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| Messung opaker Linien und transparenter Zwischenräume in Durchlicht | measurement of opaque lines and clear spaces in transmitted illumination (z. B. auf Fotomasken mit integrierten Schaltkreisen) |
| opaker Bereich auf der Maske | opaque region on the mask |
| opaker Fleck | opaque spot (z. B. Teilchen auf einer Maske) |
| Vorsprung in eine opake Fläche | protrusion into an opaque area |