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Microelectronics
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Fehler, der
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einen Fehler während der Dateneingabe machen
create an error during data input
Fehler der
Tischposition kompensieren
compensate for errors in stage position
Fehler durch Störung in der Anlage
hang error
Fehler in der Anlage
malfunction in the equipment
Fehler in der Tischpositionierung kompensieren
compensate for errors in stage position
Fehler in der Überdeckung zwischen den Strukturen
pattern misregistration
logischer Fehler in der Programmierung
logical error in programming
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