Terms for subject Microelectronics containing Flächen

German	English
aktive Fläche	active area (des Resistbildes)
Auflösung der belichteten Fläche	dissolution of the exposed area (in Positivresists)
Auflösung der unbelichteten Fläche	dissolution of the unexposed area (in Negativresists)
beleuchtete Fläche	illuminated area
belichtbare Fläche	exposable area
benötigte Clean-room-Fläche	clean room footprint
beschreibbare Fläche	recording area
bestrahlte Fläche	irradiated area
bis zu zehn unbelichtete rechteckige Flächen innerhalb der Matrix für Teststrukturen freilassen	leave up to ten unexposed rectangular areas within the array for non-primary patterns
breite Flächen auspinseln	paint broad areas (mit Elektronenstrahl)
das Fotoresist nur in den nichtbelichteten Flächen stehenlassen	leave photoresist only in those areas not exposed
den Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen führen	raster-scan the beam over a 128-by-128 pixel area
die darunterliegende Fläche zur weiteren Bearbeitung freilegen	bare the surface beneath for further processing
die Kanten großer Flächen scharf markieren	define the edges of broad areas
direkt beschreibbare Fläche	directly accessible area
eine Elektronensonde über eine Fläche auf dem Wafer ablenken	scan a focussed E-beam across an area on the wafer
eine Fläche abdecken	shadow an area (abschatten, maskieren)
eine minimale Fläche auf dem Wafer einnehmen	occupy a minimal area on the wafer
flach werden	flatten out
flache Diffusion	shallow diffusion
flache p-Wanne	shallow p well
flache Vertiefung	dimple (im Material)
flacher p-n-Übergang	shallow p-n junction
flaches Ätzgrübchen	shallow pit
flaches Ätzgrübchen	saucer pit
Fläche für neun Belichtungen	nine-step exposing area
Fläche gleichen Potentials	equipotential surface
Fläche mit geringer Auflösung	low-resolution area
freie Fläche	clear area
hervorstehende Fläche	raised area
Höhenbestimmung der gerade belichteten Fläche	Z-axis location of the area being exposed
mittlere Fläche	median surface
nutzbare Fläche	real estate (eines Siliziumhalbleiterchips)
Oberflächenpotential belichteter Flächen	surface potential of exposed areas
plan über große Flächen	flat over large areas
selektiv auf verschiedene Flächen des Wafers wirken	act selectively on different areas of the wafer
sich über alle Flächen erstrecken	extend over all surfaces
Submikrometerstrukturen auf großen Flächen duplizieren	replicate submicron patterns over large areas (reproduzieren)
umgebende Fläche	adjacent area
Verhältnis von belichteter Fläche zur Gesamtfläche	ratio of exposed area to total area (eines Chips)
vom Strahl abgerasterte Fläche	area scanned by the beam
Vorsprung in eine opake Fläche	protrusion into an opaque area
zu beschreibende Fläche	area to be written
zusätzliche Fläche für Masseverbindungen	additional surface area for ground interconnections