Terms for subject Microelectronics containing und

German	English
Abbildungs- und Formtreue der Strukturen	fidelity of the geometries
Abrieb zwischen Maske und Wafer	mask-to-wafer abrasion
abrupter Übergang an der Grenzschicht zwischen Epitaxieschicht und Substrat	abrupt transition at the epi-substrate interface
Abstand zwischen Maske und Lackoberfläche	gap between mask and photoresist surface
Abstand zwischen Maske und Wafer	spacing between mask and wafer
Abstand zwischen Maske und Wafer	Separation between mask and wafer
Abstand zwischen Objektiv und Probe	lens-to-specimen spacing
Abstand zwischen Schablone und Wafer	proving distance between mask and wafer
Abstandsjustier- und Belichtungsanlage	proximity aligner
Abstandsjustier- und Belichtungsanlage	proving type machine
Abstandsjustier- und Belichtungsanlage	proving system
Abstandsjustier- und Belichtungsanlage	proving printer
Abstandsjustier- und Belichtungsanlage	proving mask alignment system
Abstandsjustier- und Belichtungsanlage	proving aligner wafer exposure equipment
Abstandsjustier- und Belichtungsanlage	off-contact proximity printer
Abstandsjustier- und Belichtungsanlage für UV-Licht	UV proximity exposure tool
Abstandsjustier- und Belichtungsgerät	proving mask aligner
Abstandsjustier- und Belichtungsgerät	proving alignment machine
Abstandsjustier- und Belichtungsgerät	out-of-contact mask alignment system
Abtast- und Haltekreis	sample-and-hold circuit
Abtast- und Haltekreis	sample-and-hold
Abtast- und Vergleichssystem	scan-and-compare system
Adresse und Daten demultiplexieren	demultiplex address and data (entschachteln)
allmählicher Übergang an der Grenzschicht zwischen Epitaxialschicht und Substrat	gradual transition at the episubstrate interface
Analogschaltungen und schnelle Logik auf demselben Chip unterbringen	include analogue circuits and high-speed logic on the same chip
Analogschaltungen und schnelle Logik auf demselben Chip unterbringen	include analog circuits and high-speed logic on the same chip
Anlagen von Forschungs- und Entwicklungslabors	R & D-size systems
arithmetische und logische Operationen ausführen	handle arithmetic and logical operations
asynchroner Eingang und Ausgang	deferred entry and exit
Ausrichtung von Chip und Substrat	chip-to-substrate alignment
automatische Justierung durch Objektiv und Retikel	through-focal-the-lens through-the-reticle automatic alignment
automatisiertes Test- und Analysesystem	automated test and analysis system
Bauelementstrukturen bis auf 1 Mikrometer und darunter verkleinern	scale device features down to one micrometre and below
Baustein für parallele Ein- und Ausgabe von Daten	parallel input-output controller
Befehl "Testen und Setzen"	test-and-set instruction
Befehle und Daten parallel abrufen	fetch instructions and data in parallel
Belichtung kleinerer Felder im Step-und-Repeat-Verfahren	step-repeat exposure of smaller fields
Belichtungsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung	step-and-repeat exposure system
Belichtungsstempel unterschiedlicher Breite, Länge und Drehung	flashes of varying widths, lengths, and rotations
Belichtungsstempel unterschiedlicher Lage, Breite und Länge	rectangles of varying locations, widths, and lengths (Elektronenstrahllithografie)
Belichtungsversatz zwischen Masken- und Waferbild	displacement between mask and wafer image (z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
Beziehung zwischen Ausgangsstrom und Eingangsspannung	output current-input voltage relationship
Bilder im Step-und-Repeat-Verfahren auf Wafer übertragen	step images on wafers
Bildvervielfältigung nach dem Step-und-Repeat-Verfahren	image stepping
Bildzusammensetzung der Wafer- und Retikelmarken	image composition of both the wafer and reticle marks
Bindung zwischen Resist und Siliziumscheibe	bond between the resist and the silicon wafer
Breite der Basis- und Emitterzonen	width of the base and emitter regions
computerunterstützte Meß- und Steuertechnik	computer-aided measurement and control
das kleine Bildfeld im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer reproduzieren	step the small image field over the wafer
das Retikel mit einer Step-und-Repeat-Kamera 10fach verkleinert abbilden	step the reticle with 10x reduction camera (zur Herstellung der Originalschablone)
Datenaufbereitung und -Zusammenfassung	data concentration formatting
Datenerfassungs- und -verarbeitungsanlage	data acquisition and processing system
Datenerfassungs- und -Verarbeitungssystem	data logging and processing system
Datenverarbeitung für Leitung und Organisation	administrative data processing
Datenüberprüfung und -berichtigung	data purification
Datenübertragung zum und vom Speicher	data transfer to and from memory
Datenübertragung zwischen zentralem Verarbeitungsrechner und Slave-Prozessor	host-slave transfer
Datenübertragungssteuerungs- und -Verarbeitungsschaltkreis	communication control-and-processing circuit
Defekte nach Lage und Größe auf jedem Chip wiederholen	replicate defects on each chip
Defektretikel im Step-und-Repeat-Verfahren in willkürlich ausgewählte Plätze auf der Maske abbilden	step defect reticles into randomly selected locations on the mask
den Anschlußkammstreifen unter dem Bondwerkzeug in x- und y-Richtung positionieren	locate the lead frame pattern under the bonding tool in the x and y directions
den rechteckigen Querschnitt des Elekronenstrahls zwischen 0,1 und 12 μm Kantenlänge variieren	vary the rectangular cross section between 0.1 and 12 μm on a side
den Strahl durch Daten für Hell- und Dunkeltastung steuern	feed on-off data to the beam
den Tisch in X und Y richtig positionieren	position the stage to the proper x-y coordinates
den Tisch in x- und y-Richtung verschieben	translate the table in the x and y directions
dessen Inhalt zuerst eingeschrieben wurde und als erster wieder gelöscht wird	lowest-level register
Dialog zwischen Bediener und Computer	operator-computer communication
Dialogverkehr zwischen Bediener und Maschine	operator-system interaction
Dialogverkehr zwischen Bediener und Maschine	operator interaction with the machine
die Adresse durch logisches UND mit dem Schreibsignal verbinden	AND the address with the write signal
die Daten am Eingang und Ausgang seriell und dazwischen parallel verschieben	move data in serial form at input and output and in parallel in between
die Daten auf Vollständigkeit und Richtigkeit prüfen	check the data for completeness and correctness
die Diffusionen zu den VMOS- und n-MOS-Bauelementen selbstjustieren	self-align the diffusions to the V-groove and MOS devices
die funktionelle Operation des Chips eindeutig und kurz darstellen	depict the logic operation of the chip clearly and concisely
die gewünschte Struktur maß- und formtreu kopieren	replicate accurately the desired pattern
die Leitung zwischen Source und Drain steuern	control the conduction between source and drain
die Lötverbindungen zwischen Chipträger und Leiterplatte zerstören	fracture the solder joints between chip carrier and p.c. board
die Markenmatrix nach dem Step-und-Repeat-Verfahren belichten	step and expose the matrix of marks
die Umrisse des Strukturelements mit kleinem Punktstrahl schreiben und mit großen Blöcken ausfüllen	outline the feature with a small spot and fill it with large blocks
die verbleibende Chipfläche mit Kreuz- und Querverbindungen vergeuden	squander the remaining chip area in a jumble of interconnections
Diffusionsvermögen von Elektronen und Defektelektronen in der Basis	diffusivity of electrons and holes in the base
digitale und lineare Schaltungen	digilin circuits
Direktbelichtung der Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren	direct wafer stepping
Direktbelichtung der Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren	direct stepping on wafers
direkte Waferbelichtung im Step-und-Repeat-Verfahren	direct-step-on-wafer exposure
direkte Waferbelichtung nach dem Step-und-Repeat-Verfahren	step-and-repeat exposure directly on the wafer
Drain und Source verbinden	connect the drain and source
durch logisches UND verbinden	AND (verknüpfen)
Durchmesser und Form des Strahlquerschnitts entsprechend dem Strukturelement verändern	vary the spot size and shape as the feature requires
Echtzeit-Emulations- und Testadapter	in-circuit emulator (zur direkten Kopplung zwischen dem Entwicklungscomputer und dem zu testenden Anwendersystem)
ein Filter zwischen Kondensor und Maske einsetzen	interpose a filter between condenser and mask
Ein- und Ausgabe	input-output
ein- und ausgabebegrenzt	input-output-limited
Ein- und Ausgabegerät	input-output device
Ein- und Ausgaberegister	input-output register
Ein- und Ausgabe-schnittstelle	input-output interface
eine Leiterplatte entwerfen und herstellen	lay out and construct a printed circuit board
eine Struktur als eine Serie von Belichtungsstempeln unterschiedlicher Breite und Länge spezifizieren	specify a pattern as a series of flashes of varying widths and lengths
eine 0 und eine 1 speichern	store a zero and a one
einen Haufen von Einsen und Nullen eintasten	key in a flock of ones and zeroes
einen Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren belichten	expose a wafer in step-repeat fashion
einfache und komplexe Fehler simulieren	simulate simple and complex faults
Einfangwahrscheinlichkeit für Elektronen und Löcher	capture probability for electrons and holes
eingabe- und ausgabebegrenzt	input-output-limited
Eingangssignale und Umgebungsbedingungen erkennen	detect input signals and environmental conditions
eingefahrene und von Fehlern bereinigte Methoden verbessern	refine existing known and debugged techniques
Einkanalsender und Empfängeranlage	one-channel transmitter and receiver modules
Einlese- und Löschtor	read-in and erase gate
Einsen und Nullen	ones and zeros
Einsteck- und Trennkraft	insertion-withdrawal force
Einzelbildabstand im Step-und-Repeat-Feld	die step-and-repeat distance
elektrische Verbindung zwischen Gehäuse und Leiterplatte	package-to-board electrical interconnect
elektrische Verbindungen zwischen dem Chip und einem Metallschaltkreis herstellen	form electrical connections between the chip and a metal pattern
elektronenstrahllithografische Projektions-Step-und-Repeat-Anlage	project step-and-repeat electron-beam lithography machine
Emitter- und Basiselektrode umgebender Schutzring	guard ring encircling the emitter and base electrodes
Emulations- und Testadapter	in-circuit emulator (zur direkten Kopplung zwischen dem Entwicklungscomputer und dem zu testenden Anwendersystem)
Fehlerprüf- und -korrekturverfahren	error checking and correcting technique
Feineinstellung der Geradlinigkeit und Rechtwinkligkeit beider Achsen	fine setting of straightness and orthogonality of both axes
Feinjustier- und Überdeckungsmöglichkeit	precision registration and overlay capability
fester Kontakt zwischen Maske und Wafer	hang contact between mask and wafer
festverdrahtete UND-Schaltung	wire
Form- und Maßtreue einer Linie	line fidelity
Fotolithografie mit Step-und-Repeat-Verfahren	optical stepper lithography
Geradlinigkeit der Bewegung in der x- und y-Achse	straightness of travel along both x and y axes
getrennte Lichtquellen für Justierung und Belichtung	separate light sources for alignment and exposure
gleichzeitiges Einlesen und Schreiben	read-while-writing
Grenzfläche zwischen Substrat und Metallabsorber	substrate-to-metal absorber interface
Grenzschicht zwischen Epitaxialschicht und Substrat	epi-substrate interface
Grenzschicht zwischen Epitaxieschicht und Substrat	epitaxy-substrate interface
Grenzschicht zwischen Silizium und Sockel	silicon-header interface
Grundtypen von Maskenjustier- und Belichtungsanlagen	basic types of mask aligners
Haftung zwischen Resist und Siliziumscheibe	bond between the resist and the silicon wafer
Herstellung von Fotoschablonen nach dem Step-und-Repeat-Verfahren	step-and-repeat generation of photomasks (mit schrittweiser Belichtung)
im Kontaktverfahren verwendete Abstandsjustier- und Belichtungsanlage	proving machine used in contact mode
im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer mehrfach reproduzieren	step and repeat across the wafer
im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer schachbrettartig vervielfältigen	step and repeat on the wafer
im Step-und-Repeat-Verfahren belichten	step-and-repeat-print (kopieren)
im Step-und-Repeat-Verfahren belichten	expose in a step-and-repeat fashion
im Step-und-Repeat-Verfahren die Struktur auf dem Wafer vielfach abbilden	step the pattern across the wafer (reproduzieren)
im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen	step and repeat
immer mehr Schaltungselemente und Funktionen in einem monolithischen Siliziumsubstrat integrieren	pack more and more circuit elements and functions on a monolithic silicon substrate
in jedem Rasterstreifen den Elektronenstrahl nach Maßgabe hell- und dunkeltasten	turn the electron beam on and off along each raster line as required
in x, y und φ justieren	align on the X, Y and Ф axis
inniger Kontakt zwischen Schablone und Wafer	intimate contact between mask and wafer
ionenoptische Step-und-Repeat-Anlage	ion projection stepper
ionenoptische Step-und-Repeat-Anlage	ion-optical step-and-repeat system
Justage von Chip und Substrat	chip-to-substrate alignment
Justier- und Belichtungsanlage	alignment and exposure system
Justier- und Belichtungsanlage	alignment station
Justier- und Belichtungsanlage	mask aligner (aligning machine)
Justier- und Belichtungsanlage	mask alignment and exposure system
1:1-Justier- und Belichtungsanlage	1 × printer
Justier- und Belichtungsanlage	mask alignment equipment (aligning machine)
Justier- und Belichtungsanlage	exposure-aligner
Justier- und Belichtungsanlage	exposure-alignment system
Justier- und Belichtungsanlage	system
Justier- und Belichtungsanlage	aligner (s.a. contact aligner; proximity aligner; projection aligner)
Justier- und Belichtungsanlage mit Ganzfeldprojektion	full-field projection aligner
Justier- und Belichtungsanlage mit Repeateinrichtung	project stepper (stepping aligner)
Justier- und Belichtungsanlage mit Repeateinrichtung	project step-and-repeat machine
Justier- und Belichtungsverfahren mit 1:1-Projektion	1:1 alignment
Koinzidenz-UND-Schaltung	coincidence AND circuit
kombinierte Lese- und Schreibkopfeinheit	yoke
kombiniertes Thermokompressions- und Ultraschallbonden	thermosonic bonding
kombiniertes Verfahren mit Lichtoptik und Elektronenstrahlen	optical E-beam hybrid approach
Kommunikation zwischen Bediener und Computer	operator-computer communication
komplementäres Paar von - und p-Kanal-Transistoren	complementary pair of n- and p-channel transistors
Kompromiß zwischen Auflösung und Kontrast	trade-off between resolution and contrast
Kontakt zwischen Maske und Wafer	mask-to-wafer contact
Kontaktfläche zwischen Aufspannvorrichtung und Wafer	contact area between chuck and wafer
Kontaktierung von Maske und Wafer vor der Belichtung	contacting of both mask and wafer before exposure
Kontaktjustier- und Belichtungsanlage	contact mask alignment system
Kontaktjustier- und Belichtungsanlage	contact aligner (wafer exposure equipment)
Kontrast zwischen der Marke und ihrem Umfeld	contrast between the mark and its surroundings
Kontrolle des Abstands zwischen Objektiv und Wafer	control of the lens-to-wafer spacing
Kontrolle des Abstands zwischen Objektiv und Wafer	control of the lens-to-wafer separation
Koordinatentisch eines Bonders für schnelles Abfahren in x- und y-Richtung	rapid-scan X-Y worktable of a bonder
Kopplungsmöglichkeit zwischen Leiterplatte und Testsystem	interfacing capability between the PCB and the test system
Korrektur in x und y	translational correction
Korrekturwerte für X und Y ausgeben	issue corrections in X and Y
Krümmung des Leitungs- und Valenzbandes	bending of the conduction and valence bands
Kurzschluß zwischen Zwischenträger und Chip	lead-chip shorting
Kurzschluß zwischen Zwischenträger und Chipkante	lead to-chip-edge shorting
Laden und Verarbeiten	load-and-go
Lageabweichung zwischen Masken- und Waferbild	displacement between mask and wafer image (z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
Leistung und Chipfläche verbrauchen	devour power and chip area
lichtoptische Projektionsjustier- und Belichtungsanlage	photooptical projection printer
Linien und Abstände von 1 μm auflösen	resolve 1 μm lines and spaces
Linientest mit zunehmend kleineren Linienbreiten und -abständen	test chart of lines of progressively decreasing line width and separation
lithografische Projektionsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung	step-and-repeat projection lithography system
löschbarer und programmierbarer Festwertspeicher	erasable PROM
löschbarer und programmierbarer Festwertspeicher	erasable programmable read-only memory
löschbarer und wiederprogrammierbarer Festwertspeicher	erasable PROM
löschbarer und wiederprogrammierbarer Festwertspeicher	erasable programmable read-only memory
mangelnde Abbildungs- und Formtreue der Strukturen	infidelity of the geometries
mangelnde Übereinstimmung zwischen dem Logikdiagramm und dem Schaltkreisschema	lack of correspondence between the logic diagram and the circuit schematic
Maske und Wafer gleichzeitig abtasten	scan the mask and the wafer simultaneously
Maske und Wafer parallel verschieben	translate mask and wafer
Maskenjustier- und Belichtungsanlage	mask alignment equipment (aligning machine)
Maskenjustier- und Belichtungsanlage	mask alignment and exposure system
Maskenjustier- und Belichtungsanlage	mask aligner (aligning machine)
Maskenjustier- und Belichtungsanlage mit optischer Projektion	project mask aligner (alignment system)
Matrix von Einsen und Nullen	two-dimensional array of 1s and 0s
mehr Elemente und Funktionen je Flächeneinheit integrieren	pack more devices and functions per unit area
Messung opaker Linien und transparenter Zwischenräume in Durchlicht	measurement of opaque lines and clear spaces in transmitted illumination (z. B. auf Fotomasken mit integrierten Schaltkreisen)
Meßwerterfassung und -registrierung	data logging
Mischung aus einem Teil Entwickler und einem Teil Wasser	mixture of one part developer to one part water
1:1 Mischung aus Entwickler und Wasser	mixture of one part developer to one part water
Mittelwertbildung des Zeit- und Raumsignals	time spatial signal averaging
5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten	expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion
Montage von Chip und Anschlußdraht	chip and wire assembly
MOS-Schaltkreise und MNOS-Transistoren auf demselben Chip vereinigen	combine MOS circuitry and MNOS transistors on the same chip
Möglichkeit der Kombination linearer und digitaler Schaltungen im gleichen Siliziumchip	digilin capability
Möglichkeit des gleichzeitigen Schreibens und Lesens	simultaneous write and read capability
nach dem Step-und-Repeat-Verfahren hergestellte Originalschablone	step-and-repeat master mask
Nachteile der Justier- und Belichtungsanlagen	deficiencies of the mask aligners
Negativ-UND-Gatter	negative AND gate
NICHT-UND-Verknüpfung	dispersion
NICHT-UND-Verknüpfung	alternative denial
ohmscher Kontakt zwischen Metall und Silizium	metal-to-silicon ohmic contact
optische Justier- und Belichtungsanlage	optical aligner
optische Projektionsjustier- und Belichtungsanlage	optical projection printer
optischer Projektions- und Überdeckungsrepeater	optical projection stepping wafer exposure equipment
optisch-mechanische Verzeichnung des Step-und-Repeat-Systems	step-and-repeat optical-mechanical distortion
parallele Ein- und Ausgabe	parallel input-output (von Daten)
periodisches Ein- und Auslagern	Swapping
Positionierdaten für den Step-und-Repeat-Vorgang	step-and-repeat array data
Positionierungsservosystem für X, Y und φ	X-Y-θ positioning servo system
Programm zur Erstellung und Änderung eines Textes	text editor
optischer Projections- und Überdeckungsrepeater mit Wfacher Bildverkleinerung	direct-step-on-wafer 10:1 projection aligner
Projektions- und Überdeckungsrepeater	reduction-type projection aligner
Projektions- und Überdeckungsrepeater	project stepper (stepping aligner)
Projektions- und Überdeckungsrepeater	project step-and-repeat machine
1:1-Projektionsjustier- und Belichtungsanlage	1:1 projection aligner
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage	project printer
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage	project alignment system
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage	project mask aligner (alignment system)
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage	project aligner wafer exposure equipment
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage mit Linsenoptik	refractive projection mask aligner
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage mit Repeateinrichtung	project stepping wafer exposure equipment
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage mit Spiegeloptik	reflective projection printing optical system (z. B. Wafer-Scanner)
Projektionsjustier- und Belichtungsanlage mit Spiegeloptik	mirror projection alignment system
Projektionsspiegelsystem zwischen Maske und Wafer	project mirror system between mask and wafer
Proximityjustier- und Belichtungsanlage	proving aligner wafer exposure equipment (s.a. proving printer)
Proximityjustier- und Belichtungsanlage	proximity aligner (s.a. proving printer)
Prüfung der logischen und elektrischen Integrität des Layouts	audit of the logical and electrical integrity of the layout
Prüfung nach dem Ansteuer- und Antwortverfahren	stimulus-response testing
RAM-Speicher mit zwei Adreßeingängen und zwei Datenausgän gen	two-port RAM
Rechneranwendung auf die Meß- und Verfahrenstechnik	computer application to measurement and control
rechteckiger Querschnitt von variabler Größe und Form	rectangular cross section of variable size and shape
Register mit paralleler Informationseingabe und paralleler Ausgabe	PIPO register
Register mit paralleler Informationseingabe und serieller Ausgabe	PISO register
Register mit serieller Informationseingabe und paralleler Ausgabe	SIPO register
Register mit serieller Informationseingabe und serieller Ausgabe	SISO register
Register und arithmetisch-logische Einheit	register and arithmetic-logic unit
Retikel und Wafer getrennt justieren	align the reticle and wafer separately
Rubylithfolienschneid- und -ablösetechnik	rubylith cut and peel technique
Röntgenjustier- und Belichtungsanlage	X-ray aligner
Röntgenjustier- und Belichtungsanlage	X-ray align and exposure equipment
röntgenlithografische Justier- und Belichtungsanlage	X-ray lithography alignment station
Schablone und Wafer durch einen gleichmäßigen Abstand trennen	separate photomask and wafer by uniform gap
Schaltkreisstruktur für einen Eingangslastfaktor 1 und einen Ausgangslastfaktor 3	circuit structure for a fan-in of 1 and a fan-out of 3
Schneid- und Ablösetechnik	cut-and-peel technique
Schnittpunkt der Wort- und Bitleitungen	intersection of the word and bit lines
Schnittstelle zwischen Bauelementanwender und -hersteller	buyer-seller interface
Schnittstellensteuerung zwischen Computer und Nachrichtennetz	Communications link controller
Schrägabstand zwischen Drain und Source	slanting drain-source distance
sehr schnell und reproduzierbar unter echten Produktionsbedingungen arbeiten	operate at high speed and with repeatability in a real plant environment
selektiv und anisotrop ätzen	etch selectively and anisotropically
serielle Ein- und Ausgabe	serial input-output (von Daten)
sich stets wiederholender und nicht durch Überschreiben behebbarer Fehler	hang error
Sichern und Wiederherstellen von Großspeicherinhalten	random-access dump and reload
Signal Testen und Setzen	test-and-set signal
Silizium- und Aluminiummetalloxidhalbleiter	silicon and aluminium metal oxide semiconductor
Spannung zwischen Gate- und Source-Elektrode	gate-to-source voltage
Steckverbinder mit Einsteck- und Trennkraft Null	zero-access-insertion-force connector
Stempel unterschiedlicher Breite, Länge und Drehung	flashes of varying widths, lengths, and rotations
Step-und-Repeat-Anlage	step repeat machine
Step-und-Repeat-Anlage	step-and-repeat equipment
Step-und-Repeat-Anlage mit 1:1-Abbildung	one-to-one step and repeat system
Step-und-Repeat-Anlage mit verkleinerter schrittweiser Projektionsübertragung	reduction step-repeat system
Step-und-Repeat-Verfahren	step-and-repeat (Additionsverfahren: Verkleinern-Wiederholen)
Steuer- und Regelungstechnik	control engineering
Steuerung von Robotern mit Minicomputern und Sprache	robot mini-control and voice-response
Strombahn zwischen Emitter und Kollektor	emitter-collector path
Strukturbilder auf die Halbleiterscheibe im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen	step and repeat images across on the wafer
Strukturen im Step-und-Repeat-Verfahren direkt auf Wafer übertragen	step and repeat circuit patterns directly on wafers
Strukturüberdeckung zwischen Vorder- und Rückseite	front-to-back pattern registration
Strukturübertragung mit hoher Form- und Maßtreue	high-fidelity pattern transfer
Substrathandhabung und -justierung	substrate handling and alignment
Umschmelzen und Züchtung	regrowth
UND-Funktion	meet (operation)
UND-Funktion	logical AND function
UND-Gatter	coincidence element
UND-Gatter	coincidence circuit
UND-Glied	coincidence element
UND-Glied	coincidence circuit
UND-Matrix	product term array
UND-NICHT-Gatter	except gate (s.a. exclusive OR)
UND-NICHT-verknüpft	AND-NOTed
UND-ODER-Invertgatter	AND-OR invert gate
UND-Schaltung	coincidence gate
UND-Schaltung	coincidence element
UND-Verknüpfung	meet (operation)
UND-Verknüpfung mit invertiertem Ausgang	NAND
Unebenheit der Maske und des Wafers	out-of-flatness of the mask and wafer
universeller Datensender und -empfänger	unity synchronous-asynchronous receiver-transmitter
unparalleler Abstand zwischen Maske und Wafer	non-parallel spacing between mask and wafer
Unterschiede zwischen benachbarten Chipstrukturen nach Größe und Lage registrieren	record differences between adjacent chip patterns by size and location
Untersuchungen in Forschungs- und Entwicklungslabors	R & D investigations
Verarbeitungs- und Steuerelement	processing and control element
Verbindung mit Daten der Außenwelt für Messen und Steuern	interfacing with real-world data for measurement and control
verdrahtete UND-Funktion	wired-AND function
verdrahtete UND-Schaltung	wire
verdrahtete UND-Verknüpfung	wired AND (logische UND-Funktion)
verdrahtetes UND	wired AND
Verhältnis zwischen Verknüpfungsfunktionen und externen Anschlüssen	gate-pin ratio
Verkleinerung mit Step-und-Repeat-Verfahren	step-and-repeat reduction (zu einer Originalmaske)
Verkleinerungsobjektiv eines Projektions- und Überdeckungsrepeaters	reduction lens of a step-and-repeat aligner
Verlagerung des Schwergewichts vom Durchsatz auf Auflösung und Defektdichte	change in emphasis from throughput to resolution and defect density
Versatz zwischen Masken- und Waferbild	displacement between mask and wafer image (z. B. bei Strukturelementen am Rand der Maske in der Röntgenlithografie)
Verschiebung von Wafer und Maske im Stop-and-go-Betrieb	stop-and-go wafer and mask displacement
von +5- und + 25-V-Spannungsquellen gespeist werden	run off +5 and +25-V supplies
Vor- und Nachteile von	trade-off (between)
Vor- und Rückwärtszähler	up-converter-down counter
Vorteile der Justier- und Belichtungsanlagen	merits of the mask aligners
Waferbelichtung firn Step-und-Repeat-Verfahren	step-and-repeat wafer imaging
Waferdefektkontroll- und -klassifizierungsanlage	wafer inspection and classification system
Waferjustier- und -belichtungseinrichtung	wafer aligner
Waferstrukturierung firn Step-und-Repeat-Verfahren	step-and-repeat wafer imaging
Wechselwirkung fvon optomechanischen und elektronischen Teilsystemen	interaction of opto-mechanical and electronic subsystems
Wegmeß- und -Steuersystem	position sensing and control system
X, Y und Ф in bezug auf Wafermarken für jedes Einzelfeld automatisch einstellen	adjust automatically X, Y, and Ф to targets on the wafer for each field
Zahl fder Eingangs-Ausgangs-Anschlüsse zwischen 16 und 84	input-output counts ranging from 16 to 84
zusammengesetztes Retikel- und Wafermarkenbild	composed reticle and wafer mark image
Zwischenschicht zwischen dem oberen und unteren Resist	intermediate layer between the top and bottom resists
zyklisches Aufrufen und Abfragen	polling (z. B. von Signalzuständen, Eingabestationen, Stellen)
über die Linie hin und her schwingen	dither across the line
über parallele Ein- und Ausgabeleitungen lesen	read via parallel input and output lines
Überdeckung der Vorder- und Rückseitenstrukturen	front-to-back registration
Überdeckung zwischen oberer und unterer Maske	top-to-bottom registration (doppelseitige Fotolithografie)
Überdekkung von Wafer- und Retikelmarken	superposition of wafer and reticle marks
Übergang zwischen Substrat und Kanal	substrate-to-channel junction
Übertragung der Bilder im Step-und-Repeat-Verfahren auf den Wafer	step-and-repeat wafer imaging (s.a. wafer stepping)
Übertragung der gewünschten Strukturen auf den Wafer mit hoher Abbildungs- und Formtreue	high-fidelity transfer of the desired geometries onto the wafer
Übertragungsfehler im Step-und-Repeat-Verfahren	stepping error