteilung über
die
Linie
intensity distribution across the line
Kontaktstelle für
die
Verbindung des Chips mit dem Keramiksubstrat
pad connecting the chip to the ceramic substrate
Kosten-Leistungs-Kompromisse für
die
Bauelementherstellung
cost-effective-performance tradeoffs for device fabrication
Kriechen
der
Ätzlösung unter die Resistschicht
creeping of the etching solution under the resist coating
Kurzschlußbildung durch
die
Sperrschicht
spiking through the junction
(infolge verstärkter Diffusion des Kontaktmetalls)
Lichtquelle für
die
Belichtung
exposure light source
Löcherdurchtunnelungsprozeß durch
die
gleichrichtende Sperrschicht der Metall-Isolator-Halbleiter-Struktur
hole tunnelling process through the MIS rectifying barrier
Löcherdurchtunnelungsprozeß durch
die
gleichrichtende Sperrschicht der Metall-Isolator-Halbleiter-Struktur
hole tunneling process through the MIS rectifying barrier
μm
die
Wafer bis auf ± 5 μm plan halten
keep the wafers flat to within ± 5
Maske für
die
Bondhügel
bump mask
Maß für
die
Empfindlichkeit
measure of the sensitivity
Maß für
die
relative Haftung
numerical measure of the relative adhesion
Meßtechnik für
die
Halbleiterindustrie
measurement technology for the semiconductor industry
Mikroprozessor für
die
Sicherheitskontrolle
security monitor microprocessor
mit
dem
Elektronenstrahl die Umgebung der Marke abtasten
scan the electron beam through the vicinity of the mark
mit
dem
Elektronenstrahl die zu prüfende Oberfläche abrastern
scan the electron spot across the surface under test
mit Laser arbeitender Mikroprojektor für
die
Sichtkontrolle integrierter Schaltungen
laser-annealed-based microprojector for visual checking of ICs
Möglichkeit für
die
selektive Ignorierung der Eingabe-Ausgabe-Geräte
facility for selectively masking-off the I-O devices
neue Maßstäbe für
die
Zuverlässigkeit setzen
set new standards for reliability
nicht
die
Geräte betreffende Gesichtspunkte der Technik
non-hardware aspects of the technology
nicht direkt an
die
Zentraleinheit angeschlossene Anlage
off-line system
nur einen Lösungstropfen auf
die
Oberfläche bringen
apply just one drop of solution to the surface
(Schleuderbeschichtung)
Organisationsinformationen über
die
Schaltkreisstrukturen
housekeeping information about the patterns
Originalmaske für
die
Mikroelektronik
microelectronics photomask master
programmgesteuerte Datenübertragung über
die
Eingabe-Ausgabe-Kanäle
data transfer under program control via the I/O ports
Reaktion auf
die
Belichtungsstrahlung
response to the exposing radiation
Rechneranwendung auf
die
Meß- und Verfahrenstechnik
computer application to measurement and control
room in which the system is located
die
harten Klimaanforderungen an den Geräteaufstellungsraum verringern
reduce the environmental constraints on the
Schaltkreisänderungen über
die
Software vornehmen
introduce circuit changes via software
sich auf
die
neueren Tendenzen allmählich einstellen
adapt incrementally to recent trends
sich weiter in
die
Basiszone hinein erstrecken
extend farther into the base region
sich ziemlich gut für
die
Einzelchipfertigung eignen
lend itself
themselves
fairly well to single chip fabrication
sich über
die
global definierten Abstandsregeln mit kundenspezifischen Regeln hinwegsetzen
override the globally defined spacing rules with custom rules
Steuerinformationen über
die
Handtastatur eingeben
enter control information through the operator keyboard
Steuerzeichen über
die
Tastatur eingeben
enter control characters at the keyboard
strenge Anforderungen an
die
Ebenheit der Waferoberfläche stellen
place tight requirements on the flatness of the wafer surface
Strukturbilder auf
die
Halbleiterscheibe im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
step and repeat images across
on
the wafer
Strukturübertragung von
der
oberen Resistschicht auf die Siliziumnitridschicht z
pattern transfer from the top resist to the silicon nitride layer
Taktgeber für
die
Auffrischung
refresh clock
(von Speichern)
the polymer film
den
Schatten des Röntgenstrahlabsorbers auf die Polymerschicht projizieren
project the shadow of the X-ray absorber onto
Unschärfe durch
die
endliche Größe der Strahlungsquelle
blur due to the finite source size
Verfahren
der
Übertragung kleinster Strukturen auf die Halbleiterscheibe
direct-step-on-wafer technique
Verschlechterung durch
die
atmosphärische Umgebung
degradation from the environment
vertikal nach unten durch
die
Epitaxieschicht fließen
flow vertically down through the epi-layer
vom Versuchsstadium in
die
Produktion überführt werden
move from the laboratory to the production line
Vordringen in
die
Kanalbreite
encroachment into the channel width
Zugang zu allen Anschlüssen über
die
Prüfkontakte
access to all the pins via the probing pads
über
die
Linie hin und her schwingen
dither across the line
über
die
Länge L des Kanals integrieren
integrate over the length L of the channel
über
die
Marke rastern
scan across the mark
über
die
Zeit integrieren
integrate over time
Übertrag auf
die
letzte Stelle
end-around carry
Übertrag für
die
nächsthöhere Stelle
carry-out
Übertragssignal für
die
nächsthöhere Stelle
carry-out signal
Showing first 500 phrases
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