Terms for subject Microelectronics containing Einhaltung

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Einhaltung der Abmessungen	dimensional control
Einhaltung der Elementbreite bis auf ± 0,1 μm	feature contral to ± 0.1 μm
Einhaltung der Härtungstemperatur bis auf ±2 °C	control of baking temperature within ±2 °C
Einhaltung der Linienbreite	line size control
Einhaltung der Linienbreite	line width control
Einhaltung der Linienbreite	control of line width
Einhaltung der Meßbedingungen	adherence to measurement procedures
Einhaltung der Strukturbreite	feature size control
Einhaltung der Strukturgröße	size control
Einhaltung kritischer Abmessungen	critical dimension control
strenge Einhaltung der Linienbreite	tight line width control
strenge Einhaltung der Prozeßparameter	stringent control of process parameters