Terms for subject Microelectronics containing einer

German	English
Abbild einer Originalstruktur	replica of a master pattern
Abbildung einer beleuchteten Blende variabler Größe	image of an illuminated aperture of variable size
Abrasterbewegung in einer Richtung	scanning motion in a single direction
Abschrägung auf einer Probe	bevel on sample
Absorberstruktur auf einer ebenen Membranfolie	absorber pattern supported on a flat membrane (Röntgenlithografie)
Abstand innerhalb einer Maske	intramask spacing
Abtastbewegung in einer Richtung	scanning motion in a single direction
an ein Zentralsteuergerät anschließen	link to a central controller
an einen Digitalrechner anschließen	interface with a digital computer
an einen gemeinsamen Systembus anschließen	connect to a common system bus
an jedem Ende durch ein Flag begrenzt	bounded at each end by a flag
Angabe in einem Informationssatz	item in a set of information
Anlage mit einer Mehrfachelektronenstrahlanordnung	fly's-eye system
Anordnung der Daten in einem Satz	arrangement of data in a record
Anordnung für einen integrierten Schaltkreis	floor plan arrangement for an IC
Anordnung mit einem Rastermaß von 0,1 mm	array having 0.1 mm pitch between diameters
Anruf einer Prozedur	procedure call
Anzeige auf einem Datensichtgerät	display on a terminal
Atom auf einem Zwischengitterplatz	interstitial
auf ein Atom stoßen	impact an atom
auf ein Chip passen	fit on one chip
auf ein Lesesignal sofort antworten	respond immediately to a read signal (reagieren)
auf ein Magnetspeichermedium schreiben	write to a magnetic memory medium
auf ein Maximum erhöhen	maximize (bringen)
auf ein Zehntel seines Ausgangswertes abfallen	decrease to one tenth of its original value
auf einem anderen Rechner laufend	cross
auf einem Bildschirmgrafikeditor interaktiv verbinden	interconnect interactively on a CRT-based graphics editor (z. B. Schaltkreiselemente)
auf einen gewissen Zustand reagieren	react to some condition
auf einen Sondendurchmesser von 10 Ä verkleinern	demagnify to a probe of 10 Ä
auf einen Wafer schleudern	spin on a wafer (z. B. Resist)
auf einer gemeinsamen Achse liegen	lie along a common axis
auf einer Originalplatte zusammensetzen	piece together on a master plate
auf einer Schaltungsplatte eingesetzte Bauelemente	components populating a PCB
auf einer weitaus tieferen Umgebungstemperatur bleiben	stay at a much lower ambient temperature
Aufbewahrungszeitraum einer Datei	file retention period
Auflistung einer Assemblierung	assembly listing
Aufwachsen einer Schicht aus Silan	deposition from SiH4 (durch chemische Gasphasenreaktion im Silanverfahren)
aus einem Programmteil in einen anderen springen	transfer control from one part of a program to another part
aus einem Unterprogramm austreten	exit from a subroutine
aus einer Warteschlange herausnehmen	dequeue
Ausfall einer Anlage	system failure
Ausgangssignal einer ungestörten Null	undisturbed-zero output signal
Auslesen von einer Konsole	console output
Aussonderung aus einer Reihe von Qualifikationsprüfungen	fallout from a series of qualification tests
automatische Fehlerkorrektur durch einen Mikroprozessor	microprocessor automatic error correction
automatische Fehlerkorrektur durch einen Mikroprozessor	microprocessor auto error correction
Baustein für parallele Ein- und Ausgabe von Daten	parallel input-output controller
Beaufsichtigung der Elektronenstrahlanlage durch einen Vollbeschäftigten	full-time operator attendance at the E-beam machine
Bedeutung einer Nachricht	importance of a message
Bedienung der Elektronenstrahlanlage durch einen Vollbeschäftigten	full-time operator attendance at the E-beam machine
Begrenzerschaltung in einem logischen Schaltungsaufbau eines Rechners	clamp in a computer logic circuit
Behandlung einer früheren Unterbrechungsanforderung	servicing of an earlier interrupt request
bei einer Taktfrequenz kippen	toggle at a clock rate
belichtetes Rechteck einer Punktstrahlanlage	exposed rectangle of round beam system
Belichtung des gesamten Wafers in weniger als einer Minute	subminute exposure of the entire wafer
Belichtungsdatei für einen integrierten Schaltkreis	integrated circuit pattern data file
Belichtungszeit von etwa einer Minute	exposure time on the order of a minute
benachbarte Strukturelemente auf einer Maske	anti-features on the same mask
beschränkte Funktionsfähigkeit einer Anlage	resilience
Bestandteil einer Legierung	constituent of an alloy
Bestükkungsseite einer Leiterplatte	component side of a printed circuit board
Bewertung einer Gesamtwaferjustierung auf einem Wafer-Stepper	characterization of a global alignment on a wafer stepper
Bildung einer Ladungsschicht	formation of a charge layer
bindungsfähig mit einem Positivresist	bondable with a positive resist
Bitfolge in einem Datenübertragungsblock	bit sequence in a frame
Bruchteil einer Dezimalzahl	fractional part of a decimal numeral
Chipträgeranordnung auf einer Leiterplatte	chip-carrier array on a p.c. board
Chromschicht auf einer Fotoschablone	chromium layer on a photomask
das Bild der einen Maske mit dem anderen überdecken	superimpose the image of one mask on the other
das Bild einer veränderlichen Blende verkleinern	minify the image of a variable aperture
das Ergebnis einer Booleschen Verknüpfung negieren	negate the result of a Boolean operation
das foliengebondete Chip direkt auf einem Substrat befestigen	attach the tape-mounted chip directly to a substrate
das Programm über einen Eingabe-Ausgabe-Kanal in einen Computer zur Speicherung auf Magnetband eingeben	feed the program via an I-O port to a computer for storage in magnetic tape
das Retikel mit einer Step-und-Repeat-Kamera 10fach verkleinert abbilden	step the reticle with 10x reduction camera (zur Herstellung der Originalschablone)
das Retikelbild durch ein Verkleinerungsobjektiv projizieren	project the reticle image down through a reduction lens
das Sauerstoffatom auf einen Siliziumzwischengitterplatz setzen	place the oxygen atom between the silicon lattice
Daten bei einer Taktrate einlesen	read in data at a clock rate
Daten von einem externen Gerät unmittelbar übernehmen	accept data from an external device immediately
Daten von einem verschlüsselten Format in ein anderes umwandeln	alter data from one coded format to another
Daten über einen Ausgangskanal ausgeben	put information out via an output port
Daten über einen Eingangskanal in die Anlage eingeben	take information into the system via an input port
Datensatz einer bestimmten Größe	record of a given size
dem Bediener einen Fehlerzustand melden	report an error condition to the operator (mitteilen)
den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken	deflect the electron beam in a raster mode along one axis
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken	deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field
den Fehlerzustand auf einen einzigen Fehler zurückführen	reduce the fault to a single error
den Inhalt einer Speicherzelle ändern	modify the contents of a storage location
den Inhalt eines Speicherbereichs auf einen Hilfsspeicher übertragen	copy the contents of a memory area to a backing store
den Koordinatentisch mit einer Genauigkeit von 0,01 μm positionieren	position the X-Y stage with an accuracy of 0.01 μm (einstellen)
den Prozessor über einen Anschlußadapter an das Fernsprechnetz anschließen	connect the processor through an adapter to the telephone network
den Radixpunkt in einer bestimmten vorgewählten Stelle setzen	locate the radix point at a fixed predetermined position
den Status über einen speziellen Hilfsbus abfragen	interrogate the status via a special support bus
den Wafer auf einer Seite ebnen	flatten the wafer on one side
den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben	drive the wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion (ansteuern)
den Wert in einen bestimmten Datenspeicherplatz eingeben	enter the value into a particular location in the data memory
die Architektur eines Kleinrechners auf ein einziges Siliziumchip bringen	put the architecture of a minicomputer on a single silicon chip
die Belichtung durch ein Lichtintegrationssystem steuern	control exposure by a light integration system
die Belichtung in einer genauen räumlichen Beziehung zur Marke gewährleisten	insure exposure in a precise spatial relationship to the mark
die Daten in ein für den Verarbeitungsrechner lesbares Format übersetzen	translate the data into a format acceptable to the host
die Daten in einen Bus eingeben	supply information to a bus
die Daten zu einer brauchbaren Form reduzieren	reduce data to a useful form (verdichten)
die Datenübertragung ein leiten	initiate data transfer (auslösen)
die Durchführung der Datenübertragung einem getrennten Gerät übertragen	delegate communications management to a separate device
die Eingabe eines Programms in einen Computer einleiten	initiate the loading of a program into a computer
die endgültige Vorlage auf einem Zeichentisch zeichnen	draught the final artwork on a plotting table
die genaue Tischposition mit einer Toleranz von 1/8 bis 1/48 Wellenlänge eines Helium-Neon-Lasers bestimmen	determine exact stage position to tolerances ranging from 1/8 to 1/48 wavelength of a HeNe laser
die gesamte A-D-Funktion in einem DIP-Gehäuse mit 18 Anschlüssen unterbringen	accommodate the complete A-D function into an 18-pin dual-in-line package
die gesamte Bearbeitung einer Scheibe auf ein einziges Gerät beschränken	restrict all processing of a slice to a single machine
die gesamte Zentraleinheit in ein Einzelchip packen	compress the entire CPU into a single chip
die Impulse einem Zähler zuführen	feed the pulses into a counter
die Impulse in einen Zähler eingeben	feed the pulses into a counter
die Kontrolle einer Überwachungsroutine übertragen	transfer control to a monitor routine
die Leistung um einen Faktor von nicht weniger als 10 steigern	boost performance by a factor of as much as 10
die Markenposition mit einer mindestens dem Strahldurchmesser entsprechenden Genauigkeit bestimmen	determine the position of the mark to an accuracy at least equal to the beam diameter
die Maske in einen kleinen Abstand zum Wafer bringen	put the mask in near proximity to the wafer
die Meßmarke mit einer Genauigkeit von 1/32 μm auffinden	find the fiducial mark with an accuracy of 1/32 micron
die niedrigstwertigen Ziffern einer Zahl abschneiden	cut off the least significant digits of a number
die Struktur aus einer Reihe von Retikelbildern zusammensetzen	photocompose the pattern from a number of reticle images (montieren)
die Struktur durch Belichtung einer Resistschicht erzeugen	generate the pattern by exposing a resist coating
die Strukturdaten von einem Magnetband kopieren	copy the pattern data from a magnetic tape
die Strukturen bis zu einer Genauigkeit von etwa 0,2 Mikrometer positionieren	place geometries to an accuracy in the order of 0.2 micrometres
die unter der Kontrolle einer übergeordneten steht	slave (s.a. slave processor)
die Verzerrung bei einer bestimmten Wellenlänge ausschalten	tune out distortion at a particular wavelength
die Zeit eines Zentralprozessors einem bestimmten Job zuweisen	allocate the time of a central processor to a specific job
die Zuordnung für einen Speicherblock aufheben	deallocate a block of memory
die zwei Bytes zu einem 16-Bit-Wort zusammensetzen	assemble the two bytes into a 16-bit word
direkt auf ein Substrat bonden	bond directly to a substrate
direkte Waferstrukturierung mit einem Elektronenstrahl	direct wafer patterning with an electron beam
direkte Übertragung einer Retikelstruktur auf Wafer	direct stepping of a reticle onto wafers (im Step-und-Repeat-Verfahren)
Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl	direct writing of the device pattern with a scanning electron beam
Direktschreiben mit einem Elektronenstrahl	direct writing with an electron beam
Direktschreiben mit einem Elektronenstrahl	direct wafer writing with an electron beam
Direktstrukturierung von Oxidschichten ohne ein Resist	direct structuring of oxide layers without any resist
durch ein CCD-Register schieben	transfer down a CCD register (weitertransportieren)
durch einen Farbpunkt kennzeichnen	identify by an ink dot
durch einen Isolator fließen	flow across through an insulator
durch einen Schrittmotor antreiben	power by a step motor
Durchlaufzeit für einen Maskensatz vom technischen Entwurf bis zum arbeitsfähigen Bauelement	turn-around for a mask set from an engineering design to a working device
Dutzende von Logikelementen in einer einzigen integrierten Schaltung vereinigen	consolidate dozens of logic elements into a single IC
Ebene in einer hierarchischen Struktur	hierarchical level
Edelmetalleiter auf einer dielektrischen Schicht	precious metal conductor on a dielectric film
ein Analogsignal verstärken	multiply an analogue signal
ein Analogsignal verstärken	multiply an analog signal
ein Atom aus seiner Richtung ablenken	deflect the direction of an atom
Ein-Ausgabe	input-output
Ein-Aus-Steuerung	on-off
Ein-Aus-Verhältnis	on-off ratio
ein automatisches Justiersystem nachträglich einbauen	retrofit an automatic aligner (z. B. in ein schon vorhandenes Gerät)
ein Bauelement funktionsuntüchtig machen	render a device non-functional
ein Belegtsignal an den Mikrocomputer geben	issue a busy signal to the microcomputer
ein Bild des Crossover auf dem Objekt erzeugen	form an image of the crossover on the target
ein Bildfeld mit einem anderen überdecken	overlay one exposure field to another (zur Deckung bringen)
Ein-Bit-Addierer	one-bit adder
ein bogenförmiges Bildfeld von 1 mm Breite rasterartig über den Wafer führen	scan an arc-shaped image field of 1 mm width across the wafer
Ein-Byte-Befehl	one-byte instruction
ein Datensignal einer Trägerwelle überlagern	superimpose a data signal on a carrier wave
ein Dauersignal aussenden	emit a continuous signal
ein defektes Bauteil auf einer Leiterplatte lokalisieren	pinpoint a bad component on a p.c. board
ein eige nes Rechnersystem aufbauen	construct a computer system in-house
ein Eingangssignal auslösen	trigger an input signal
ein einziges großformatiges Bild im Abbildungsmaßstab 1:1 projizieren	project a single large format image at final size
ein File umkopieren	block copy (von einem Medium auf ein anderes ohne Veränderung seines Inhalts)
ein Filter zwischen Kondensor und Maske einsetzen	interpose a filter between condenser and mask
ein größeres Chip in einem kleineren Gehäuse unterbringen	house a larger chip in a smaller package/ to
ein hohes Maß von Reproduzierbarkeit gewähren	provide a high degree of reproducibility
ein Jahr lang auf dem Chip ohne Energie gespeichert bleiben	stay stored on chip for a year without power
ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen	raster-scan a small image field over the wafer in two dimensions
ein Layout digitalisieren	digitize a layout
ein Magnetband beschreiben	write data to a tape
ein 4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen	create a 4.0-mm wide image of the slit at the mask plane
ein Potential an das elektrostatische Strahlaustastsystem legen	apply a potential to electrostatic beam blanking plates
ein Programm abarbeiten	execute a program
ein Programm auf zwei verschiedenen Rechnern abarbeiten	run a program on two different computers (durchlaufen lassen)
ein Programm im Speicher löschen	erase a program from memory
ein Programm in einer bestimmten Adresse einlesen	load a program at a specified address
ein Programm verschieben	relocate a program
ein Protokoll von alien Anforderungen erhalten	keep a log of all requests
ein Resist auf den Wafer aufschleudern	spin a resist onto the wafer
ein Retikel auf die Fotoresistschicht abbilden	image a reticle on the photoresist layer
ein Retikel automatisch abrufen	recall a reticle automatically (aus der Retikelbibliothek)
ein Retikel direkt aus Eingangsdaten herstellen	generate a reticle directly from input data
ein Retikel mit dem Bildgenerator herstellen	pattern a reticle
ein Signal bestätigen	acknowledge a signal
ein Signal verzögern	delay a signal
ein Steuerprogramm auf der Rücksetzstartadresse laden	load a control program at the reset start address (einlesen)
ein Steuersignal ausgeben	issue a control signal
ein Strukturelement schreiben	trace out a pattern element
ein System stören	plague a system
ein technologisches lithografisches Verfahren mit anderen vereinigen	combine one lithographic technology with others
ein Testprogramm kompilieren	compile a test program
ein Testprogrämm ausgeben	output a test program
Ein- und Ausgabe	input-output
ein- und ausgabebegrenzt	input-output-limited
Ein- und Ausgabegerät	input-output device
Ein- und Ausgaberegister	input-output register
Ein- und Ausgabe-schnittstelle	input-output interface
ein vergrößertes Bild auf den Spalt fokussieren	focus a magnified image onto a physical slit
ein verkleinertes Bild auf einen Wafer projizieren	project a reduced image onto a wafer
ein volles 5 mm × 5 mm-Feld abrastern	scan a full 5-mm-square field
ein Warnsignal auslösen	activate an alarm
ein Wort direkt in den Speicher eingeben	enter a word directly into memory
ein Zustandssignal auslösendes Ereignis	flag event (z. B. Fehlererkennung)
ein zuverlässigeres Signal für die Justierung liefern	provide a more reliable signal for registration
ein Zwischenspeicherregister einfügen	insert a buffer register
einander gegenüberliegende Strukturelemente auf einer Maske	anti-features on the same mask
Einbau in ein Einchipbauelement	inclusion in a single chip device
eine Blase von einem Weg auf einen anderen steuern	steer a bubble from one path to another (Blasenspeicher)
eine Blende in die Ebene einer zweiten Blende abbilden	image an aperture in the plane of a second aperture
eine Datei von einem Speichermedium auf ein anderes übertragen	copy a file from one medium to another
eine Lichtsonde im Abtastverfahren über einen Defekt führen	scan a light spot over a defect
eine Maske in weniger als einer Stunde fertigstellen	turn around a mask in less than one hour
eine stetig wachsende Zahl von kleineren Elementen auf ein Chip bringen	put ever increasing numbers of smaller devices on a chip
eine Struktur auf ein Raster schreiben	write a pattern on a grid
eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichten	expose a pattern in a contact printer through a chrome mask
einem Computerinterface anpassen	adapt to a computer interface
einen Abtastwert erfassen	take a sample (elektrisch)
einen anderen Lösungsweg gehen	take a different approach
einen Ausgangsimpuls erzeugen	generate an output pulse
einen Befehl ausführen	obey an instruction
einen Befehl ausführen	execute an instruction
einen Befehl ausführen	complete an instruction
einen Befehl erkennen	recognize an instruction
einen Befehl im Hauptspeicher wiederauffinden	retrieve an instruction from main memory
einen beliebig großen Schaltkreis aus zunehmend komplexen Zellen aufbauen	build up an arbitrarily large circuit out of increasingly complex cells
einen bestimmten Minimalwert unterschreiten	fall below a certain minimum
einen Buszyklus von der Bussteuerlogik anfordern	request a bus cycle from the bus control logic
einen Datensatz suchen	search a set of data
einen Datenübertragungsblock beenden	end a frame
einen Datenübertragungsblock beenden	abort a frame
einen Defekt als unterhalb der Defektgrößengrenze liegend einstufen	classify a defect as non-defective
einen Durchlauf beenden	terminate a run
einen Durchsatz von 60 Wafern je Stunde erzielen	realize a throughput of 60 wafers per hour
einen Durchsatznachteil in Kauf nehmen	suffer a throughput penalty
einen einzigen Übertragungsweg gemeinsam benutzen	share a single path
einen Elektronenstrahl rasterartig führen	scan an electron beam (um eine Maskenstruktur zu schreiben)
einen Entwurf konzeptionell erarbeiten	conceptualize a design
einen Fehler in die laufende Operation übertragen	carry over an error to the current operation
einen Fehler in einem Programm diagnostizieren	diagnose an error in a program
einen Fehler während der Dateneingabe machen	create an error during data input
einen Fehlerzustand anzeigen	indicate an error condition
einen Fehlerzustand hervorrufen	cause an error condition
einen Fehlerzustand umgehen	bypass an error condition
einen Fotolack aufschleudern	spin on a photoresist
einen gewaltigen Aufwand an Entwicklungsarbeit in das Projekt investieren	put a tremendous amount of thought and work into the project
einen Graben in einen Wafer ätzen	etch a wafer with a groove
einen großen Teil der Chipfläche einnehmen	consume a large part of the die area (beanspruchen)
einen Haufen von Einsen und Nullen eintasten	key in a flock of ones and zeroes
einen Höchstwert erreichen	peak
einen Informationsblock auf eine bestimmte Länge auffüllen	make up a block to a fixed size
einen Job fortsetzen	resume a job
einen Jobablauf wiederaufnehmen	resume a job
einen Komparator speisen	feed a comparator
einen komplexeren Schaltkreis auf einem einzelnen Chip integrieren	integrate an increased amount of circuitry onto a single chip
einen Maschinenfehler suchen	trace a hardware fault
einen Maschinenzustand in den Zentralprozessor abrufen	scan a machine state into the central processor (über Datenabfrageleitung)
einen Mikroprozessor anschließen	interface toa microprocessor an
einen Mikroschaltkreis mit einer äußeren Schaltung verbinden	join a microcircuit to an external circuit
einen Operationskode erkennen	recognize an operation code
einen programmgemäßen Stopp auslösen	initiate an orderly halt
einen Programmschritt ausführen	carry out one program step
einen Prozessor Zwischenschalten	interpose a processor
einen Satz aus einer Datei eliminieren	eliminate a record from a file
einen Satz beenden	terminate a record
einen Schaltkreis schließen	close a circuit
einen Schaltungsentwurf durch Softwareprogrammierung realisieren	compile a design
einen Speicherblock freigeben	deallocate a block of memory
einen Speicherplatz belegen	occupy a location
einen Sprung zur Programmspeicheradresse 33 befehlen	command a jump to program memory address 33
einen Streifen über alle Chips schreiben	write one stripe over all chips
einen Strom von mindestens 3 mA entnehmen	sink at least 3 ma (ziehen)
einen Teil der nächsten Adresse bilden	form part of the next address
einen Teil des Maskenherstellungsprozesses mit geringer Ausbeute umgehen	bypass a low-yielding part of the mask making process
einen Teil des Programms wiederholen	rerun a portion of the program
einen Teil des Wafers selektiv abdecken	mask part of the wafer selectively
einen vernachlässigbaren Energieverbrauch haben	take a negligible drain from the power supply
einen Versuch durchführen	run a test
einen vertikalen Übergang von der IC-Ebene zur Substratebene herstellen	make a vertical transition from the level of the IC to the level of the substrate
einen von zwei möglichen Zuständen annehmen	assume one of two possible states (z. B. 0 oder 1)
einen vorgewählten Wert erreichen	reach a preset level
einen Wafer beschreiben belichten	write a wafer (Elektronenstrahllithografie)
einen Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren belichten	expose a wafer in step-repeat fashion
einen Wafer schrittweise durch 200 Felder strukturieren	pattern a wafer by stepping through 200 fields
einen Warnton erzeugen	sound an alarm
einen weiteren Maskierungsschritt für vergrabene Kontakte erfordern	add another mask step for buried contacts
einen Wellenlängenbereich umfassen	encompass a range of wavelengths
einen Wert für d/L von annähernd Eins ergeben	give a value of d/L very nearly unity
einen wesentlichen Zeitaufwand erfordern	require a significant amount of time
Einerstelle einer Zahl	right-hand position of a number
Eingabe eines Programms in einen Rechner	loading of a program into a computer
Eingabe von einer Konsole	console input (z. B. eines Programms)
Einlesen von einer Konsole	console input (z. B. eines Programms)
Einsetzen auf einer Leiterplatte	placement on a circuit board
Einsetzen auf einer Leiterplatte	p.c. board insertion
Einzelziffer einer Dezimalzahl	single digit of a decimal number
elektrische Verbindungen zwischen dem Chip und einem Metallschaltkreis herstellen	form electrical connections between the chip and a metal pattern
Elektronen in einer tiefen Potentialmulde einfangen	trap electrons in a deep potential well
enge Überdeckungstoleranz in einer großen Maskenfläche	tight registration tolerance over a large mask area
entsprechende Hälften einer Reihe von Noniusteilungen	mating halves of an array of verniers
Entstehung einer Ladungsschicht	formation of a charge layer
Entstehung einer Untergrundbelichtung	build-up of background exposure
Entwicklung einer Untergrundbelichtung	build-up of background exposure
epitaxiales Silizium in einer Wasserstoffatmosphäre aus Silan aufwachsen lassen	grow epitaxial silicon in a hydrogen atmosphere from SiH₄
Erkennung einer Unterbrechungsanforderung	recognition of an interrupt request
Expositionszeit von etwa einer Minute	exposure time on the order of a minute
Fase auf einer Probe	bevel on sample
Fehlerfreiheit in einem Datensatz	absence of error in a set of data
Fenster in einer Oxidschicht	window in an oxide covering
Form- und Maßtreue einer Linie	line fidelity
Fremdatome in den Wafer in einer bestimmten Struktur einbauen	introduce impurities into the wafer in a particular pattern
für einen bestimmten Anwendungsfall auslegen	customize
ganzzahliger Teil einer Dezimalzahl	integral part of a decimal numeral
Gehäuse mit einer Reihe von Anschlüssen	single in-line package
Gehäuse nur einer Reihe von Anschlüssen	single in-line package
Gesamtherstellungszeit für einen Maskensatz vom technischen Entwurf bis zum arbeitsfähigen Bauelement	turn-around for a mask set from an engineering design to a working device
getrennte Schaltkreise auf einem gemeinsamen Substrat miteinander verbinden	interconnect separate circuits on a common substrate
Glassubstrat mit einer hochauflösenden Emulsionsschicht	glass substrate coated with a high-resolution emulsion
gleichzeitiges Eintreffen der Daten in einem Punkt	arrival of data at one point at the same time
g-Linien-Wellenlänge einer Quecksilberdampflampe	mercury vapour g-line wavelength
Goldschicht von einer Dicke unter 1 μm	layer of gold less than a micrometre thick
grafische Vorlage für einen integrierten Schaltkreis	integrated circuit artwork
grafischer Form auf einem Bildschirm erscheinen	appear in graphic form on a terminal screen in
Grundeinheit einer Rechenanlage	basic part of a computer system
Grundschaltung für einen Zweirampenumsetzer	basic circuit for a dual-slope converter
Halbleiterchips vor dem Einbau einem beschleunigten Alterungstest unterziehen	burn- in semiconductor chips prior to assembly
Handschalter zur Informationseingabe in ein Computerprogramm	alteration switch
Hardware für den Übergang von einer Aufgabe zur anderen	task-switching hardware
Herausfallen aus einer Reihe von Qualifikationsprüfungen	fallout from a series of qualification tests
Herstellung einer integrierten Schaltung in Silizium	silicon integrated circuit fabrication
Herstellung einer Originalvorlage nach Entwurfsdaten	generation of an artmaster from design information
Herstellung einer Schicht aus Silan	deposition from SiH4 (durch chemische Gasphasenreaktion im Silanverfahren)
hierarchischer Aufbau einer funktionalen Struktur von unten nach oben	bottom-brazed-up implementation
in ein Leiterplattenchassis passen	fit into a mother board
in ein Plateau übergehen	level off
in einem einzigen Block gruppieren	group into a single block
in einem Winkel von 55° geneigt	inclined at an angle of 55 degrees
in einen bestimmten gewünschten Zustand bringen	condition
in einen hochohmigen Zustand setzen	place into a high-impedance state
in einen Sperrzustand übergehen	enter a non-conducting state
in einer Ausgabearbeitsdatei registrieren	record in an output job file
in einer Magnetplatteneinheit fortlaufend speichern	store consecutively on a magnetic disk unit
in einer regelmäßigen Anordnung von einheitlichen Bildern wiederholen	repeat into an array of unit images
in einer Richtung wirkend	unidirectional
in einer Störstelle eingefangen	trapped at an impurity
in x-Richtung von einer Zeile zur nächsten fortschreiten	step in x-direction from one row to the next
Informationen auf ein anderes Medium umschreiben	transcribe information on to another medium
Informationen über einen Ausgangskanal ausgeben	put information out via an output port
Informationen über einen Eingangskanal in die Anlage eingeben	take information into the system via an input port
Injektion von Löchern aus einer p⁺- in eine n-Zone	injection of holes from a p+ into an n-region
innerhalb eines Wafers einen systematischen Trend aufweisen	trend systematically within a wafer
jeweils nur ein einzelnes Chip belichten	expose only a die at a time
Justiermarkenanordnung auf einem Wafer	array of alignment targets on a wafer
Justierung aufeinanderfolgender lithografischer Ebenen auf einem Wafer	alignment of successive lithographic levels on a wafer
Justierungsanforderungen von etwa einem zehntel Mikrometer	alignment requirements near a tenth-micron
Kammer einer Ionenätzanlage	work chamber of an ion milling system
kleinstes Schaltkreiselement auf einer Fotoschablone	smallest circuit element on a photomask
Komplexität einer LSI-Schaltung	complexity of an LSI circuit
Kontaktbelichtung von einer Maske auf einen Wafer	contact printing from a mask to a wafer
Kontrolle der Abmessungen nach einem Mikrodensitometerverfahren	dimensional inspection in a microdensitometer mode
Kopie einer Chrommaske	copy of a chrome mask
Kosten einer Datenstation	per station costs
kurzzeitige Anlegung einer Sperrvorspannung	momentary application of a reverse bias voltage
Ladungsimpuls mit einer Anfangsamplitude Pₒ	charge pulse with initial amplitude Po
Ladungsträger in einem Eigenhalbleiter	intrinsic carrier
Lageplan für einen integrierten Schaltkreis	floor plan arrangement for an IC
Layout einer Leiterplatte	printed circuit board layout
Lebensdauer einer Fotoschablone	useful working life of a photomask
leere Stelle auf einem Speichermedium	empty position on a recording medium
Leitbahn einer Leiterplatte	printed circuit trace
Leiterbahn auf einem Substrat	conductive path on a substrate
Leiterplatten in einen Kartenkäfig einschieben	slot circuit boards into a card cage
Leitungsseite einer Leiterplatte	wiring side of a printed circuit board
lesbar für einen Prozessor	intelligible to a processor
Leuchtdiodenanzeige mit einer Matrix von 5 × 7 Punkten	five-by-seven-dot-matrix LED display
1000 logische Gatter auf einem einzigen Chip integrieren	integrate 1000 logic gates on a single chip
μm Strukturbreiten in einem großen Variationsbereich von 1,5 μm bis 3,0 μm	features ranging from as small as 1.5 μm to as large as 3.0
manuelle Bedienung auf ein Minimum reduzieren	minimize operator involvement
Maskenjustierung durch ein Objektiv im Projektionsverfahren	project mask alignment through a lens
mathematisch durch ein Polynom darstellen	represent mathematically by a polynomial
Maß der Lagegenauigkeit einer Chipstruktur	die fit (in bezug auf Verschwenkung, Parallelverschiebung oder Verzerrung)
mehr Leistung aus einer Platte herausholen	squeeze more power out of a board
Mehrchipmontage auf einer Leiterplatte	multichip mounting on a board
Mikrocomputer auf einer Leiterplatte	single-board computer
Mikrocomputer auf einer Leiterplatte	one-board computer
mit einem Digitalrechner koppeln	interface with a digital computer
mit einem Impuls durchsteuern	clock through
mit einem 1 μm dicken Resistfilm beschichten	coat with a one-micron film of photoresist
mit einem Normal eichen	calibrate against some standard
mit einem Takt auslesen	clock out (ausgeben)
mit einem Takt einschreiben	clock in (eingeben)
mit einem Takt steuern	clock (versorgen)
mit einer Geschwindigkeit von 0,1 μm in jedem Bildfeld justieren	align to 0.1μm at each exposure field
mit einer Grundschicht versehen	prime
mit einer inneren Taktfrequenz von 4 Megahertz arbeiten	run at an internal clock rate of 4 megahertz
mit einer Membran geschützte Maske	pellicled mask
mit einer Membrane geschützte Maske	pellicled mask
mit einer Schattenmaske belichten	shadow-print (Röntgenlithografie)
mit einer Verkleinerung von 10:1 auf den Wafer abbilden	image with a demagnification of 10:1 onto a wafer
mit Photonen auf einen Wafer abbilden	image onto a wafer with photons
mittlerer Temperaturbereich einer CVD-Anlage	mid temperature CVD range
Möglichkeit mehrerer Funktionen einer Anlage	multipurpose capability of a system
nach einem anderen Mechanismus arbeiten	function by a different mechanism
nach einer neuen Aufgabe in der Aufgabenbibliothek suchen	search for a new task in the task library
nichtprogrammierter Stopp in einer Programmfolge	hang-up
nur ein Rechteck auf das Objekt abbilden	image only a subrectangle on the target
nur einen Lösungstropfen auf die Oberfläche bringen	apply just one drop of solution to the surface (Schleuderbeschichtung)
Näherung für ein Modell mit konzentrierten Elementen	lumped-model approximation
Ort einer Justiermarke anfahren	move to the location of a fiducial mark den
parallele Ein- und Ausgabe	parallel input-output (von Daten)
Parallelübertragung einer Maskenstruktur auf ein Substrat	parallel transfer of a mask pattern to a substrate
periodisch an einer Justiermarke auf dem Tisch überprüfen	check periodically against a fiducial mark on the stage
periodisches Ein- und Auslagern	Swapping
Positionierung einer Maske in bezug auf eine Probe	positioning of a mask with respect to a sample
Programme auf einem Großrechner laufen lassen	commission programs on a mainframe computer
Prüfpunkt auf einer Leiterplatte	test point on a p.c. board
Querschnitt durch einen Goldbondhügel	gold bump cross section
reale Umwelt einer Fertigungsanläge für integrierte Schaltkreise	real-world environment of an IC production line
Rechner auf einer Platine	single-board computer (Steckeinheit)
Rechner auf einer Platine	one-board computer (Steckeinheit)
Rechtecke mit einem Belichtungsstempel belichten	expose rectangles in a single shot
Rechtecke zu einer komplexen Struktur zusammensetzen	compose rectangles into a complex pattern
Reproduzierbarkeit einer bestimmten Position	repeatability of a given position
Retikel für ein Bauelement	single-device reticle
Richtigkeit der Justierung zwischen Retikeln in einem Satz	correctness of alignment between reticles in a set
Satz in einer geketteten Datei	chained record
Schablone und Wafer durch einen gleichmäßigen Abstand trennen	separate photomask and wafer by uniform gap
Schallgeschwindigkeit einer Schaltung	circuit switching speed
Schaltkreisstruktur für einen Eingangslastfaktor 1 und einen Ausgangslastfaktor 3	circuit structure for a fan-in of 1 and a fan-out of 3
Schaltkreisstrukturen mit 5facher Verkleinerung auf einen Wafer projizieren	project IC patterns with a 5:1 reduction ratio onto a wafer
Schaltungskarten auf Grund einer Vermutung ersetzen	replace circuit cards on a best-guess basis
Schattenmaske einer Ionenimplantationsanlage	shadow mask of an ion implantation system
Schichten auf ein Substrat aufstäuben	sputter films onto a substrate (aufsputtern)
Schreiben einer Originalschablone	writing of a master mask
Schreibzeit für einen Wafer	writing time for a wafer
schrittweise Bildübertragung einer transparenten Folienmaske mit zehnfacher Verkleinerung	step-repeat imaging of a transparent foil mask at 10:1
seinen Ein- oder Aus-Zustand während Stromausfällen halten	remember its on or off states during power outages
serielle Ein- und Ausgabe	serial input-output (von Daten)
sich an einen Mikroprozessor anschließen lassen	interface with a microprocessor
sich auf einen Keramiksockel einsetzen lassen	mount ona ceramic base
sich einer strengen Prüfung unterziehen	go through rigorous testing
sich ergänzende Hälften einer Reihe von Noniusteilungen	mating halves of an array of verniers
sich in einem gemeinsamen Arbeitspunkt schneiden	cross at a common quiescent point
sich mit einer festgelegten Toleranz überdecken	overlay within a specified tolerance
sich um einen festen Faktor unterscheiden	differ by a fixed numerical factor
sich von einer Potentialmulde zur nächsten fortbewegen	move from one potential well to the next
sich über mehr als einen Abfragezyklus erstrecken	span more than one polling cycle
Sicherheit einer erreichbaren Reproduzierbarkeit von ± 5%	assurance of obtaining ± 5% repeatability
Source-Strom einer Gatespannung von 0 Volt	zero-access gate voltage source current
Sperrzeitraum einer Datei	file retention period
Sprung in ein Unterprogramm	subroutine jump
Stekkerleiste einer gedruckten Schaltung	edgeboard connector of a p.c. board
Stelle in einem Datenaufzeichnungsmedium	code position (z. B. die Stelle für ein gedrucktes Zeichen oder gestanztes Loch)
Steuerband für einen automatischen Zeichentisch	steering tape for an automated plotting table
Steuerpult für ein Entwicklungssystem	development system console
Streben nach mehr Funktionsmöglichkeiten auf einem Chip	drive for more on-chip functional capabilities
Streifenbreite einer Struktur	stripe width of a pattern
Struktur einer Ebene	level pattern
Struktur einer unteren Ebene	lower level pattern
Strukturbeschreibung einer Datenbasis	schema
Strukturelemente unter einem Mikrometer kopieren	duplicate features smaller than one micron
Strukturelementgröße auf einem Chip	die pattem feature dimension
Stärke des Ausgangssignals einer Schaltung	strength of the output signal from a circuit
Teilbetrieb einer Anlage	crippled mode (mit verringerter Kapazität auf Grund des Ausfalls einiger Geräteteile)
topografische Darstellung einer Waferoberfläche	surface elevation map of a wafer
Transkription auf ein Eingabemedium	transcription to an input medium
Trägerlebensdauer in einer Oberflächenschicht	surface lifetime
um einen bekannten Betrag versetzt	offset by a known amount
um einen Faktor von 0,8 skalieren	scale by a factor of 0.8
unter einen kritischen Wert abfallen	fall below a critical value
Unterteilung einer komplexen Struktur	subdivision of a complex pattern
Unterteilung einer komplexen Struktur	partitioning of a complex pattern
UV-Belichtung einer Fotoresistschicht	UV exposure of a photoresist layer
Verband von Einzelbildern auf einer Fotomaske	array of dice on a photomask
Verbindung mit dem Bus in einer Richtung	directional link to the bus
Verbindungsleitung einer Mehrschichtkonstruktion	interconnect of a multilayer construction
Verdrahtungsseite einer Leiterplatte	wiring side of a printed circuit board
vergrößerter Teil einer integrierten Schaltkreisstruktur	blown-up portion of an IC pattern
vergrößertes Bild einer einzigen Schaltkreisstruktur	enlarged image of a single circuit pattern
Verschiebung einer Festpunktmarke	displacement of a benchmark
von dem betrachteten Bild das Bild einer benachbarten Struktur subtrahieren	subtract from the image in view the image of one adjacent pattern
von einem anderen Programm aufgerufen	called by another program
von einer einzigen 5-V-Spannungsquelle gespeist	powered by a single 5-V supply
von einer einzigen 5-V-Spannungsquelle gespeist werden	operate off a single 5-V supply
Wechselwirkung eines fokussierten Elektronenstrahls mit einer Polymerschicht	interaction of a focussed electron beam with a polymer film
weniger Plattenraum einnehmen als ein Chipträger mit 64 Anschlüssen	take up less board space than a 64-pin chip carrier
Widerstandswerte mit einem Laserstrahl abstimmen	adjust resistance values by a laser beam
Wiedergabe einer Originalstruktur	replica of a master pattern
Wiederherstellung einer Datei	recreation of a file (nach einer größeren Betriebsstörung)
Zehntausende elektronischer Funktionen in ein Einzelchip integrieren	pack tens of thousands of electronic functions into a single chip
Zeichnung einer Maskenschicht	pen plot of a mask layer
Ziffer einer Dezimalzahl	digit of a decimal number
zu einem elliptischen Querschnitt verzerren	distort to an elliptical cross section (Elektronenstrahllithografie)
zwei Masken mit ihren Rückseiten zueinander auf einen Träger einsetzen	place two masks back-to-back on a carrier
Ätzen einer Einzelschicht	single-layer etching
über einen Netzschalter ein- oder ausschalten	switch on or off via a mains contactor
über parallele Ein- und Ausgabeleitungen lesen	read via parallel input and output lines
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm	superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm
Überdeckungsrepeater mit einer Projektionsverkleinerung von 2:1	2:1 step-and-repeat aligner
Überleitung der Plasmachemie in ein Produktionsmittel für hochintegrierte Schaltkreise	transformation of plasma chemistry into a VLSI production tool
Übertrag von einer vorausgehenden Ziffernstelle	carry from a previous digit position
Übertrag von einer vorhergehenden Stelle	carry-in (z. B. in das Rechen- und Steuerwerk)