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Microelectronics
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Höhe der
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Auffächerung fin
Höhe der
Chipoberfläche
fan-out on level
(Spreizung der Zwischenträgerbrücken)
Ebene in der
Höhe der
Oberseite des Substrats
plane at the level of the topside of the substrate
hoher Grad der fehlerfreien Kristallgitterstruktur
high crystalline perfection
hoher Wiederholgrad in der Struktur
high degree of repetition in the pattern
hohes Niveau der Fertigungstechnik
high level of manufacturing technology
Vervielfältigung der belichteten Resiststrukturen mit hoher Auflösung
high-resolution replication of the printed resist patterns
Übertragung der gewünschten Strukturen auf den Wafer mit hoher Abbildungs- und Formtreue
high-fidelity transfer of the desired geometries onto the wafer
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