Terms for subject Microelectronics containing fine

English	Ukrainian
fine alignment	точна орієнтація
fine alignment	точне суміщення
fine chemical	хімічно чистий реактив
fine dimensional block	малогабаритний блок
fine-featured resist material	фоторезист, що забезпечує високий допуск
fine finish	низька шорсткість поверхні
fine geometry	геометрія мікроструктур з елементами зменшених розмірів
fine/gross leak test	випробування напр. корпусів при перевірці герметичності на слабке і сильне натікання
fine leak	слабке натікання
fine-like board	прецизійна плата (напр. з високою густиною розміщення з'єднань)
fine-line	прецизійний
fine-line	з елементами зменшених розмірів
fine line	лінія малої ширини
fine-line definition	формування малюнка з високим допуском (розширенням)
fine-line definition	формування малюнка з елементами зменшених розмірів
fine-line emulsion	емульсія з високою роздільною здатністю
fine-line geometry	геометрія мікроструктур з елементами зменшених розмірів
fine-line high-resolution imaging	формування малюнка з елементами зменшених розмірів
fine-line high-resolution imaging	формування малюнка з високим дозволом
fine-line integrated circuit	ІС з елементами зменшених розмірів
fine-line lithography	прецизійна літографія
fine-line MOSFET	МОН-транзистор з елементами зменшених розмірів
fine-line pattern	малюнок з елементами зменшених розмірів
fine-line pattern	малюнок з високим дозволом (допуском)
fine-line patterning	формування малюнка з високим дозволом
fine-line patterning	формування малюнка з елементами зменшених розмірів
fine-line patterning	20 мікроструктуризація з високим дозволом
fine-line spacing	мала щілина
fine-line spacing	мала відстань
fine-line technology	технологія ІС з елементами зменшених розмірів
fine-line width	мала ширина лінії (елементу ІС)
fine-linewidth pattern	малюнок з елементами зменшених розмірів
fine-linewidth pattern	малюнок з високим дозволом (допуском)
fine-pattern fabrication	формування малюнка з елементами зменшених розмірів
fine-pattern geometry	геометрія мікроструктур з елементами зменшених розмірів
fine-pattern integrated circuit	ІС з елементами зменшених розмірів
fine positioner	пристрій прецизійного позиціонування
fine positioning	прецизійне позиціонування
fine resolution	високий допуск
fine resolution	висока роздільна здатність
fine structuring	прецизійна мікроструктуризація (зазвичай в субмікронній області розмірів)
fine trim	точне підліштування
fine trim	точна корекція
fine work	прецизійна обробка
ultra-fine geometry	геометрія мікроструктур з елементами надмалих розмірів