Terms for subject Microelectronics containing x-field

English	German
adjust automatically X, Y, and Ф to targets on the wafer for each field	X, Y und Ф in bezug auf Wafermarken für jedes Einzelfeld automatisch einstellen
expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion	5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
image field of the 10x reduction lens	Bildfeld des 10:1-Verkleinerungsobjektivs
print field sizes up to 6 mm x 6 mm	Feldgrößen bis zu 6 mm x 6 mm belichten
X-Y stage movement between fields	Koordinatentischverschiebung zwischen den Feldern