| плазмова технологія 1. Загальний термін, застосовуваний до ряду промислового використання плазми, наприклад, травлення напівпровідникових плат, нанесення шару кремнію при виробництві сонячних батарей, нанесення шару діоксиду кремнію при пасивації і активації поверхонь, плавка, зварювання за допомогою плазмової дуги, плазмова хімія. 2. Плазмова технологія заснована на використанні малих, наповнених газом елементів, що випускають світло при проходженні через них електричного струму | плазменная технология (1. Общий термин, применяемый по отношению к ряду промышленных применений плазмы, например, травление полупроводниковых плат, нанесение слоя кремния при производстве солнечных батарей, нанесение слоя диоксида кремния в ходе пассивации и активации поверхностей, плавка и сварка с помощью плазменной дуги, а также плазменная химия. 2. Плазменная технология основана на использовании маленьких, наполненных газом ячеек, испускающих свет при прохождении через них электрического тока) |
