 |
| Russian | English |
| методы нанесения плёнок, заключающиеся в переведении материала в паровую газовую фазу например, термическим испарением, распылением и нанесении на подложку без химических реакций | physical vapor deposition |
| паста для нанесения толстых плёнок | thick-film ink (методом трафаретной печати) |
| специальная трафаретная лента, через которую производится нанесение толстых плёнок на неровную, ступенчатую поверхность | transfer tape |
| ступенчатое нанесение плёнок | step coverage (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму) |
| технология изготовления ИС, состоящая в нанесении эпитаксиальных кремниевых плёнок на изолирующую подложку | epitaxial silicon film on insulator |